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公開番号2025082457
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-29
出願番号2023195786
出願日2023-11-17
発明の名称液体吐出ヘッド
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人谷・阿部特許事務所
主分類B41J 2/14 20060101AFI20250522BHJP(印刷;線画機;タイプライター;スタンプ)
要約【課題】大型化を抑制しつつ、圧電体素子に接続される金属層の、水素イオンに起因する破壊を抑制可能な液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】一方の面に圧電体素子を備えた第1基板と、前記第1基板の前記一方の面に接合され、前記圧電体素子を覆う空間を形成する第2基板と、前記第1基板の他方の面に接合され、液体を貯留し、前記圧電体素子の駆動により変形する圧力室と、前記圧力室に貯留された液体を吐出可能な吐出口と、を備えた第3基板と、を有し、前記第1基板の前記一方の面には、前記空間内において、前記圧電体素子における電極よりも低電位となる低電位電極が形成されるようにした。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
一方の面に圧電体素子を備えた第１基板と、
前記第１基板の前記一方の面に接合され、前記圧電体素子を覆う空間を形成する第２基板と、
前記第１基板の他方の面に接合され、液体を貯留し、前記圧電体素子の駆動により変形する圧力室と、前記圧力室に貯留された液体を吐出可能な吐出口と、を備えた第３基板と、を有し、
前記第１基板の前記一方の面には、前記空間内において、前記圧電体素子における電極よりも低電位となる低電位電極が形成されることを特徴とする液体吐出ヘッド。
続きを表示（約 680 文字）【請求項２】
前記圧電体素子は、前記第１基板に対する前記第２基板および前記第３基板の接合方向と交差する方向に複数配列され、
前記低電位電極は、前記圧電体素子の配列方向に延設される請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記低電位電極は、前記接合方向から見たときに、前記圧電体素子に重ならず、かつ、前記圧電体素子における低電位側の電極に接続される接続配線に重なる請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記圧電体素子は、前記第１基板に対する前記第２基板および前記第３基板の接合方向と交差する方向に複数配列され、
前記低電位電極は、前記圧電体素子の配列方向および前記接合方向と交差する方向に延設される請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記低電位電極は、前記圧電体素子のそれぞれに対して、前記配列方向の両側に設けられる請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記低電位電極は、隣接する前記圧電体素子の間に設けられる請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記低電位電極は、貴金属により形成される請求項１から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記第１基板の電位に対して、前記低電位電極は負電位となる請求項１から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記低電位電極は、保護膜により被覆される請求項１から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、インクジェット方式によりインクを吐出可能な記録ヘッドなどとして広く適用可能な液体吐出ヘッドに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、吐出口を形成する基板と、圧力室および圧電体素子を形成する基板と、圧電体素子を覆う空間および流路が形成された基板とを、接着剤を用いて接着して形成する液体吐出ヘッドが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
米国特許第９８４９６７４号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示の液体吐出ヘッドでは、吐出する液体中の水分の影響によって圧電体素子を覆うように設けられた空間が高湿度環境となる場合がある。高湿度環境下で圧電体素子を駆動させると、圧電体素子における２つの電極の間に生じた電位差によって、上記した水分由来の水素イオンが低電位の電極側に引き寄せられる。これにより、圧電体素子の電極に接続される配線などの金属層が、水素イオンと反応して溶解し、破壊される虞がある。
【０００５】
仮に、金属層を保護層で被覆したとしても、保護層の被覆性が低い箇所で金属層と水素イオンとが反応する虞がある。なお、保護層の厚化により被覆性を向上させることで、水素イオンに起因する金属層の破壊が改善することも考えられるが、この場合、圧電体素子自体の厚化により液体吐出ヘッドが大型化する虞がある。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、大型化を抑制しつつ、圧電体素子に接続される金属層の、水素イオンに起因する破壊を抑制可能な液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明による液体吐出ヘッドの一実施形態は、一方の面に圧電体素子を備えた第１基板と、前記第１基板の前記一方の面に接合され、前記圧電体素子を覆う空間を形成する第２基板と、前記第１基板の他方の面に接合され、液体を貯留し、前記圧電体素子の駆動により変形する圧力室と、前記圧力室に貯留された液体を吐出可能な吐出口と、を備えた第３基板と、を有し、前記第１基板の前記一方の面には、前記空間内において、前記圧電体素子における電極よりも低電位となる低電位電極が形成されることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、大型化を抑制しつつ、圧電体素子に接続される金属層の、水素イオンに起因する破壊を抑制することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
液体吐出ヘッドの基本的な概略構成図。
液体吐出ヘッドの概略構成図。
図２の液体吐出ヘッドの平面図。
液体吐出ヘッドの変形例を示す図。
液体吐出ヘッドの変形例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付の図面を参照しながら、液体吐出ヘッドの実施形態の一例を説明する。なお、以下の実施形態は、本発明を限定するものではなく、また、本実施形態で説明されている特徴の組合せのすべてが本発明の解決手段に必須のものとは限らない。また、実施形態に記載されている構成要素の位置、形状などはあくまで一例であり、この発明をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
（【００１１】以降は省略されています）

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