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公開番号2025097461
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-01
出願番号2023213669
出願日2023-12-19
発明の名称フィルターユニット
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類C02F 1/28 20230101AFI20250624BHJP(水,廃水,下水または汚泥の処理)
要約【課題】容器内にフィルター部材を挿入する際に傾くことなく真っ直ぐに配置できるフィルターユニットを提供すること。
【解決手段】フィルターユニット1は、流体中に含まれる不純物を除去するものであって、円筒状の容器2と、容器2の内径よりも小さい外径を有するフィルター部材3と、を少なくとも備え、フィルター部材3を容器2内に挿入して配置する際に、フィルター部材3と容器2との間にフィルター部材3が傾くことなく真っ直ぐに立設できるようにフィルター支持部材5を配設する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
流体中に含まれる不純物を除去するフィルターユニットであって、
該フィルターユニットは、円筒状の容器と、
該容器の内径よりも小さい外径を有するフィルター部材と、
を少なくとも備え、
該フィルター部材を該容器内に挿入して配置する際に、該フィルター部材と該容器との間に該フィルター部材が傾くことなく真っ直ぐに立設できるようにフィルター支持部材を配設する、
フィルターユニット。
続きを表示（約 450 文字）【請求項２】
流体中に含まれる不純物を除去するフィルターユニットであって、
該フィルターユニットは、円筒状の容器と、
該容器の内径よりも小さい外径を有するフィルター部材と、
を少なくとも備え、
該フィルター部材の外周には、該フィルター部材を該容器内に挿入して配置する際に、該容器内壁に当接して該フィルター部材が傾くことなく真っ直ぐに立設できるフィルター支持部を更に備える、
フィルターユニット。
【請求項３】
流体中に含まれる不純物を除去するフィルターユニットであって、
該フィルターユニットは、円筒状の容器と、
該容器の内径よりも小さい外径を有するフィルター部材と、
を少なくとも備え、
該容器の内壁側には、該フィルター部材を該容器内に挿入して配置する際に、該フィルター部材に当接して該フィルター部材が傾くことなく真っ直ぐに立設できるフィルター支持部を更に備える、
フィルターユニット。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルターユニットに関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイスが表面に複数形成されたシリコンウエーハ（以下、単にウェーハ）は、裏面が研削されて所定の厚みに形成された後、切削装置によって個々のデバイスに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
ここで、ウェーハを切削装置で切削加工すると、ウェーハ表面に切削屑が付着して残ってしまうという課題がある。
【０００４】
そこで、本出願人は、切削加工時に加工点に供給する切削水に界面活性剤を添加して供給する加工方法を提案している（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
また、切削装置で使用された廃液（以下、単に液体と称する）から界面活性剤を除去して清水にして、再び界面活性剤を所定濃度添加して、切削水として切削装置に供給する加工液の循環システムも提案している（例えば、特許文献２参照）。
【０００６】
上記特許文献２に示された循環システムは、液体をフィルターユニットに通水して液体に含まれる界面活性剤を除去する。フィルターユニットは、底面を有し、上面に開口を備える円筒状の容器（ハウジング）内に容器の内径よりも小さい外径を有する円筒状のフィルター部材を中央に挿入して配置し、容器の開口部を蓋部で蓋をする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特許第５２５３７６５号公報
特許第７３３７４４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、特許文献２に示されたフィルターユニットは、容器内の中央にフィルター部材を挿入して配置すると、容器の内壁とフィルター部材の外周側面との間に隙間があるので、フィルター部材が傾いてしまうという問題がある。
【０００９】
フィルター部材が傾くと、蓋部の底面に備えるフィルター部材の内側の円筒流路と勘合する嵌合凸部（円筒部４８）がフィルター部材の上面に当たり、フィルター部材が損傷するおそれがあった。
【００１０】
本発明の目的は、容器内にフィルター部材を挿入する際に傾くことなく真っ直ぐに配置できるフィルターユニットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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