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公開番号2025110048
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-28
出願番号2024003748
出願日2024-01-15
発明の名称感放射線性組成物、硬化膜、表示素子、及び硬化膜の製造方法
出願人JSR株式会社
代理人弁理士法人ユニアス国際特許事務所
主分類G03F 7/023 20060101AFI20250718BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】本発明は、放射線感度、メルトフロー耐性、比誘電率、及び耐薬品性に優れた硬化膜を形成することができる感放射線性組成物を提供することを主たる目的とする。
【解決手段】本発明は、重合体成分(A)と、キノンジアジド化合物(B)と、溶剤(C)と、を含有する感放射線性組成物であって、前記重合体成分(A)は、酸基を有する構造単位及びマレイミドに由来する構造単位よりなる群から選択される少なくとも一つの構造単位(I)と、脂環式エポキシ基を含む構造単位(II)と、脂環構造を有する(メタ)アクリレートに由来する構造単位(III)(但し、構造単位(II)を除く)と、を、同一重合体又は異なる重合体中に含み、前記構造単位(II)は、重合体成分(A)を構成する全構造単位に対して10質量%以上であり、前記構造単位(III)は、重合体成分(A)を構成する全構造単位に対して10質量%以上である、感放射線性組成物に関する。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
重合体成分（Ａ）と、
キノンジアジド化合物（Ｂ）と、
溶剤（Ｃ）と、
を含有する感放射線性組成物であって、
前記重合体成分（Ａ）は、
酸基を有する構造単位及びマレイミドに由来する構造単位よりなる群から選択される少なくとも一つの構造単位（Ｉ）と、
脂環式エポキシ基を含む構造単位（ＩＩ）と、
脂環構造を有する（メタ）アクリレートに由来する構造単位（ＩＩＩ）（但し、構造単位（ＩＩ）を除く）と、
を、同一重合体又は異なる重合体中に含み、
前記構造単位（ＩＩ）は、重合体成分（Ａ）を構成する全構造単位に対して１０質量％以上であり、
前記構造単位（ＩＩＩ）は、重合体成分（Ａ）を構成する全構造単位に対して１０質量％以上である、感放射線性組成物。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記構造単位（ＩＩ）は、下記式（ＩＩ－１）、式（ＩＩ－２）又は式（ＩＩ－３）で表される、請求項１に記載の感放射線性組成物。
JPEG
2025110048000013.jpg
80
170
（式（ＩＩ－１）～式（ＩＩ－３）中、
Ｒ
１
は、それぞれ独立して、水素原子、フッ素原子、メチル基、又はトリフルオロメチル基である。
Ｌ
１
は、それぞれ独立して、単結合又は炭素数１～２０の２価の炭化水素基である。
ｎは、１～５の整数である。
ｋ１は、０又は１である。
Ｘ
１
は、それぞれ独立して、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、又はアルコキシ基である。
ａ１は、０～３の整数である。ａ１が２以上の場合、複数のＸ
１
は互いに同一又は異なる。）
【請求項３】
前記脂環構造が、単環の脂環構造である、請求項１に記載の感放射線性組成物。
【請求項４】
前記脂環構造を有する（メタ）アクリレートが、シクロヘキシル（メタ）アクリレートである、請求項１に記載の感放射線性組成物。
【請求項５】
前記重合体成分（Ａ）が、アルコキシシリル基を有する構造単位（ＩＶ）をさらに含む、請求項１に記載の感放射線性組成物。
【請求項６】
前記感放射線性組成物を硬化させて形成した硬化膜の１０ｋＨｚにおける誘電率が３．４未満である、請求項１に記載の感放射線性組成物。
【請求項７】
請求項１～６のいずれか一項に記載の感放射線性組成物を基板上に塗布する工程と、
前記塗布された感放射線性組成物から溶剤を除去する工程と、
前記溶剤が除去された感放射線性組成物に放射線を照射する工程と、
前記放射線が照射された感放射線性組成物を現像する工程と、
前記現像された感放射線性組成物を熱硬化する工程と、
を含む、硬化膜の製造方法。
【請求項８】
請求項１～６のいずれか一項に記載の感放射線性組成物を用いて形成された硬化膜。
【請求項９】
層間絶縁膜又は平坦化膜である、請求項８に記載の硬化膜。
【請求項１０】
請求項９に記載の硬化膜を備える、表示素子。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、感放射線性組成物、硬化膜、表示素子、及び硬化膜の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
表示素子には、配線と基板との間や配線間を絶縁する層間絶縁膜や、平坦化膜、隔壁等の絶縁性の硬化膜が設けられている。前記硬化膜は、一般に、感放射線性組成物により形成された塗膜に対し、露光及び現像処理を施した後、加熱処理を行い熱硬化させることにより形成される。
【０００３】
このような硬化膜を形成する材料として、不飽和カルボン酸と、エポキシ基含有不飽和化合物と、オレフィン系不飽和化合物とを特定の割合で共重合して得られるアクリル系共重合体と、キノンジアジド化合物と、溶媒と、特定のシラン系界面活性剤を含む感光性樹脂組成物が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００７－１５６４７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）、液晶表示装置（ＬＣＤ）等の表示装置で用いられる硬化膜（例えば、平坦化膜や層間絶縁膜等）は、パネルや素子構造の変化により、より一層の低誘電化が求められている。また生産性を上げるために露光感度も重要性を増している。
【０００６】
硬化膜を低誘電化する方法として、硬化膜を形成する組成物の構成要素中に、モル分極の小さい官能基等を導入する方法が知られているが、導入する官能基の種類によっては、硬化膜形成用組成物の親水性が低下し、その結果、現像性、露光感度が低下してしまう場合があった。即ち、従来の硬化膜形成用組成物では、現像性、放射線感度、耐薬品性等の硬化膜物性と、低誘電化とを両立することは困難であった。
【０００７】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、放射線感度、メルトフロー耐性、比誘電率、及び耐薬品性に優れた硬化膜を形成することができる感放射線性組成物を提供することを主たる目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、以下の感放射線性組成物、硬化膜、表示装置、及び硬化膜の製造方法が提供される。
【０００９】
本発明は、一実施形態において、
重合体成分（Ａ）と、
キノンジアジド化合物（Ｂ）と、
溶剤（Ｃ）と、
を含有する感放射線性組成物であって、
前記重合体成分（Ａ）は、
酸基を有する構造単位（Ｉ）と、
脂環式エポキシ基を含む構造単位（ＩＩ）と、
脂環構造を有する（メタ）アクリレートに由来する構造単位（ＩＩＩ）（但し、構造単位（ＩＩ）を除く）と、
を、同一重合体又は異なる重合体中に含み、
前記構造単位（ＩＩ）は、重合体成分（Ａ）を構成する全構造単位に対して１０質量％以上であり、
前記構造単位（ＩＩＩ）は、重合体成分（Ａ）を構成する全構造単位に対して１０質量％以上である、感放射線性組成物に関する。
【００１０】
本発明は、別の実施形態において、
前記感放射線性組成物を基板上に塗布する工程と、
前記塗布された感放射線性組成物から溶剤を除去する工程と、
前記溶剤が除去された感放射線性組成物に放射線を照射する工程と、
前記放射線が照射された感放射線性組成物を現像する工程と、
前記現像された感放射線性組成物を熱硬化する工程と、
を含む、硬化膜の製造方法に関する。
（【００１１】以降は省略されています）

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