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公開番号2025119577
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-14
出願番号2024220355
出願日2024-12-16
発明の名称光導波路及び光導波路の製造方法と、それを用いた光電混載基板、アクティブオプティカルケーブル
出願人日東電工株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G02B 6/122 20060101AFI20250806BHJP(光学)
要約【課題】検査工数を削減し、生産効率が向上する光導波路を提供することを目的とする。
【解決手段】コア2と前記コア2を覆うクラッド3と有する光導波路1であって、
前記光導波路1は、前記コア2を伝搬する光路の向きを変更するミラー部4を有し、 前記ミラー部4は、前記光導波路1の一方の面に形成された凹部19からなり、
前記凹部19の形状は、底面20に向かって狭くなる略四角錐台形であり、
前記凹部19の底面20から立ち上がる第1の面6が、光路の反射面5となる前記コア2の断面を有し、
前記凹部19の第1の面6と、前記第1の面6に隣合う第2の面7とが、外側に向かって突出する第1の湾曲部8を介して連結されている、光導波路。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
コアと前記コアを覆うクラッドとを有する光導波路であって、
前記光導波路は、前記コアを伝搬する光路の向きを変更するミラー部を有し、
前記ミラー部は、前記光導波路の一方の面に形成された凹部からなり、
前記凹部の形状は、底面に向かって狭くなる略四角錐台形であり、
前記凹部の底面から立ち上がる第1の面が、光路の反射面となる前記コアの断面を有し、
前記凹部の第1の面と、前記第1の面に隣合う第2の面とが、外側に向かって突出する第1の湾曲部を介して連結されている、光導波路。
続きを表示(約 880 文字)【請求項2】
前記凹部の第1の面と、前記第1の面に隣合う前記第2の面とが、前記光導波路の長手方向に沿う向きに突出する前記第1の湾曲部を介して連結されている、請求項1に記載の光導波路。
【請求項3】
前記凹部の第1の面と、前記第1の面に隣合い前記第2の面の反対側に位置する第3の面とが、外側に向かって突出する第2の湾曲部を介して連結されている、請求項1に記載の光導波路。
【請求項4】
前記光路の反射面の幅dが、前記凹部の第1の面の幅wより狭い、請求項2に記載の光導波路。
【請求項5】
前記光路の反射面の幅dと、前記凹部の第1の面の幅wが、下記の式(1)を満たす関係にある、請求項4に記載の光導波路。
10(μm)≦(w-d)/2・・・(1)
【請求項6】
前記光路の反射面の幅dと、前記凹部の第1の面の幅wが、下記の式(2)を満たす関係にある、請求項5に記載の光導波路。
10(μm)≦(w-d)/2≦50(μm)・・・(2)
【請求項7】
前記凹部の第1の湾曲部が前記底面にまで伸びており、
前記光路の反射面の底辺の高さで前記凹部を水平方向に切断した切断面において、前記凹部の第1の面と前記第1の湾曲部とで形成される傾斜部の曲率半径が10μm以上に設定されている、請求項1に記載の光導波路。
【請求項8】
前記凹部の第1の湾曲部が前記底面にまで伸びており、
前記光路の反射面の底辺の高さで前記凹部を水平方向に切断した切断面において、前記凹部の第1の面と前記第1の湾曲部とで形成される傾斜部の曲率半径が10μm以上80μm以下である、請求項7に記載の光導波路。
【請求項9】
請求項1~8のいずれか一項に記載の光導波路を有する、光電混載基板。
【請求項10】
請求項1~8のいずれか一項に記載の光導波路を有する、アクティブオプティカルケーブル。
(【請求項11】以降は省略されています)

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、光導波路及び光導波路の製造方法と、それを用いた光電混載基板、アクティブオプティカルケーブルに関するものである。より詳しくは光導波路の検査工数を削減し、生産効率が高い光導波路及び光導波路の製造方法と、それを用いた光電混載基板、アクティブオプティカルケーブルに関するものである。
続きを表示(約 1,400 文字)【背景技術】
【0002】
近年の電子機器等においては、伝送情報量の増加に伴い、電気配線に加えて光配線が併用された光電混載基板が広く用いられ、この光電混載基板には、前記光配線として光導波路が用いられている。
【0003】
光導波路とは、線状のコアと、コアを覆うように設けられたクラッドからなり、光素子(例えば、発光素子及び受光素子)との間を光学的に接続するものである。より具体的には、半導体レーザー等の発光素子から出射した光を、コアとクラッドとの境界で反射させながら、フォトダイオード等の受光素子に受光させ、受光した光の明暗パターンもしくは光の強弱パターンに基づいて通信を行うものである。
【0004】
このような光導波路としては、例えば特許文献1には、図21に示すように、コア部31が形成されているコア層32と、前記コア層32の一方の面に積層されている第1クラッド層33と、前記コア層32の他方の面に積層されている第2クラッド層34と、前記第2クラッド層34及び前記コア層32をそれぞれ貫通し、前記第1クラッド層33にいたるミラー部35を有する、光導波路30が開示されている。
【0005】
そして、前記光導波路30のミラー部35には、反射面36を有する傾斜面37が設けられており、発光素子から出射した光は反射面36で反射されることにより、コア部31に光が入射するようになっている。
【0006】
そのため、例えば前記ミラー部35の反射面36が発光素子に対して正しい位置に形成されていない場合には、コア部31に十分な光が入射できず、接続不良になる可能性があるため、発光素子に対するミラー部の反射面の位置は、光導波路において極めて重要になる。
【0007】
そこで光導波路は、光素子を実装するに先立ち、ミラー部の反射面が正しい位置に形成されているかの確認を精度よく行うミラー位置検査と、コア欠けや、コアに異物が混入していないかの確認を行う光損失検査の2種類の検査を行うことが一般的である。
しかし、前記ミラー位置検査は、通常CCDカメラで得た画像からミラー部の反射面の寸法や形状を自動測定する画像測定システムを用いて検査が行われるため、高価なシステムを導入する必要があるとともに、測定に時間がかかり、光導波路の生産効率を低下させる要因になっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0008】
特開2015-127783号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
そこで、本発明は、検査工数を削減し、生産効率が向上する光導波路を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明者らは、かかる事情に鑑み鋭意研究を重ねた結果、光導波路のミラー部の形状を、光路の反射面を有する第1の面と、前記第1の面に隣合う第2の面とを、外側に向かって突出する第1の湾曲部を介して連結させることで、前記反射面が前記第1の湾曲部にかかった場合に、光損失が増加することを利用し、ミラー部の反射面の位置ずれを光損失検査のみで検出することができることを見出し、本発明を完成した。
(【0011】以降は省略されています)

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