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公開番号2025099276
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-03
出願番号2023215810
出願日2023-12-21
発明の名称半導体発光装置
出願人ローム株式会社
代理人個人,個人
主分類H01S 5/0239 20210101AFI20250626BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】半導体発光装置に搭載可能な半導体発光素子の数を増大させること。
【解決手段】半導体発光装置10は、基板20と、基板20上に設けられ、端面発光素子により各々構成された複数の半導体発光素子30と、基板20上に設けられ、複数の半導体発光素子30のうちの一つ以上を各々駆動する複数の駆動回路40A~40Hと、基板20上に設けられ、複数の半導体発光素子30から出射された光を基板20に交差する方向に反射する光反射素子50とを備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
基板と、
前記基板上に設けられ、端面発光素子により各々構成された複数の半導体発光素子と、
前記基板上に設けられ、前記複数の半導体発光素子のうちの一つ以上を各々駆動する複数の駆動回路と、
前記基板上に設けられ、前記複数の半導体発光素子から出射された光を前記基板に交差する方向に反射する光反射素子と、
を備える半導体発光装置。
続きを表示(約 1,500 文字)【請求項2】
前記複数の半導体発光素子は、
前記基板に平行な第1方向に光を出射するように配向された第1の半導体発光素子と、
前記第1方向とは反対方向の第2方向に光を出射するように配向された第2の半導体発光素子と、を含み、
前記光反射素子は、前記第1の半導体発光素子と前記第2の半導体発光素子との間に位置して前記第1および第2の半導体発光素子の各々から出射された光を反射するように構成されている、請求項1に記載の半導体発光装置。
【請求項3】
前記光反射素子は、第1の光入射面と、前記第1の光入射面と反対側の第2の光入射面とを含み、
前記第1の半導体発光素子は、前記第1の光入射面に沿って設けられた複数の第1の半導体発光素子のうちの一つであり、
前記第2の半導体発光素子は、前記第2の光入射面に沿って設けられた複数の第2の半導体発光素子のうちの一つである、請求項2に記載の半導体発光装置。
【請求項4】
前記複数の半導体発光素子は、
前記基板に平行かつ前記第1および第2方向と直交する第3方向に光を出射するように配向された第3の半導体発光素子と、
前記第3方向と反対方向の第4方向に光を出射するように配向された第4の半導体発光素子と、をさらに含み、
前記第1の半導体発光素子、前記第2の半導体発光素子、前記第3の半導体発光素子、および前記第4の半導体発光素子は、前記光反射素子の四方に隣接して位置し、
前記光反射素子は、前記第1~第4の半導体発光素子の各々から出射された光を反射するように構成されている、請求項2に記載の半導体発光装置。
【請求項5】
前記光反射素子は、第1の光入射面と、前記第1の光入射面と反対側の第2の光入射面と、前記第1および第2の光入射面に連なる第3の光入射面と、前記第1および第2の光入射面に連なりかつ前記第3の光入射面と反対側の第4の光入射面と、を含み、
前記第1の半導体発光素子は、前記第1の光入射面に沿って設けられた複数の第1の半導体発光素子のうちの一つであり、
前記第2の半導体発光素子は、前記第2の光入射面に沿って設けられた複数の第2の半導体発光素子のうちの一つであり、
前記第3の半導体発光素子は、前記第3の光入射面に沿って設けられた複数の第3の半導体発光素子のうちの一つであり、
前記第4の半導体発光素子は、前記第4の光入射面に沿って設けられた複数の第4の半導体発光素子のうちの一つである、請求項4に記載の半導体発光装置。
【請求項6】
前記光反射素子は、前記複数の半導体発光素子から出射された光を前記基板に交差する方向において同じ方向に反射するように構成されている、請求項1に記載の半導体発光装置。
【請求項7】
前記光反射素子は、ミラーまたは回折格子である、請求項1に記載の半導体発光装置。
【請求項8】
前記複数の駆動回路は各々、
前記複数の半導体発光素子のうちの前記一つ以上を制御するスイッチング素子と、
前記複数の半導体発光素子のうちの前記一つ以上に電流を供給するキャパシタと、を含む、請求項1に記載の半導体発光装置。
【請求項9】
前記キャパシタは、前記複数の駆動回路の各々に設けられた複数のキャパシタのうちの1つである、請求項8に記載の半導体発光装置。
【請求項10】
前記キャパシタは、セラミックキャパシタまたはシリコンキャパシタである、請求項8に記載の半導体発光装置。
(【請求項11】以降は省略されています)

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本開示は、半導体発光装置に関する。
続きを表示(約 2,600 文字)【背景技術】
【0002】
半導体発光装置の一つに、半導体レーザ素子を光源として備える半導体レーザ装置がある。半導体レーザ装置は、様々な電子機器に搭載される光源装置として広く採用されている。特許文献1は、半導体レーザ装置の一例を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2016-29718号公報
