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公開番号2025079872
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-23
出願番号2023192714
出願日2023-11-13
発明の名称サーマルプリントヘッド
出願人ローム株式会社
代理人弁理士法人深見特許事務所
主分類B41J 2/345 20060101AFI20250516BHJP(印刷;線画機;タイプライター;スタンプ)
要約【課題】配線層の配置の自由度が向上したサーマルプリントヘッドを提供する。
【解決手段】サーマルプリントヘッド100aは、基板1と第1絶縁層21と下部配線層3と上部個別配線層4と第2絶縁層22とを備える。基板1の主面11上に第1絶縁層21が形成される。下部配線層3は第1絶縁層21上に形成されている。主面11に対して垂直な方向をz方向とする。第2絶縁層22は、下部配線層3と上部個別配線層4との間に配置されている。主面11には凸部15が形成されている。上部個別配線層4は、個別パッド6を有する。個別パッド6は、凸部15に対して離間して配置されている。平面視において、凸部15からみて個別パッド6が配置されている領域を第1領域Q1とする。第1領域Q1において、上部個別配線層4および下部配線層3が電気的に接続されている。下部配線層3は、第1領域Q1に配置されている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
主面を有する基板と、
前記主面上に形成された第１絶縁層と、
前記第１絶縁層上に形成された下部配線層と、
上部個別配線層と、
第２絶縁層とを備え、
前記主面に対して垂直な方向をｚ方向とすると、
前記ｚ方向において、前記第２絶縁層は前記下部配線層と前記上部個別配線層との間に配置され、
前記主面には凸部が形成されており、
前記上部個別配線層は、前記主面の平面視において各々が凸部を跨ぐように伸びている往路部および復路部を含み、
前記ｚ方向に対して垂直な方向をｙ方向とすると、
前記復路部は、前記凸部に対して前記ｙ方向に離間して配置された個別パッドを有し、
前記平面視において、前記凸部からみて前記ｙ方向において前記個別パッドが配置されている領域を第１領域とし、前記凸部からみて前記ｙ方向において前記第１領域の反対側の領域を第２領域とすると、
前記復路部は、前記第２領域において前記往路部に接続されており、
前記第１領域において、前記往路部および前記下部配線層が電気的に接続されるように前記第２絶縁層には第１コンタクトホールが形成されており、
前記下部配線層は、前記第１領域に配置されている、サーマルプリントヘッド。
続きを表示（約 900 文字）【請求項２】
前記下部配線層は、前記ｙ方向において前記凸部と前記個別パッドとの間に配置されている、請求項１に記載のサーマルプリントヘッド。
【請求項３】
前記平面視において、前記第１コンタクトホールは、前記下部配線層の前記ｙ方向における中央からみて前記凸部側に配置されている、請求項１または請求項２に記載のサーマルプリントヘッド。
【請求項４】
共通パッドを有する上部共通配線層を更に備え、
前記第１領域において、前記上部共通配線層および前記下部配線層が電気的に接続されるように前記第２絶縁層には第２コンタクトホールが形成されており、
前記下部配線層は、前記ｙ方向において前記凸部と前記共通パッドとの間に配置されている、請求項１または請求項２に記載のサーマルプリントヘッド。
【請求項５】
前記個別パッドは、複数の個別パッド部を含み、
前記共通パッドは、第１共通パッド部と、第２共通パッド部とを含み、
前記ｚ方向および前記ｙ方向に対して垂直な方向をｘ方向とすると、
複数の前記個別パッド部は、前記ｘ方向において前記第１共通パッド部と前記第２共通パッド部との間に配置されている、請求項４に記載のサーマルプリントヘッド。
【請求項６】
前記共通パッドは、前記ｘ方向において前記第１共通パッド部と前記第２共通パッド部との間に配置されている第３共通パッド部を更に含み、
前記ｘ方向において前記第１共通パッド部と前記第３共通パッド部との間に配置されている前記個別パッド部の数は、前記ｘ方向において前記第３共通パッド部と前記第２共通パッド部との間に配置されている前記個別パッド部の数と同じである、請求項５に記載のサーマルプリントヘッド。
【請求項７】
前記上部個別配線層は発熱体層を含む、請求項１または請求項２に記載のサーマルプリントヘッド。
【請求項８】
