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公開番号2025139867
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-29
出願番号2024038937
出願日2024-03-13
発明の名称有機発光装置及びその製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人個人,個人
主分類H10K 71/00 20230101AFI20250919BHJP()
要約【課題】耐水性に優れ、かつ狭額縁化が可能な有機発光装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板1上に複数の有機発光素子6を形成する有機発光素子形成工程と、有機発光素子6を覆い、非表示領域に溝10aを有する第一封止層7を形成する第一封止層形成工程と、第一封止層7の上に、シャドウマスク20を用いて、第二封止層8を形成する第二封止層形成工程と、を有する有機発光装置の製造方法であって、第二封止層形成工程は、シャドウマスク20の開口部の周囲を構成する端部が溝10aの上に位置するよう配置された状態で、第二封止層8を形成する工程である。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
基板上に複数の有機発光素子を形成する有機発光素子形成工程と、
前記有機発光素子を覆い、非表示領域に溝を有する第一封止層を形成する第一封止層形成工程と、
前記第一封止層の上に、シャドウマスクを用いて、第二封止層を形成する第二封止層形成工程と、
を有する有機発光装置の製造方法であって、
前記第二封止層形成工程は、前記シャドウマスクの開口部の周囲を構成する端部が前記溝の上に位置するよう配置された状態で、前記第二封止層を形成する工程であることを特徴とする有機発光装置の製造方法。
続きを表示（約 910 文字）【請求項２】
前記シャドウマスクを除去した後、前記第二封止層を覆う第三封止層を形成する第三封止層形成工程を有することを特徴とする請求項１に記載の有機発光装置の製造方法。
【請求項３】
前記第一封止層の水分透過量は、１０
-5
ｇ／ｍ
2
／ｄａｙ以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の有機発光装置の製造方法。
【請求項４】
前記第二封止層は、アスペクト比が１／１０より高い構造においてコンフォーマルな堆積が可能な層であることを特徴とする請求項１または２に記載の有機発光装置の製造方法。
【請求項５】
前記基板の非表示領域に溝を形成する基板溝形成工程を有し、
前記第一封止層の前記溝は、前記基板における溝に沿って形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の有機発光装置の製造方法。
【請求項６】
前記基板溝形成工程は、前記基板の表示領域の周囲に沿って溝を形成する工程であることを特徴とする請求項５に記載の有機発光装置の製造方法。
【請求項７】
前記第一封止層形成工程は、前記第一封止層を、前記基板の全面に形成する工程であることを特徴とする請求項１または２に記載の有機発光装置の製造方法。
【請求項８】
前記第一封止層は、窒化珪素、酸化珪素及び窒化酸化珪素からなる群から選ばれる少なくとも一種を含むことを特徴とする請求項１または２に記載の有機発光装置の製造方法。
【請求項９】
前記第二封止層は、ヘキサメチルジシロキサン、ジメチルシロキサン、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化ジルコニア、酸化チタンからなる群から選ばれる少なくとも一種を含むことを特徴とする請求項１または２に記載の有機発光装置の製造方法。
【請求項１０】
前記第三封止層の水分透過量は、１０
-5
ｇ／ｍ
2
／ｄａｙ以下であることを特徴とする請求項２に記載の有機発光装置の製造方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機発光装置及びその製造方法に関する。
続きを表示（約 2,900 文字）【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬディスプレイ等の有機発光装置は、同じ外箱（ベゼル、キャビネット）サイズでのより大きな表示領域の実現、或いは、ディスプレイサイズを維持したままでの本体小型化の実現が求められ、表示領域周辺の封止領域の狭額縁化が求められている。
表示領域周辺の封止領域を狭額縁化する技術として、特許文献１には、封止層をシャドウマスクでパターニングする方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第６６４２９３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
封止層には、外部から水分の浸入を防ぐ耐水性の高い層を含むことが好ましいが、耐水性の高い層は、図６に示す様に異物や段差によって亀裂を生じる場合がある。図６の有機発光装置は、基板１と、画素分離膜２と、有機発光素子６と、有機発光素子６を覆い保護する封止層７とを具備するものである。ここで、有機発光素子６は、下部電極３と、有機化合物層４と、上部電極５とをこの順に有する素子である。また、耐水性の高い封止層７は、有機発光素子６を覆う様に形成されている。封止層７は、画素分離膜２の段差や異物３１で亀裂３２が発生する場合がある。そこで、亀裂３２を平滑化するカバーレッジ性の高い層を含むことが好ましい。さらに、カバーレッジ性の高い層は透湿性が高い場合があるため、カバーレッジ性の高い層の上に耐水性の高い封止層を積層して、カバーレッジ性の高い層の上と端部を覆うことが好ましい。
