特許ウォッチ

公開番号2025128617
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-03
出願番号2024025389
出願日2024-02-22
発明の名称測定方法及び測定治具
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類H01L 21/301 20060101AFI20250827BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】温度センサを備えない装置で、加工中の被加工物の温度を容易に測定可能にする。
【解決手段】保持部に保持された被加工物の加工中の温度を測定する測定方法であって、一方の面(21)に温度を測定する温度センサ(24)を収容する収容部(23)を有する測定治具(20)を、保持部(41)で保持する保持ステップと、測定治具を所定の加工条件で加工する加工ステップと、加工ステップにおいて測定された温度センサの測定結果を取得する取得ステップと、を備える。
【選択図】図10
特許請求の範囲【請求項１】
保持部に保持された被加工物を、加工ユニットによって所定の加工条件で加工する加工装置において、加工中の温度を測定する測定方法であって、
一方の面に温度を測定する温度センサを収容する収容部を有する測定治具を、該保持部で保持する保持ステップと、
該測定治具を該所定の加工条件で加工する加工ステップと、
該加工ステップにおいて測定された該温度センサの測定結果を取得する取得ステップと、
を備える測定方法。
続きを表示（約 740 文字）【請求項２】
該収容部は、
該測定治具の一方の面が延在する第一方向と交差する第二方向に沿って、該一方の面から凹となる凹部であり、
該温度センサは、該第二方向において、該一方の面から突出しない厚みを有する、請求項１に記載の測定方法。
【請求項３】
該加工装置は
カセットに収容された被加工物の一方の面を吸着して該保持部に対して搬出入する搬送ユニットを有し、
該測定治具は、被加工物と同一または異なるカセットに収容され、
被加工物を搬送する該搬送ユニットが、該カセットと該保持部との間で、該測定治具の該一方の面側を、該温度センサが収容されている領域を含んで吸着して搬送する、請求項２に記載の測定方法。
【請求項４】
該温度センサは、温度に応じて変色する温度表示部材であり、
該取得ステップは、該加工ステップが実施されている最中または後の該温度センサを撮像した画像から該測定結果を取得する、請求項１に記載の測定方法。
【請求項５】
該加工ステップは、該測定治具に対してプラズマ加工を実施する、請求項１に記載の測定方法。
【請求項６】
一方の面に温度を測定する温度センサを収容する収容部を有する測定治具。
【請求項７】
該収容部は、
該測定治具の一方の面が延在する第一方向と交差する第二方向に沿って、該一方の面から凹となる凹部であり、
該温度センサは、該第二方向において、該一方の面から突出しない厚みを有する、請求項６に記載の測定治具。
【請求項８】
該収容部は体積の異なる複数の該凹部を含む、請求項７に記載の測定治具。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を加工する際の温度を測定するための測定方法及び測定治具に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
加工装置での被加工物の加工中に、加工空間における温度を定期的に確認したいという要望がある。例えば、特許文献１、２に開示されるように、ウエーハなどの被加工物をプラズマ状態のガスを用いて加工する加工装置では、プラズマ加工時に被加工物を収容するチャンバーの内部の温度を測定するために、チャンバーの外壁や、被加工物を保持する保持部に、温度センサを取り付けている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－１６８４２２号公報
特開２００７－０７０６７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
温度センサを後から設置することが難しいタイプの加工装置を使用している場合や、加工装置に温度センサを設置するコストを抑制したいという場合があり、温度センサを備えていない加工装置においても、加工中の温度を測定可能にすることが求められている。また、加工中の加工空間における温度は一様ではなく、精度の高い測定結果を得るために、できるだけ被加工物を加工している箇所に近い箇所の温度を測定したいという要望がある。
【０００５】
本発明の課題は、温度センサを備えない装置であっても、加工中の被加工物の温度を容易に測定可能な測定方法及び測定治具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様は、保持部に保持された被加工物を、加工ユニットによって所定の加工条件で加工する加工装置において、加工中の温度を測定する測定方法であって、一方の面に温度を測定する温度センサを収容する収容部を有する測定治具を、該保持部で保持する保持ステップと、該測定治具を該所定の加工条件で加工する加工ステップと、該加工ステップにおいて測定された該温度センサの測定結果を取得する取得ステップと、を備える。
【０００７】
該収容部は、該測定治具の一方の面が延在する第一方向と交差する第二方向に沿って、該一方の面から凹となる凹部であり、該温度センサは、該第二方向において、該一方の面から突出しない厚みを有することが好ましい。
【０００８】
該加工装置はカセットに収容された被加工物の一方の面を吸着して該保持部に対して搬出入する搬送ユニットを有し、該測定治具は、被加工物と同一または異なるカセットに収容され、被加工物を搬送する該搬送ユニットが、該カセットと該保持部との間で、該測定治具の該一方の面側を、該温度センサが収容されている領域を含んで吸着して搬送する。このような場合に、温度センサが測定治具の一方の面から突出しない厚みであると、搬送ユニットによる測定治具の吸着が妨げられない。
【０００９】
該温度センサは、温度に応じて変色する温度表示部材であり、該取得ステップは、該加工ステップが実施されている最中または後の該温度センサを撮像した画像から該測定結果を取得することが好ましい。
【００１０】
該加工ステップは、例えば、該測定治具に対してプラズマ加工を実施する。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許