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公開番号2025099745
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-03
出願番号2023216647
出願日2023-12-22
発明の名称サーマルプリントヘッドおよびサーマルプリントヘッドの製造方法
出願人ローム株式会社
代理人弁理士法人深見特許事務所
主分類B41J 2/335 20060101AFI20250626BHJP(印刷;線画機;タイプライター;スタンプ)
要約【課題】耐久性が向上したサーマルプリントヘッドを提供する。
【解決手段】サーマルプリントヘッド100は、発熱部5を有する。サーマルプリントヘッド100は、第1保護膜4aと、第2保護膜4bと、を備える。第1保護膜4aは、発熱部5を覆う。第2保護膜4bは、第1保護膜4a上に形成されている。第1保護膜4aの平面視において、第2保護膜4bは発熱部5に重なっている。第2保護膜4bは、ダイヤモンド、窒化ホウ素、アルミナ、炭化珪素、タングステンカーバイド、およびチタンアルミナイドの少なくともいずれかを含む金属保護膜である。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
発熱部を有するサーマルプリントヘッドであって、
前記発熱部を覆う第１保護膜と、
前記第１保護膜上に形成された第２保護膜とを備え、
前記第１保護膜の平面視において、前記第２保護膜は前記発熱部に重なっており、
前記第２保護膜は、ダイヤモンド、窒化ホウ素、アルミナ、炭化珪素、タングステンカーバイド、およびチタンアルミナイドの少なくともいずれかを含む金属保護膜である、サーマルプリントヘッド。
続きを表示（約 920 文字）【請求項２】
前記金属保護膜を構成する材料は、銀、金、パラジウム、ニッケル、銅、およびアルミニウムのいずれかを含む、請求項１に記載のサーマルプリントヘッド。
【請求項３】
前記第２保護膜におけるビッカース硬さは５００ＨＶ以上である、請求項１または請求項２に記載のサーマルプリントヘッド。
【請求項４】
前記第２保護膜におけるビッカース硬さは１０００ＨＶ以上である、請求項３に記載のサーマルプリントヘッド。
【請求項５】
前記第２保護膜は前記第１保護膜に直接的に接続されている、請求項１または請求項２に記載のサーマルプリントヘッド。
【請求項６】
発熱部を有するサーマルプリントヘッドの製造方法であって、
第１保護膜を形成する工程と、
第２保護膜を形成する工程とを備え、
前記第２保護膜を形成する工程において、
前記第２保護膜は、前記第１保護膜の平面視において前記発熱部に重なるように前記第１保護膜上に形成され、
前記第２保護膜はダイヤモンド、窒化ホウ素、アルミナ、炭化珪素、タングステンカーバイド、およびチタンアルミナイドの少なくともいずれかを含む金属保護膜である、サーマルプリントヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記第２保護膜を形成する工程は、
前記第１保護膜の上に混合ペーストを塗布する工程と、
前記混合ペーストを焼成する工程とを含む、請求項６に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記混合ペーストは、銀、金、パラジウム、ニッケル、銅、およびアルミニウムのいずれかを含む金属ペーストと、ダイヤモンド、窒化ホウ素、アルミナ、炭化珪素、タングステンカーバイド、およびチタンアルミナイドの少なくともいずれかである高硬度フィラーとを含む、請求項７に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記混合ペーストは、アルミニウムを含む金属ペーストと、ダイヤモンドを含む高硬度ペーストとを含む、請求項７に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、サーマルプリントヘッドおよびサーマルプリントヘッドの製造方法に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
特開２０２２－７８５８９号公報（特許文献１）は、発熱抵抗体を覆う保護層を有するサーマルプリントヘッドを開示している。保護層を構成する材料は、ガラスである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－７８５８９号公報［概要］しかし、ガラスを材料とした保護層における耐久性は低く、サーマルプリントヘッドにおける耐久性は改善の余地がある。
【０００４】
本開示の一態様によるサーマルプリントヘッドは、発熱部を有する。サーマルプリントヘッドは、第１保護膜と、第２保護膜と、を備える。第１保護膜は、発熱部を覆う。第２保護膜は、第１保護膜上に形成されている。第１保護膜の平面視において、第２保護膜は発熱部に重なっている。第２保護膜は、ダイヤモンド、窒化ホウ素、アルミナ、炭化珪素、タングステンカーバイド、およびチタンアルミナイドの少なくともいずれかを含む金属保護膜である。
【０００５】
本開示の一態様によるサーマルプリントヘッドの製造方法は、第１保護膜を形成する工程と、第２保護膜を形成する工程とを備える。サーマルプリントヘッドは発熱部を有する。第２保護膜を形成する工程において、第２保護膜は、第１保護膜の平面視において発熱部に重なるように第１保護膜上に形成される。第２保護膜はダイヤモンド、窒化ホウ素、アルミナ、炭化珪素、タングステンカーバイド、およびチタンアルミナイドの少なくともいずれかを含む金属保護膜である。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
図１は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの概略平面図である。
図２は、図１の線分ＩＩ－ＩＩにおけるサーマルプリントヘッドの概略部分断面図である。
図３は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法におけるフローチャートである。
図４は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法における一工程を示す概略部分断面図である。
図５は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法における図４に示される工程の次工程を示す概略部分断面図である。
図６は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法における図５に示される工程の次工程を示す概略部分断面図である。
図７は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法における図６に示される工程の次工程を示す概略部分断面図である。
図８は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法における図７に示される工程の次工程を示す概略部分断面図である。
図９は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法における図８に示される工程の次工程を示す概略部分断面図である。［詳細な説明］図面に基づいて本開示の実施の形態の詳細について説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰返さない。以下に記載する実施の形態の少なくとも一部の構成を任意に組み合わせてもよい。
【０００７】
実施の形態１．
（サーマルプリントヘッドの構成）
図１は、実施の形態１のサーマルプリントヘッド１００の概略平面図である。図２は、図１の線分ＩＩ－ＩＩにおけるサーマルプリントヘッド１００の概略部分断面図である。なお、図１において、第１保護膜４ａおよび第２保護膜４ｂの図示は省略してある。
【０００８】
図１および図２に示されたサーマルプリントヘッド１００は、絶縁基板１と、グレーズ層２０と、配線層３０と、発熱部５と、第１保護膜４ａと、第２保護膜４ｂとを備えている。
【０００９】
図２に示されているように、絶縁基板１は、第１面１０ａと、第２面１０ｂとを有している。第１面１０ａおよび第２面１０ｂは、絶縁基板１の厚さ方向における端面である。第２面１０ｂは、第１面１０ａの反対側の面である。第１面１０ａの平面視における絶縁基板１の形状は、例えば矩形状である。第１面１０ａに対して垂直な方向をｚ方向とする。ｚ方向に対して垂直な方向をｘ方向とする。ｘ方向およびｚ方向に対して垂直な方向をｙ方向とする。平面視とは、第１面１０ａのｚ方向に沿って第１面１０ａ側から見た場合を言う。ｘ方向は、平面視における絶縁基板１の長手方向に対応している。後述するように、ｘ方向は、発熱部５が延在する方向である。ｙ方向は、平面視における絶縁基板１の短手方向に対応している。
【００１０】
絶縁基板１は、第１側面１０ｃと、第２側面１０ｄとを有している。第１側面１０ｃおよび第２側面１０ｄの各々は、第１面１０ａと第２面１０ｂとを接続する面である。第２側面１０ｄは、第１側面１０ｃの反対側における面である。
（【００１１】以降は省略されています）

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