前記基板を構成する材料はシリコンである、請求項１または請求項２に記載のサーマルプリントヘッド。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、サーマルプリントヘッドに関する。
続きを表示（約 3,600 文字）【背景技術】
【０００２】
特開２０２２－１８０１５２号公報（特許文献１）は、配線層と基板とを備えるサーマルプリントヘッドを開示している。配線層は、個別電極および共通電極に導通している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－１８０１５２号公報［概要］しかし、サーマルプリントヘッドは小型化が求められており、配線層の配置に改善の余地がある。
【０００４】
本開示の一態様によるサーマルプリントヘッドは、基板と、第１絶縁層と、下部配線層と、上部個別配線層と、第２絶縁層とを備える。基板は主面を有する、第１絶縁層は、主面上に形成されている。下部配線層は、第１絶縁層上に形成されている。主面に対して垂直な方向をｚ方向とする。ｚ方向において、第２絶縁層は、下部配線層と上部個別配線層との間に配置されている。主面には凸部が形成されている。上部個別配線層は、往路部および復路部を含む。往路部および復路部の各々は、主面の平面視において凸部を跨ぐように伸びている。ｚ方向に対して垂直な方向をｙ方向とする。復路部は、個別パッドを有する。個別パッドは、凸部に対してｙ方向に離間して配置されている。平面視において、凸部からみてｙ方向において個別パッドが配置されている領域を第１領域とする。凸部からみてｙ方向において第１領域の反対側の領域を第２領域とする。復路部は、第２領域において往路部に接続されている。第１領域において、往路部および下部配線層が電気的に接続されるように第２絶縁層には第１コンタクトホールが形成されている。下部配線層は、第１領域に配置されている。
【図面の簡単な説明】
【０００５】
図１は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの概略平面図である。
図２は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの概略平面図である。
図３は、図１の線分ＩＩＩ－ＩＩＩにおけるサーマルプリントヘッドの概略断面図である。
図４は、図１の線分ＩＶ－ＩＶにおけるサーマルプリントヘッドの概略部分断面図である。
図５は、図１の線分Ｖ－Ｖにおけるサーマルプリントヘッドの概略部分断面図である。
図６は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法におけるフローチャートである。
図７は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法における一工程を示す概略断面図である。
図８は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法における図７に示される工程の次工程を示す概略断面図である。
図９は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法における図８に示される工程の次工程を示す概略断面図である。
図１０は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法における図９に示される工程の次工程を示す概略断面図である。
図１１は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法における図１０に示される工程の次工程を示す概略平面図である。
図１２は、図１１の線分ＸＩＩ－ＸＩＩにおけるサーマルプリントヘッドの概略断面図である。
図１３は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法における図１１に示される工程の次工程を示す概略断面図である。
図１４は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法における図１３に示される工程の次工程を示す概略平面図である。
図１５は、図１４の線分ＸＶ－ＸＶにおけるサーマルプリントヘッドの概略断面図である。
図１６は、図１４の線分ＸＶＩ－ＸＶＩにおけるサーマルプリントヘッドの概略部分断面図である。
図１７は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法における図１４に示される工程の次工程を示す概略平面図である。
図１８は、図１７の線分ＸＶＩＩＩ－ＸＶＩＩＩにおけるサーマルプリントヘッドの概略断面図である。
