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公開番号2025136666
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-19
出願番号2024035405
出願日2024-03-07
発明の名称ノズル
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250911BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】液体と気体とからなる混合流体を噴出して二流体洗浄を行う際に、静電気の発生を低減ないし抑制可能なノズルを提供すること。
【解決手段】液体31と気体32との混合流体33を噴出可能なノズル1であって、液体31の供給源と接続される液体流路14と、気体32の供給源と接続される気体流路15と、混合流体33を噴出可能な噴出口13と、液体流路14と気体流路15とが合流する合流部16と、噴出口13と、を接続する噴出流路17と、噴出流路17内に、噴出口13へ至る混合流体33の量を調整可能な弁体21と、噴出流路17内に、気体32と液体31の混合を促進する混合促進部として機能する弁体付勢部22と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
液体と気体との混合流体を噴出可能なノズルであって、
該液体の供給源と接続される液体流路と、
該気体の供給源と接続される気体流路と、
該混合流体を噴出可能な噴出口と、
該液体流路と該気体流路とが合流する合流部と、該噴出口と、を接続する噴出流路と、
該噴出流路内に、該噴出口へ至る該混合流体の量を調整可能な弁体と、
該噴出流路内に、該気体と該液体の混合を促進する混合促進部と、を備えるノズル。
続きを表示（約 350 文字）【請求項２】
該弁体は、該噴出流路の軸方向において、該噴出口から該混合流体を噴出しない状態とする噴出停止位置と、該噴出口から噴出される該混合流体の量を最大とする最大噴出位置と、の間を移動可能なように該噴出流路内に配設され、
弾性体であり、伸縮方向が該噴出流路の軸方向に沿うように該噴出流路内に配設され、該弁体を該噴出停止位置へと付勢する弁体付勢部をさらに備え、
該弁体付勢部はコイルバネを含み、該伸縮方向においてコイルの内周径が異なる複数の領域を有することで、該気体と該液体の混合を促進し、該混合促進部としても機能する、請求項１に記載のノズル。
【請求項３】
該液体は純水であり、該気体は二酸化炭素を含む気体である、請求項１または請求項２に記載のノズル。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体と気体との混合流体を噴出可能なノズルに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウエーハを切削したり研削したりする際には、加工屑が発生し半導体ウエーハの表面に付着することがある。半導体ウエーハを加工する加工装置には、加工時に発生した加工屑を洗浄するために特許文献１に開示されているような洗浄ノズルが備え付けられている。この洗浄ノズルは、液体と気体とからなる混合流体を噴出し、所謂二流体洗浄を行うため、洗浄力が高い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１２－０４０４５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のような二流体洗浄ノズルにおいては、液体と気体との摩擦によって静電気が発生し、被洗浄物である半導体ウエーハが帯電することで品質の低下をもたらしたり、洗浄ノズル本体が帯電することで作業の妨げとなったりする恐れがあった。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、液体と気体とからなる混合流体を噴出して二流体洗浄を行う際に、静電気の発生を低減ないし抑制可能なノズルを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のノズルは、液体と気体との混合流体を噴出可能なノズルであって、該液体の供給源と接続される液体流路と、該気体の供給源と接続される気体流路と、該混合流体を噴出可能な噴出口と、該液体流路と該気体流路とが合流する合流部と、該噴出口と、を接続する噴出流路と、該噴出流路内に、該噴出口へ至る該混合流体の量を調整可能な弁体と、該噴出流路内に、該気体と該液体の混合を促進する混合促進部と、を備える。
【０００７】
該弁体は、該噴出流路の軸方向において、該噴出口から該混合流体を噴出しない状態とする噴出停止位置と、該噴出口から噴出される該混合流体の量を最大とする最大噴出位置と、の間を移動可能なように該噴出流路内に配設され、弾性体であり、伸縮方向が該噴出流路の軸方向に沿うように該噴出流路内に配設され、該弁体を該噴出停止位置へと付勢する弁体付勢部をさらに備え、該弁体付勢部はコイルバネを含み、該伸縮方向においてコイルの内周径が異なる複数の領域を有することで、該気体と該液体の混合を促進し、該混合促進部としても機能してもよい。
【０００８】
該液体は純水であり、該気体は二酸化炭素を含む気体であってもよい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、液体と気体とが合流部で合流した後に通過する噴出流路内に、混合促進部を備えるので、混合促進部により液体と気体との混合を促進することにより液体（混合流体）の電気抵抗率を低下させ、混合流体を形成する際に液体と気体との摩擦による静電気の発生を低減ないし抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
図１は、実施形態に係るノズルの構成例を示す断面図である。
図２は、図１のノズルの弁体付勢部の第１例を示す図である。
図３は、図１のノズルの弁体付勢部の第２例を示す図である。
図４は、図２及び図３の弁体付勢部を説明する説明図である。
図５は、図１のノズルの引き金を説明する断面図である。
図６は、図１のノズルの引き金を説明する断面図である。
図７は、変形例に係るノズルの構成例の第１状態を示す断面図である。
図８は、変形例に係るノズルの構成例の第２状態を示す断面図である。
図９は、変形例に係るノズルの構成例の第３状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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