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公開番号2025137372
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-19
出願番号2024201532
出願日2024-11-19
発明の名称保護部材形成装置および保護部材の形成方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250911BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ガラスステージ上にウェーハが残っているか否かを良好に検知する。
【解決手段】ウェーハ保持パッドによってウェーハ100を保持することが困難となって連続加工が一時停止したときに、検知部71が、光量測定部80によって測定される光量を用いて、ガラステーブル21におけるウェーハ100の有無を検知する。これにより、ガラステーブル21におけるウェーハの有無を明確に検知することができる。したがって、たとえば、ウェーハ保持パッドによって保持することが困難なウェーハ100がガラステーブル21に残されているにも関わらず、連続加工が再開されて、このウェーハ100にシートSが重ねて配置され、さらにシートS上に液状樹脂が供給されて、ウェーハ100、シートSおよび液状樹脂が無駄になってしまうことを抑制することができる。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハの一方の面よりも広い面積のシートを載置するためのガラステーブルと、
該ガラステーブルの上方でウェーハを保持する保持テーブルと、
該ガラステーブルに載置された該シートに紫外線硬化型の液状樹脂を供給する液状樹脂供給部と、
該ガラステーブルと該保持テーブルとを相対的に接近させることによって、ウェーハの一方の面の全面に該液状樹脂を押し広げる昇降機構と、
該ガラステーブル側から該液状樹脂に紫外線を照射することによって、硬化された該液状樹脂からなる保護部材をウェーハの一方の面に形成するＵＶ光源と、
該保護部材が形成されたウェーハを該ガラステーブルから搬送するウェーハ搬送機構と、を備える保護部材形成装置であって、
該ＵＶ光源から照射されて該ガラステーブルを透過する紫外線の光量を測定する光量測定部と、
該光量測定部によって測定された光量が所定の閾値以下であることによって、該ガラステーブルにウェーハがあることを検知する検知部と、
をさらに備える、保護部材形成装置。
続きを表示（約 500 文字）【請求項２】
該検知部が該ガラステーブルにウェーハがあることを検知した場合に、該ガラステーブルにウェーハがあることを作業者に通知する通知部をさらに備える、
請求項１に記載の保護部材形成装置。
【請求項３】
請求項１記載の保護部材形成装置を用いた保護部材の形成方法であって、
ウェーハの一方の面に保護部材を形成する保護部材形成工程と、
該保護部材形成工程の停止中に実施される、該ＵＶ光源から照射されて該ガラステーブルを透過する紫外線の光量を該光量測定部によって測定し、測定された光量に基づいて該ガラステーブルにおけるウェーハの有無を該検知部によって検知するウェーハ検知工程と、を含み、
該ウェーハ検知工程において該検知部によって該ガラステーブルにウェーハが有ることが検知された場合に、該保護部材形成装置の通知部によって作業者にウェーハが有ることを通知する通知工程が実施される一方、
該ウェーハ検知工程において該検知部によって該ガラステーブルにウェーハが無いことが検知された場合に、該保護部材形成工程が実施される、
保護部材の形成方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、保護部材形成装置および保護部材の形成方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１および２に開示のように、インゴットをスライスしてスライスウェーハを形成し、その両面を研削してウェーハを製造するウェーハの製造工程がある。この工程において、スライスウェーハの一方の面を研削する際に、他方の面に、液状樹脂を拡張および硬化させることによって保護部材を形成している。
【０００３】
この保護部材を形成する保護部材形成装置では、ガラスステージの上にシートを配置し、そのシートの上に液状樹脂を供給して、その液状樹脂をウェーハで押し広げて硬化させることによって、ウェーハに保護部材を形成する。
【０００４】
その後、保護部材が形成されたウェーハは、ウェーハ搬送機構によって吸引保持されて、ガラスステージからカットステージに搬送される。そして、カットステージ上で、ウェーハの外周に沿って円形にシートがカットされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１０－１５５２９７号公報
特開２０２０－１８８２３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述した保護部材形成装置のウェーハ搬送機構は、例えば、ウェーハの反りやうねりが大きいために、ウェーハを吸引保持することが困難となり、ガラスステージからウェーハを搬出することが困難なことがある。
【０００７】
このような状態のとき、ガラスステージからウェーハを取り除く旨のメッセージを、タッチパネルに表示して、作業者に通知している。
【０００８】
しかし、作業者がウェーハを取り除くことなく、保護部材形成が続行されることがある。この場合、ガラスステージに残されているウェーハの上に、さらにシートが載置されることなどによって、ウェーハ、シートおよび液状樹脂が無駄になる可能性がある。
【０００９】
したがって、本発明の目的は、ウェーハに保護部材を形成する際、ガラスステージ上にウェーハが残っているか否かを良好に検知することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の保護部材形成装置（本保護部材形成装置）は、ウェーハの一方の面よりも広い面積のシートを載置するためのガラステーブルと、該ガラステーブルの上方でウェーハを保持する保持テーブルと、該ガラステーブルに載置された該シートに紫外線硬化型の液状樹脂を供給する液状樹脂供給部と、該ガラステーブルと該保持テーブルとを相対的に接近させることによって、ウェーハの一方の面の全面に該液状樹脂を押し広げる昇降機構と、該ガラステーブル側から該液状樹脂に紫外線を照射することによって、硬化された該液状樹脂からなる保護部材をウェーハの一方の面に形成するＵＶ光源と、該保護部材が形成されたウェーハを該ガラステーブルから搬送するウェーハ搬送機構と、を備える保護部材形成装置であって、該ＵＶ光源から照射されて該ガラステーブルを透過する紫外線の光量を測定する光量測定部と、該光量測定部によって測定された光量が所定の閾値以下であることによって、該ガラステーブルにウェーハがあることを検知する検知部と、をさらに備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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