カバーレッジ性の高い層を形成するために、特許文献１のように封止層をシャドウマスクでパターニングする場合、図７に示す様に、下地とシャドウマスクが接触する部分に異物やキズが発生する。図７（ａ）に示す様に、耐水性の高い封止層７の上に、シャドウマスク２０によって、カバーレッジ性の高い封止層８をパターニングして形成する際、シャドウマスク２０のエッジで、封止層７、封止層８にキズによる異物３１が発生する。そして、図７（ｂ）のように、封止層７、封止層８の上に耐水性の高い封止層９を積層すると、このキズによる異物３１周辺の亀裂３２から水分が侵入して、侵入水が横浸透３３によってデバイスに到達し、腐食するという問題が発生し得る。
また、シャドウマスクをリブで浮かせる等により、シャドウマスクと下地との接触を回避すると、封止層がぼけて広がり、表示領域周辺の封止領域の狭額縁化が達成できないという問題がある。
本発明は、上記課題に鑑み、耐水性に優れ、かつ狭額縁化が可能な有機発光装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の有機発光装置の製造方法は、
基板上に複数の有機発光素子を形成する有機発光素子形成工程と、
前記有機発光素子を覆い、非表示領域に溝を有する第一封止層を形成する第一封止層形成工程と、
前記第一封止層の上に、シャドウマスクを用いて、第二封止層を形成する第二封止層形成工程と、
を有する有機発光装置の製造方法であって、
前記第二封止層形成工程は、前記シャドウマスクの開口部の周囲を構成する端部が前記溝の上に位置するよう配置された状態で、前記第二封止層を形成する工程であることを特徴とする。
本発明の有機発光装置は、
基板上に複数の有機発光素子と、前記有機発光素子を覆う封止層と、を有する有機発光装置であって、
前記封止層は、第一封止層と前記第一封止層を覆う第二封止層とを有し、
前記第一封止層は、非表示領域に溝を有し、
前記第二封止層の端部は、前記溝の内部に形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、耐水性に優れ、かつ狭額縁化が可能な有機発光装置及びその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
本発明の有機発光装置の一例を示す概略図である。
図１（ａ）のＢ部の部分拡大図である。
基板の溝の形状の例を示す概略断面図である。
本発明の有機発光装置の製造方法の一例を示す概略断面図である。
シャドウマスクの一例を示す平面図である。
異物や段差によって封止層に亀裂が生じる状況を示す概略断面図である。
シャドウマスクが接触する部分に異物やキズが発生する状況を説明する概略断面図である。
本発明の一実施形態に係る表示装置の一例を表す模式図である。
（ａ）本発明の一実施形態に係る撮像装置の一例を表す模式図である。（ｂ）本発明の一実施形態に係る電子機器の一例を表す模式図である。
（ａ）本発明の一実施形態に係る表示装置の一例を表す模式図である。（ｂ）折り曲げ可能な表示装置の一例を表す模式図である。
（ａ）本発明の一実施形態に係る照明装置の一例を示す模式図である。（ｂ）本発明の一実施形態に係る車両用灯具を有する移動体の一例を示す模式図である。
（ａ）本発明の一実施形態に係るウェアラブルデバイスの一例を示す模式図である。（ｂ）本発明の一実施形態に係るウェアラブルデバイスの他の例を示す模式図である。
（ａ）本発明の一実施形態に係る画像形成装置の一例を表す模式図である。（ｂ）（ｃ）本発明の一実施形態に係る画像形成装置の露光光源の一例を表す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の有機発光装置及びその製造方法の実施形態について説明するが、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではない。
【０００９】
＜有機発光装置＞
まず、本発明の有機発光装置の実施形態について図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の有機発光装置の一例を示す概略図である。図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ－Ａ’断面図である。図１において、１は基板、２は画素分離膜、３は下部電極、４は有機化合物層、５は上部電極、６は有機発光素子、７は第一封止層、８は第二封止層、９は第三封止層、１０、１０ａは溝、１１は表示領域、１２は非表示領域、１３はパッド電極である。尚、図示の便宜上、図１（ａ）においては、溝１０、表示領域１１、非表示領域１２、パッド電極１３以外の図示を省略している。
【００１０】
図１に示す有機発光装置は、図１（ａ）に示す様に、表示領域１１と、表示領域１１の外側の非表示領域１２を有し、非表示領域１２に複数のパッド電極１３を有する。また、図１に示す有機発光装置は、基板１の非表示領域１２に、表示領域１１の周囲に沿って溝１０を有する。
（【００１１】以降は省略されています）

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