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公開番号2025131533
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-09
出願番号2025024360
出願日2025-02-18
発明の名称部材、部材の製造方法、及び、半導体製造関連装置
出願人ダイキン工業株式会社
代理人弁理士法人WisePlus
主分類B32B 27/00 20060101AFI20250902BHJP(積層体)
要約【課題】耐薬品性に優れる部材、及びその製造方法、並びに、半導体製造関連装置を提供する。
【解決手段】材料(a)の表面の少なくとも一部が芳香環を有するバリア材料で積層された部材であって、
前記部材が、建装資材用部材、モビリティ用部材、航空宇宙用部材、半導体用部材、及び情報通信用部材からなる群より選択される少なくとも1つである部材。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
材料（ａ）の表面の少なくとも一部が芳香環を有するバリア材料で積層された部材であって、
前記部材が、建装資材用部材、モビリティ用部材、航空宇宙用部材、半導体用部材、及び情報通信用部材からなる群より選択される少なくとも１つである部材。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記芳香環を有するバリア材料の芳香族含有率（分子中の炭素のうち芳香環を構成するものの割合）が２０％以上である請求項１記載の部材。
【請求項３】
前記芳香環を有するバリア材料が、下記式（ａ）で表される化合物、下記式（ｂ）で表される化合物及び下記式（ｃ）で表される化合物からなる群より選択される少なくとも１種である請求項１又は２記載の部材。
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（式中、Ｘ
１
～Ｘ
４
は、それぞれ独立して、水素、ハロゲン、１価の炭化水素基またはフッ素化されていてもよいアルコキシ基を表す。Ｙ
１
～Ｙ
４
は、それぞれ独立して、水素またはハロゲンを表す。ｎは、１以上の整数を表す。）
【請求項４】
前記芳香環を有するバリア材料が、ポリパラキシレン及びベンゼン環上にハロゲンが導入されているポリパラキシレンからなる群より選択される少なくとも１種である請求項１又は２記載の部材。
【請求項５】
前記芳香環を有するバリア材料が、下記式（１）で示されるポリマー、下記式（２）で示されるポリマー、及び、下記式（５）で示されるポリマーからなる群より選択される少なくとも１種である請求項１又は２記載の部材。
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【請求項６】
前記芳香環を有するバリア材料が、下記式（２）で示されるポリマー、及び下記式（５）で示されるポリマーからなる群より選択される少なくとも１種である請求項１又は２記載の部材。
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【請求項７】
前記材料（ａ）が、樹脂、ゴム、金属及びセラミックからなる群より選択される少なくとも１種である請求項１又は２記載の部材。
【請求項８】
前記材料（ａ）が、樹脂及びゴムからなる群より選択される少なくとも１種である請求項１又は２記載の部材。
【請求項９】
前記材料（ａ）が、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルイミド樹脂及びポリエーテルエーテルケトン樹脂からなる群より選択される少なくとも１種である請求項１又は２記載の部材。
【請求項１０】
前記材料（ａ）は、熱分解で１質量％減量するときの温度が５６０℃以下である請求項１又は２記載の部材。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、部材、部材の製造方法、及び、半導体製造関連装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置内などにおいて、汚染の防止などのために基材にコーティングする技術などが提案されている（例えば、特許文献１～３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００９－２１３６９号公報
特開２００９－２３９１５１号公報
特開２０１１－２３５６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、耐薬品性に優れる部材、及びその製造方法、並びに、半導体製造関連装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示（１）は材料（ａ）の表面の少なくとも一部が芳香環を有するバリア材料で積層された部材であって、
前記部材が、建装資材用部材、モビリティ用部材、航空宇宙用部材、半導体用部材、及び情報通信用部材からなる群より選択される少なくとも１つである部材である。
【０００６】
本開示（２）は、前記芳香環を有するバリア材料の芳香族含有率（分子中の炭素のうち芳香環を構成するものの割合）が２０％以上である本開示（１）記載の部材である。
【０００７】
本開示（３）は前記芳香環を有するバリア材料が、下記式（ａ）で表される化合物、下記式（ｂ）で表される化合物及び下記式（ｃ）で表される化合物からなる群より選択される少なくとも１種である本開示（１）又は（２）記載の部材である。
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（式中、Ｘ
１
～Ｘ
４
は、それぞれ独立して、水素、ハロゲン、１価の炭化水素基またはフッ素化されていてもよいアルコキシ基を表す。Ｙ
１
～Ｙ
４
は、それぞれ独立して、水素またはハロゲンを表す。ｎは、１以上の整数を表す。）
【０００８】
本開示（４）は前記芳香環を有するバリア材料が、ポリパラキシレン及びベンゼン環上にハロゲンが導入されているポリパラキシレンからなる群より選択される少なくとも１種である本開示（１）～（３）のいずれかとの任意の組合せの部材である。
【０００９】
本開示（５）は前記芳香環を有するバリア材料が、下記式（１）で示されるポリマー、下記式（２）で示されるポリマー、及び、下記式（５）で示されるポリマーからなる群より選択される少なくとも１種である本開示（１）～（３）のいずれかとの任意の組合せの部材である。
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【００１０】
本開示（６）は前記芳香環を有するバリア材料が、下記式（２）で示されるポリマー、及び下記式（５）で示されるポリマーからなる群より選択される少なくとも１種である本開示（１）～（３）のいずれかとの任意の組合せの部材である。
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（【００１１】以降は省略されています）

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