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公開番号2025154334
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-10
出願番号2024057262
出願日2024-03-29
発明の名称感光性転写材料及びその製造方法
出願人富士フイルム株式会社
代理人弁理士法人太陽国際特許事務所
主分類G03F 7/004 20060101AFI20251002BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】仮支持体剥離露光により得られるパターンのパターン形状に優れる感光性転写材料及びその製造方法の提供。
【解決手段】仮支持体、熱可塑性樹脂層、中間層、及び、感光性樹脂層をこの順で有し、上記仮支持体の上記熱可塑性樹脂層と接する面における高さ0.5μm以上10μm未満の突起の量が、1×10²個/mm²以上5×10⁶個/mm²未満であり、上記熱可塑性樹脂層が、共重合ポリエステル樹脂を含み、上記熱可塑性樹脂層の平均厚みが、1μm～10μmであり、上記熱可塑性樹脂層と上記中間層との剥離力が、50mN/cm以下である仮支持体剥離露光用の感光性転写材料及びその製造方法。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
仮支持体、熱可塑性樹脂層、中間層、及び、感光性樹脂層をこの順で有し、
前記仮支持体の前記熱可塑性樹脂層と接する面における高さ０．５μｍ以上１０μｍ未満の突起の量が、１×１０
２
個／ｍｍ
２
以上５×１０
６
個／ｍｍ
２
未満であり、
前記熱可塑性樹脂層が、共重合ポリエステル樹脂を含み、
前記熱可塑性樹脂層の平均厚みが、１μｍ～１０μｍであり、
前記熱可塑性樹脂層と前記中間層との剥離力が、５０ｍＮ／ｃｍ以下である
仮支持体剥離露光用の感光性転写材料。
続きを表示（約 700 文字）【請求項２】
前記熱可塑性樹脂層と前記中間層とが接している請求項１に記載の感光性転写材料。
【請求項３】
前記中間層が、水溶性樹脂を含む請求項１又は請求項２に記載の感光性転写材料。
【請求項４】
前記熱可塑性樹脂層の平均厚みが、１μｍ～５μｍである請求項１又は請求項２に記載の感光性転写材料。
【請求項５】
前記共重合ポリエステル樹脂のガラス転移温度が、３０℃以上８０℃以下である請求項１又は請求項２に記載の感光性転写材料。
【請求項６】
前記熱可塑性樹脂層が、ケイ素原子を有する界面活性剤を含む請求項１又は請求項２に記載の感光性転写材料。
【請求項７】
前記中間層が、ケイ素原子を有する界面活性剤を含む請求項１又は請求項２に記載の感光性転写材料。
【請求項８】
前記熱可塑性樹脂層が、可塑剤を含む請求項１又は請求項２に記載の感光性転写材料。
【請求項９】
前記熱可塑性樹脂層が、ポリエステル系可塑剤を含む請求項１又は請求項２に記載の感光性転写材料。
【請求項１０】
仮支持体の片面に、共重合ポリエステル樹脂を含有する熱可塑性樹脂層を塗布により１μｍ～１０μｍの膜厚で形成する工程と、
前記熱可塑性樹脂層の前記仮支持体と接する面と反対側の面に、前記中間層を塗布により形成する工程と、
前記中間層の前記熱可塑性樹脂層と接する面と反対側の面に、前記感光性樹脂層を塗布により形成する工程と、をこの順で含む請求項１又は請求項２に記載の感光性転写材料の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、感光性転写材料及びその製造方法に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
所定のパターンを得るための工程数が少ないという理由から、感光性転写材料を用いて任意の基板上に感光性樹脂層を配置して、この感光性樹脂層に対してマスクを介して露光し、更に現像する方法が広く利用されている。
【０００３】
従来の感光性転写材料としては、特許文献１～３に記載のものが挙げられる。
特許文献１には、支持体上に、クッション層と感光層とをこの順に有するパターン形成材料において、上記感光層が、増感剤として蛍光増白剤を含み、かつ、上記感光層を露光し現像する場合において、上記感光層の露光する部分の平均厚みを上記露光及び現像後において変化させない上記露光に用いる光の最小エネルギーが０．１～５０ｍＪ／ｃｍ
２
であることを特徴とするパターン形成材料が記載されている。
【０００４】
特許文献２には、仮支持体と、上記仮支持体に接触する中間層と、感光層と、をこの順に含み、上記中間層から上記仮支持体を剥離した場合に露出した上記中間層の表面の粗さＲａが、２ｎｍ以上である、転写材料が記載されている。
【０００５】
特許文献３には、仮支持体と、５０μｍ以下の平均厚みを有する転写層と、をこの順に含む、蒸着マスク製造用転写フィルムが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２００７－１７８４５９号公報
国際公開第２０２２／１３８４６８号
特開２０２２－１６８８１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の一実施形態が解決しようとする課題は、仮支持体剥離露光により得られるパターンのパターン形状に優れる感光性転写材料及びその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための手段には、以下の態様が含まれる。
＜１＞仮支持体、熱可塑性樹脂層、中間層、及び、感光性樹脂層をこの順で有し、上記仮支持体の上記熱可塑性樹脂層と接する面における高さ０．５μｍ以上１０μｍ未満の突起の量が、１×１０
２
個／ｍｍ
２
以上５×１０
６
個／ｍｍ
２
未満であり、上記熱可塑性樹脂層が、共重合ポリエステル樹脂を含み、上記熱可塑性樹脂層の平均厚みが、１μｍ～１０μｍであり、上記熱可塑性樹脂層と上記中間層との剥離力が、５０ｍＮ／ｃｍ以下である仮支持体剥離露光用の感光性転写材料。
＜２＞上記熱可塑性樹脂層と上記中間層とが接している＜１＞に記載の感光性転写材料。
＜３＞上記中間層が、水溶性樹脂を含む＜１＞又は＜２＞に記載の感光性転写材料。
＜４＞上記熱可塑性樹脂層の平均厚みが、１μｍ～５μｍである＜１＞～＜３＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料。
＜５＞上記共重合ポリエステル樹脂のガラス転移温度が、３０℃以上８０℃以下である＜１＞～＜４＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料。
＜６＞上記熱可塑性樹脂層が、ケイ素原子を有する界面活性剤を含む＜１＞～＜５＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料。
＜７＞上記中間層が、ケイ素原子を有する界面活性剤を含む＜１＞～＜６＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料。
＜８＞上記熱可塑性樹脂層が、可塑剤を含む＜１＞～＜７＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料。
＜９＞上記熱可塑性樹脂層が、ポリエステル系可塑剤を含む＜１＞～＜８＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料。
＜１０＞仮支持体の片面に、共重合ポリエステル樹脂を含有する熱可塑性樹脂層を塗布により１μｍ～１０μｍの膜厚で形成する工程と、上記熱可塑性樹脂層の上記仮支持体と接する面と反対側の面に、上記中間層を塗布により形成する工程と、上記中間層の上記熱可塑性樹脂層と接する面と反対側の面に、上記感光性樹脂層を塗布により形成する工程と、をこの順で含む＜１＞～＜９＞のいずれか１つに記載の感光性転写材料の製造方法。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の一実施形態によれば、仮支持体剥離露光により得られるパターンのパターン形状に優れる感光性転写材料及びその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本開示に係る感光性転写材料の構成の一例を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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