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公開番号2025139617
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-29
出願番号2024038553
出願日2024-03-13
発明の名称面発光レーザ、アレイ光源及び投光装置
出願人株式会社リコー
代理人個人,個人
主分類H01S 5/183 20060101AFI20250919BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】高次の横モードの発振を抑制できる面発光レーザを提供する。
【解決手段】面発光レーザは、第1反射鏡20と、第1導電型半導体層31と、活性層34と、第2導電型半導体層32と、透明電極36と、第2反射鏡40と、を順に備え、前記第2導電型半導体層32における前記透明電極36側の面は、外周部52に対し中央部50が突出し、前記透明電極36の前記中央部50における厚さは、前記透明電極36の前記外周部52における厚さより小さい。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
第１反射鏡と、第１導電型半導体層と、活性層と、第２導電型半導体層と、透明電極と、第２反射鏡と、を順に備え、
前記第２導電型半導体層における前記透明電極側の面は、外周部に対し中央部が突出し、
前記透明電極の前記中央部における厚さは、前記透明電極の前記外周部における厚さより小さい、
面発光レーザ。
続きを表示（約 770 文字）【請求項２】
前記透明電極における前記第２反射鏡側の面は、前記外周部に対し前記中央部が突出する、または、前記外周部と前記中央部とが平坦である、請求項１に記載の面発光レーザ。
【請求項３】
前記中央部において、前記第２導電型半導体層と前記透明電極とは接触する、請求項１または２に記載の面発光レーザ。
【請求項４】
前記外周部において、前記第２導電型半導体層と前記透明電極との間に設けられた絶縁層を備える、請求項３に記載の面発光レーザ。
【請求項５】
前記外周部において、前記透明電極上に、前記透明電極に電気的に接触する電極が配置される、請求項１または２に記載の面発光レーザ。
【請求項６】
前記外周部において、前記第２導電型半導体層における前記透明電極側の面は平坦な部分を含み、該平坦な部分の上の前記透明電極の厚さが、前記透明電極の前記中央部における厚さよりも大きい、請求項１または２に記載の面発光レーザ。
【請求項７】
前記第１導電型半導体層、前記活性層及び前記第２導電型半導体層は、窒化物半導体層であり、
前記第１反射鏡は、誘電体層である請求項１または２に記載の面発光レーザ。
【請求項８】
前記透明電極の吸収係数は前記第２導電型半導体層の吸収係数より大きい請求項１または２に記載の面発光レーザ。
【請求項９】
請求項１または２に記載の面発光レーザを複数備える、アレイ光源。
【請求項１０】
請求項１または２に記載の面発光レーザと、
前記面発光レーザから射出された光が入射する光学素子と、
を備え、
前記光を投光する、投光装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、面発光レーザ、アレイ光源及び投光装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
窒化物半導体層を用いる面発光レーザなどの面発光レーザでは、活性層上の半導体層と上部の反射鏡との間に透明電極を用いることが知られている。
【０００３】
特許文献１には、活性層上の半導体層における透明電極側の面に、外周部に対して中央部を突出させる凸部を設ける場合に、凸部の側面の透明電極が薄くなる。これを抑制するため、凸部の高さを透明電極の厚さより小さくすることが記載されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１には、凸部の上面に設けられた透明電極の厚さと、外周部の透明電極の厚さとの関係について記載されておらず、図面からは、中央部と外周部との透明電極の厚さは同じに図示されている。この場合、高次の横モードが生じる可能性がある。
【０００５】
本発明は、高次の横モードの発振を抑制できる面発光レーザ、アレイ光源及び投光装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の実施形態によれば、第１反射鏡と、第１導電型半導体層と、活性層と、第２導電型半導体層と、透明電極と、第２反射鏡と、を順に備え、前記第２導電型半導体層における前記透明電極側の面は、外周部に対し中央部が突出し、前記透明電極の前記中央部における厚さは、前記透明電極の前記外周部における厚さより小さい。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、高次の横モードの発振を抑制できる面発光レーザ、アレイ光源び投光装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、本発明の第１実施形態に係る面発光レーザを示す断面図である。
図２は、本発明の第１実施形態に係る面発光レーザの主要部の断面図である。
図３（ａ）及び図３（ｂ）は、本発明の第１実施形態における透明電極を示す平面図である。
図４は、参考例に係る面発光レーザの主要部の断面図である。
図５（ａ）及び図５（ｂ）は、本発明の第１実施形態に係る面発光レーザにおける位置に対する光強度及び屈折率を示す図である。
図６は、本発明の第１実施形態の変形例１に係る面発光レーザの主要部の断面図である。
図７は、本発明の第１実施形態の変形例２に係る面発光レーザの主要部の断面図である。
図８は、本発明の第１実施形態の変形例３に係る面発光レーザの主要部の断面図である。
図９は、各サンプルに対するΔｎ／ｎＡを示す図である。
図１０は、本発明の第２実施形態に係るアレイ光源を示す平面図である。
図１１は、本発明の第３本実施形態に係る投影装置を示す図である。
図１２は、本発明の第４実施形態に係るヘッドマウントディスプレイを示す斜視図である。
図１３は、本発明の第４実施形態に係るヘッドマウントディスプレイにおけるフロント及びテンプル内の断面図である。
図１４は、本発明の第５実施形態に係るバイオメトリック認証装置を示す図である。
図１５は、本発明の第６実施形態に係る投光装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して本発明を実施するための形態について詳細に説明する。下記の実施形態は、発明の技術思想を具体化するための例示であり、本発明を記載された構成や数値に限定するものではない。なお、各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を適宜省略する場合がある。各図面が示す各部材の大きさ、位置関係等は、発明の理解を容易にするために誇張して描かれている場合がある。
【００１０】
（第１実施形態）
まず、第１実施形態について説明する。第１実施形態は面発光レーザに関する。図１は、本発明の第１実施形態に係る面発光レーザを示す断面図である。
（【００１１】以降は省略されています）

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