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公開番号2025131946
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-10
出願番号2022120372
出願日2022-07-28
発明の名称圧力センサ
出願人個人,個人,日本ゼオン株式会社
代理人個人
主分類G01L 1/14 20060101AFI20250903BHJP(測定;試験)
要約【課題】より多彩な圧力を検出することが可能な圧力センサを提供すること。
【解決手段】圧力センサA10は、誘電エラストマ層11と、第1電極層21および第2電極層22と、第1支持体31および第2支持体32と、弾性部材41と、を備える。誘電エラストマ層11は、第1方向zに視て、第1支持体31の外縁から周囲に延出するように第1支持体31に固定されている。第2支持体32には、第1方向zに視て、誘電エラストマ層11の外端が固定されている。第1方向zにおいて、第1支持体31と第2支持体32との間に弾性部材41が介在している。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
誘電エラストマ層と、
前記誘電エラストマ層の一方の面に配置された第１電極層および他方の面に配置された第２電極層と、
第１支持体および第２支持体と、
弾性部材と、を備え、
前記誘電エラストマ層は、第１方向に視て、前記第１支持体の外縁から周囲に延出するように前記第１支持体に固定されており、
前記第２支持体には、前記第１方向に視て、前記誘電エラストマ層の外端が固定されており、
前記第１方向において、前記第１支持体と前記第２支持体との間に前記弾性部材が介在している、圧力センサ。
続きを表示（約 690 文字）【請求項２】
前記弾性部材は、脱着可能である、請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記弾性部材は、中実の形状であり且つ樹脂からなる、請求項２に記載の圧力センサ。
【請求項４】
前記誘電エラストマ層は、前記第１支持体と前記弾性部材との間に介在する部分を有する、請求項２に記載の圧力センサ。
【請求項５】
前記第２電極層は、前記第１方向において前記第１電極層に対して前記第２支持体の側に配置されており、
前記第１方向に視て、前記第２電極層は、前記第１電極層の外縁から延出している、請求項２に記載の圧力センサ。
【請求項６】
誘電エラストマ体と、
第１方向において前記誘電エラストマ体を挟んで互いに反対側に配置された第１電極層および第２電極層と、を備え、
前記誘電エラストマ体の前記第１方向における寸法変化に起因する前記第１電極層および前記第２電極層間の静電容量変化により、前記第１方向における圧力変化を検出する、圧力センサ。
【請求項７】
前記誘電エラストマ体は、膜状である、請求項６に記載の圧力センサ。
【請求項８】
前記誘電エラストマ体は、平坦である、請求項７に記載の圧力センサ。
【請求項９】
前記誘電エラストマ体は、湾曲している、請求項７に記載の圧力センサ。
【請求項１０】
前記誘電エラストマ体は、厚さが１０μｍ～５ｍｍである、請求項６に記載の圧力センサ。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力センサに関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、従来のセンサの一例が開示されている。同文献に開示されたセンサは、誘電エラストマ層と一対の電極層とを備える。誘電エラストマ層の伸縮に伴い、一対の電極層の間の静電容量が変化する。この静電容量変化を処理することにより、誘電エラストマ層に加えられた力を検出することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－０３２５８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
センサが検出すべき力（圧力）は、様々な態様が存在する。センサの構造等によって、検出可能な力（圧力）が制限される。
【０００５】
本発明は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、より多彩な圧力を検出することが可能な圧力センサを提供することをその課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の側面によって提供される圧力センサは、誘電エラストマ層と、前記誘電エラストマ層の一方の面に配置された第１電極層および他方の面に配置された第２電極層と、第１支持体および第２支持体と、弾性部材と、を備え、前記誘電エラストマ層は、第１方向に視て、前記第１支持体の外縁から周囲に延出するように前記第１支持体に固定されており、前記第２支持体には、前記第１方向に視て、前記誘電エラストマ層の外端が固定されており、前記第１方向において、前記第１支持体と前記第２支持体との間に前記弾性部材が介在している。
【０００７】
本発明の好ましい実施の形態においては、前記弾性部材は、脱着可能である。
【０００８】
本発明の好ましい実施の形態においては、前記弾性部材は、中実の形状であり且つ樹脂からなる。
【０００９】
本発明の好ましい実施の形態においては、前記誘電エラストマ層は、前記第１支持体と前記弾性部材との間に介在する部分を有する。
【００１０】
本発明の好ましい実施の形態においては、前記第２電極層は、前記第１方向において前記第１電極層に対して前記第２支持体の側に配置されており、前記第１方向に視て、前記第２電極層は、前記第１電極層の外縁から延出している。
（【００１１】以降は省略されています）

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