図１９は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法における図１７に示される工程の次工程を示す概略平面図である。
図２０は、図１９の線分ＸＸ－ＸＸにおけるサーマルプリントヘッドの概略部分断面図である。
図２１は、図１９の線分ＸＸＩ－ＸＸＩにおけるサーマルプリントヘッドの概略部分断面図である。
図２２は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法における図２０に示される工程の次工程を示す概略部分断面図である。
図２３は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法における図２２に示される工程の次工程を示す概略部分断面図である。
図２４は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法における図２３に示される工程の次工程を示す概略平面図である。
図２５は、図２４の線分ＸＸＶ－ＸＸＶにおけるサーマルプリントヘッドの概略断面図である。
図２６は、実施の形態２のサーマルプリントヘッドの概略平面図である。［詳細な説明］図面に基づいて本開示の実施の形態の詳細について説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰返さない。以下に記載する実施の形態の少なくとも一部の構成を任意に組み合わせてもよい。
【０００６】
（実施の形態１）
図１および図２は、実施の形態１のサーマルプリントヘッド１００ａの概略平面図である。図３は、図１の線分ＩＩＩ－ＩＩＩにおけるサーマルプリントヘッド１００ａの概略断面図である。図４は、図１の線分ＩＶ－ＩＶにおけるサーマルプリントヘッド１００ａの概略部分断面図である。図５は、図１の線分Ｖ－Ｖにおけるサーマルプリントヘッド１００ａの概略部分断面図である。
【０００７】
なお、図１は、第２絶縁層２２上に形成された上部個別配線層４および上部共通配線層５を図示している。つまり、図１において第３絶縁層２３の図示を省略している。また、凸部１５、下部配線層３、上部個別配線層４、および上部共通配線層５の位置関係が分かるように、図１において凸部１５および下部配線層３は点線で示されている。図２は、第１絶縁層２１上に形成された下部配線層３を図示している。つまり、図２において第２絶縁層２２および第３絶縁層２３の図示を省略している。また、凸部１５、下部配線層３、上部個別配線層４、および上部共通配線層５の位置関係が分かるように、図２において凸部１５、上部個別配線層４、および上部共通配線層５は点線で示されている。図１で示されている線分ＩＩＩ－ＩＩＩは、上部個別配線層４の復路部４１Ｌに沿っている。つまり、図３は、上部個別配線層４の復路部４１Ｌにおける断面を示している。図１で示されている線分ＩＶ－ＩＶは、上部個別配線層４の往路部４２に沿っている。つまり、図４は、上部個別配線層４の往路部４２における断面を示している。図５は、上部共通配線層５における断面を示している。
【０００８】
サーマルプリントヘッド１００ａは、複数の発熱部１６（図３を参照）を選択的に発熱させることによって、感熱紙などの印刷媒体に印字を施す電子デバイスである。サーマルプリントヘッド１００ａは、基板１と、第１絶縁層２１と、第２絶縁層２２と、第３絶縁層２３と、配線層とを主に備える。
【０００９】
図１に示されるように、基板１は、主面１１と、裏面１２と、第１端面１３と、第２端面１４とを有する。裏面１２は、主面１１とは反対側に位置している。主面１１と裏面１２とは、各々、ｘ方向と、ｘ方向に垂直なｙ方向とに延在している。ｘ方向は、基板１の長手方向であり、サーマルプリントヘッド１００ａの主走査方向である。ｙ方向は、基板１の短手方向であり、サーマルプリントヘッド１００ａの副走査方向である。ｚ方向は、基板１の厚さ方向である。ｚ方向は、主面１１に対して垂直な方向である。主面１１は、＋ｚ方向を向いている。裏面１２は、－ｚ方向を向いている。ｙ方向は、第２端面１４に対して垂直な方向である。第２端面１４は、＋ｙ方向を向いている。第１端面１３は、－ｙ方向を向いている。基板１を構成する材料は、たとえばシリコンであってもよい。
【００１０】
図３に示されているように、主面１１には凸部１５が形成されている。図１および図２に示されているように、凸部１５はｘ方向に伸びるように延在している。ｙ方向において、凸部１５は、第２端面１４側に位置している。つまり、第２端面１４から凸部１５までの距離は、第１端面１３から凸部１５までの距離よりも小さい。
（【００１１】以降は省略されています）

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