【0004】
[概要]
近年、半導体発光装置のさらなる性能向上が求められている。一例として、3次元距離計測を利用するLiDAR(Light Detection and Ranging、Laser Imaging Detection and Ranging)などのレーザシステムに半導体発光装置を適用する場合、視野角の拡大および解像度の向上などが求められる。このような要求に対し、半導体発光装置に搭載可能とする半導体発光素子の数をさらに増大することが求められている。
【0005】
本開示の一態様による半導体発光装置は、基板と、前記基板上に設けられ、端面発光素子により各々構成された複数の半導体発光素子と、前記基板上に設けられ、前記複数の半導体発光素子のうちの一つ以上を各々駆動する複数の駆動回路と、前記基板上に設けられ、前記複数の半導体発光素子から出射された光を前記基板に交差する方向に反射する光反射素子とを備える。
【図面の簡単な説明】
【0006】
図1は、第1実施形態に係る例示的な半導体発光装置の概略平面図である。
図2は、図1の半導体発光装置の中央領域部分を拡大して示す概略平面図である。
図3は、図1の半導体発光装置の周辺領域の一部を拡大して示す概略平面図である。
図4は、図1の半導体発光装置の周辺領域の一部を拡大して示す概略平面図である。
図5は、図1の半導体発光装置の周辺領域の一部を拡大して示す概略平面図である。
図6は、図1の半導体発光装置の周辺領域の一部を拡大して示す概略平面図である。
図7は、図3のF7-F7線に沿った半導体発光装置の概略断面図である。
図8は、図2のF8-F8線に沿った半導体発光装置の概略断面図である。
図9は、図1の半導体発光装置の裏面電極層の概略平面図である。
図10は、図1の半導体発光装置の中間電極層の概略平面図である。
図11は、図1の半導体発光装置の電流経路を示す概略断面図である。
図12は、図1の半導体発光装置を含む例示的な発光システムの概略回路図である。
図13は、第2実施形態に係る例示的な半導体発光装置の概略平面図である。
図14は、図13の半導体発光装置の中央部を拡大して示す概略平面図である。
図15は、図13の半導体発光装置の表面電極層の一部を拡大して示す概略平面図である。
図16は、図13の半導体発光装置の表面電極層の一部を拡大して示す概略平面図である。
図17は、図13の半導体発光装置の表面電極層の一部を拡大して示す概略平面図である。
図18は、図13の半導体発光装置の表面電極層の一部を拡大して示す概略平面図である。
図19は、図13の半導体発光装置の裏面電極層の概略平面図である。
図20は、図13の半導体発光装置の表面側中間電極層の概略平面図である。
図21は、図13の半導体発光装置の裏面側中間電極層の概略平面図である。
図22は、図13の半導体発光装置を含む例示的な発光システムの概略回路図である。
図23は、別例の半導体発光装置を示す概略平面図である。
【0007】
[詳細な説明]
以下、添付図面を参照して本開示における半導体発光装置のいくつかの実施形態を説明する。なお、説明を簡単かつ明確にするために、図面に示される構成要素は、必ずしも一定の縮尺で描かれていない。また、理解を容易にするために、断面図ではハッチング線が省略されている場合がある。添付の図面は、本開示の実施形態を例示するものに過ぎず、本開示を制限するものとみなされるべきではない。
【0008】
以下の詳細な記載は、本開示の例示的な実施形態を具体化する装置、システム、および方法を含む。この詳細な記載は本来説明のためのものに過ぎず、本開示の実施形態またはこのような実施形態の適用および使用を限定することを意図しない。
【0009】
[第1実施形態]
図1~図12を参照して第1実施形態の半導体発光装置10について説明する。
図1は、半導体発光装置10の概略平面構造を示す。図2は、半導体発光装置10の中央部分の概略平面構造を示す。図3~図6は、半導体発光装置10の周辺領域の4つの異なる部分の概略平面構造を示す。図7は、図3のF7-F7線に沿った概略断面構造を示し、図8は、図2のF8-F8線に沿った概略断面構造を示す。図9は、半導体発光装置10の概略的な裏面電極構造を示し、図10は、半導体発光装置10の概略的な中間電極構造を示す。図11は、半導体発光装置10の電流経路を説明する図であり、図12は、半導体発光装置10を含む発光システム200の概略回路を示す。
【0010】
なお、本開示では、図中に示された互いに直交するXYZ軸に基づいて構成部材を説明する場合がある。本開示において使用される「平面視」という用語は、Z軸方向に半導体発光装置10を視ることをいう。本開示では、説明を目的として、Y軸に沿った一方向(例えば、図1において下側から上側に向かう方向)を第1方向D1と定義し、Y軸に沿った他方向、すなわち第1方向D1と反対の方向を第2方向D2と定義する。また、X軸に沿った一方向(例えば、図1において左側から右側に向かう方向)を第3方向D3と定義し、X軸に沿った他方向、すなわち第3方向D3と反対の方向を第4方向D4と定義する。ただし、第1~第4方向D1~D4はここで定義する方向に限定されない。
(【0011】以降は省略されています)

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