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公開番号2025101265
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-07
出願番号2023217987
出願日2023-12-25
発明の名称ミラー
出願人三菱電機株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H01S 3/04 20060101AFI20250630BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】レーザが入射する中心部から、外周部にかけてガウス分布となる温度分布により、中心部に対して外周部が低温となって生じる表面の熱歪みを局限する。
【解決手段】本開示のミラー1は、レーザ光が入射する表面1aの裏側に、外周部に対して中心部の径が小さく、中心部から外周部に向かって冷媒が循環する冷媒流路2を備える。冷媒流路2内部は、突起または絞りを設けることにより表面積を増加させている。これにより、ミラー1の中心部の冷却性能が向上し、熱歪みを局限できる。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
レーザ光が反射する表面の裏側に、外周部に対して中心部の流路の径が小さく、前記中心部から前記外周部に向かって冷媒が循環する冷媒流路、を備えるミラー。
続きを表示（約 220 文字）【請求項２】
前記冷媒流路は、同心円状に設けられ、それぞれの円の一部が半径の異なる他の円と接続している、請求項１に記載のミラー。
【請求項３】
前記冷媒流路は、前記外周部から前記中心部にかけて、段階的に流路の径が小さくなる、請求項１に記載のミラー。
【請求項４】
前記冷媒流路は、内部に突起を備え、
３Ｄプリンタを用いて冷媒流路及び突起が一体的に形成された、
請求項１に記載のミラー。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は主に高出力レーザに用いられるミラーに関する。
続きを表示（約 920 文字）【背景技術】
【０００２】
従来のミラーとして、特許文献１には、金属ミラーの裏面に、冷媒を供給する螺旋状のパイプを埋設したものが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平８―２１１２１０
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記した従来のミラーでは、レーザ光が反射する反射面の中心部に対して外周部が低温となり、ミラーに熱歪みが生じるという問題があった。
【０００５】
本開示は上記した問題点を解決するためになされたものであり、中心部及び外周部を一様な温度に保ち、表面の熱歪みを局限することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示のミラーは、レーザ光が反射する表面の裏側に、外周部に対して中心部の径が小さく、中心部から外周部に向かって冷媒が循環する冷媒流路を備える。
【発明の効果】
【０００７】
本開示のミラーは、表面の熱ゆがみを局限できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
実施の形態１におけるミラーの側面図である。
図１の破線Ａにおける断面図である。
冷媒流路について、涙型形状の断面例を示す図である。
冷媒流路について、山型形状の断面例を示す図である。
突起が設けられた冷媒流路の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本開示の実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の説明では、同様の構成要素には同じ符号を付して図示し、それらの名称および機能も同一または同様のものとする。よって、それらについての詳細な説明を省略する場合がある。
【００１０】
ミラーに照射される高出力レーザの発熱密度は、ガウス分布で規定される。そのため、ミラー表面の発熱密度は、レーザ中心部であるミラーの中心部が最も高く、外周部に向かうにつれ低くなっている。
（【００１１】以降は省略されています）

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