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公開番号2025123600
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-25
出願番号2024019111
出願日2024-02-13
発明の名称エッチング液組成物、エッチング方法、及び基体の製造方法
出願人株式会社ADEKA
代理人個人,個人,個人,個人
主分類C23F 1/18 20060101AFI20250818BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】銅を含有する層に対して、好適なテーパー角を維持したエッチングをすることが可能なエッチング液組成物を提供する。
【解決手段】銅を含有する層をエッチングするために用いられるエッチング液組成物であって、(A)下記一般式(1)で表される化合物及びその塩からなる群より選ばれる少なくとも1種、(B)過酸化水素、並びに水を含有する水溶液であるエッチング液組成物を提供する。
<com:Image com:imageContentCategory="Drawing"> <com:ImageFormatCategory>TIFF</com:ImageFormatCategory> <com:FileName>2025123600000007.tif</com:FileName> <com:HeightMeasure com:measureUnitCode="Mm">35</com:HeightMeasure> <com:WidthMeasure com:measureUnitCode="Mm">170</com:WidthMeasure> </com:Image> (前記一般式(1)中、R¹及びR²は、それぞれ独立に、水素原子、ヒドロキシ基、アミノ基、フェニル基、又は炭素原子数1～5のアルキル基を表す。)
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
銅を含有する層をエッチングするために用いられるエッチング液組成物であって、
（Ａ）下記一般式（１）で表される化合物及びその塩からなる群より選ばれる少なくとも１種、
（Ｂ）過酸化水素、並びに
水を含有する水溶液であるエッチング液組成物。
TIFF
2025123600000006.tif
35
170
（前記一般式（１）中、Ｒ
１
及びＲ
２
は、それぞれ独立に、水素原子、ヒドロキシ基、アミノ基、フェニル基、又は炭素原子数１～５のアルキル基を表す。）
続きを表示（約 520 文字）【請求項２】
前記（Ａ）成分の含有量が０．０００１～１質量％であり、前記（Ｂ）成分の含有量が１～２５質量％である請求項１に記載のエッチング液組成物。
【請求項３】
さらに、（Ｃ）酸１～３０質量％を含有する、請求項１又は２に記載のエッチング液組成物。
【請求項４】
前記（Ｃ）成分が有機酸である、請求項３に記載のエッチング液組成物。
【請求項５】
銅を含有する層及びチタンを含有する層をエッチングするために用いられる、請求項１又は２に記載のエッチング液組成物。
【請求項６】
請求項１又は２に記載のエッチング液組成物を用いて銅を含有する層をエッチングする工程を有するエッチング方法。
【請求項７】
銅を含有する層とチタンを含有する層をエッチングする工程を有する、請求項６に記載のエッチング方法。
【請求項８】
請求項１又は２に記載のエッチング液組成物を用いて銅を含有する層をエッチングする工程を有する基体の製造方法。
【請求項９】
銅を含有する層とチタンを含有する層をエッチングする工程を有する、請求項８に記載の基体の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、特定の成分を含有するエッチング液組成物、それを用いたエッチング方法及び基体の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイ等に代表される表示デバイスの配線材料は、ディスプレイの大型化及び高解像度化といった要求性能を満たすために、複数の金属層からなる配線材料が用いられることがある。そして、ウェットエッチング法によって配線パターンを形成する技術は種々知られている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、銅層とモリブデン層を含む多層膜をエッチングすることができるエッチング液として、過酸化水素、硝酸、グリコール酸、リンゴ酸、１アミノ２プロパノール、及び過酸化水素分解抑制剤を含み、アゾール化合物、リン化合物、及びフッ素化合物を含まないエッチング液が開示されている。また、特許文献２には、銅層とチタン層をエッチングすることができるエッチング液として、過酸化水素、酸性フッ化アンモニウム、硝酸、及び５－アミノ－１Ｈ－テトラゾールを含むエッチング液が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１６－１７６１２６号公報
特開２０１７－１９５３１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１及び２で開示されているエッチング液では、好適なテーパー角を維持したエッチングを行うことができないため、所望の寸法精度及び形状を有する微細なパターンを形成できないという問題があった。
【０００６】
したがって、本発明は、銅を含有する層に対して、好適なテーパー角を維持したエッチングをすることが可能なエッチング液組成物を提供しようとするものである。また、本発明は、上記エッチング液組成物を用いたエッチング方法及び基体の製造方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、上記エッチング液組成物を得るべく鋭意検討を重ねた結果、特定の成分を含有する組成物が上記問題を解決し得ることを見出し、本発明に至った。
【０００８】
すなわち、本発明によれば、銅を含有する層をエッチングするために用いられるエッチング液組成物であって、（Ａ）下記一般式（１）で表される化合物及びその塩からなる群より選ばれる少なくとも１種、（Ｂ）過酸化水素、並びに水を含有する水溶液であるエッチング液組成物が提供される。
【０００９】
TIFF
2025123600000001.tif
35
170
（前記一般式（１）中、Ｒ
１
及びＲ
２
は、それぞれ独立に、水素原子、ヒドロキシ基、アミノ基、フェニル基、又は炭素原子数１～５のアルキル基を表す。）
【００１０】
また、本発明によれば、上記のエッチング液組成物を用いて銅を含有する層をエッチングする工程を有するエッチング方法が提供される。
（【００１１】以降は省略されています）

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