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公開番号2025124895
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-26
出願番号2025097053,2023176918
出願日2025-06-10,2018-02-27
発明の名称像解析装置、解析装置、形状測定装置、像解析方法、測定条件決定方法、形状測定方法及びプログラム
出願人株式会社ニコン
代理人弁理士法人i-MIRAI
主分類G01B 11/24 20060101AFI20250819BHJP(測定;試験)
要約【課題】
形状測定を正確に行うことができる測定条件を、容易に設定可能とする。
【解決手段】
像解析装置は、被測定物に投影される光による像を撮像した場合において被測定物の形
状測定に不適切な像を、被測定物の設計情報と測定条件とに基づいて検出する像解析部8
3と、像解析部83の検出結果に基づく情報である検出結果情報を出力する出力部88と
、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被測定物の設計情報と測定条件とに基づいて、前記被測定物に投影される光による像を撮像したと仮定した場合における前記像を解析する像解析部と、
前記像解析部の解析結果に基づく結果情報を出力する出力部と、を備え、
前記結果情報は、前記被測定物の形状測定に不適切な像に関する情報を含み、
前記像解析部は、操作者からの、前記測定条件を変化させたと仮定した場合の前記不適切な像の評価を行う指示を受けることなく、前記測定条件を変化させたと仮定した場合における前記不適切な像の評価結果の変化の傾向を算出し、
前記出力部は、前記像解析部によって算出された、前記不適切な像の評価結果の変化の傾向を示す変化情報を、前記不適切な像に関する情報として出力する像解析装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、像解析装置、解析装置、形状測定装置、像解析方法、測定条件決定方法、形
状測定方法及びプログラムに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献１に示すように、形状測定装置には、被測定物に向けて測定光を投影す
る照射部と、被測定物に投影される測定光の像を撮像し、画像データを出力する撮像部と
を備え、画像データの測定光の像の位置に基づいて、光切断法を利用して被検物の形状を
測定する形状測定装置がある。撮像部により撮像される測定光の像は、撮像部の被測定物
に対する相対位置などの測定条件に応じて変化する。従って、測定光を撮像する際には、
測定条件を予め設定した上で、撮像を行う。そして、形状測定を正確に行うことができる
測定条件を容易に設定可能とすることが求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１５－６８６５４号公報
【発明の概要】
【０００４】
本発明の第１の態様によれば、像解析装置は、被測定物の設計情報と測定条件とに基づいて、前記被測定物に投影される光による像を撮像したと仮定した場合における前記像を解析する像解析部と、前記像解析部の解析結果に基づく結果情報を出力する出力部と、を備え、前記結果情報は、前記被測定物の形状測定に不適切な像に関する情報を含み、前記像解析部は、操作者から、前記測定条件を変化させたと仮定した場合の前記不適切な像の評価を行う指示を受けることなく、前記測定条件を変化させたと仮定した場合における前記不適切な像の評価結果の変化の傾向を算出し、前記出力部は、前記像解析部の算出結果に基づく、前記不適切な像の評価結果の変化の傾向を示す変化情報を、前記不適切な像に関する情報として出力する。
【０００５】
本発明の第２の態様によれば、解析装置は、第１の態様による像解析装置と、前記結果情報を表示する表示装置と、を有する。
【０００６】
本発明の第３の態様によれば、形状測定装置は、第２の態様による解析装置と、操作者からの入力を受け付ける入力部と、前記被測定物に光を投影する投影部、及び、前記被測定物に投影された光による像を撮像する撮像部を有する光学プローブと、前記入力部への入力により、前記測定条件を設定する条件設定部と、を有する。
【０００７】
本発明の第４の態様によれば、像解析方法は、被測定物の設計情報と測定条件とに基づいて、前記被測定物に投影される光による像を撮像したと仮定した場合における前記像を解析する像解析ステップと、前記像解析ステップでの解析結果に基づく結果情報を出力する出力ステップと、を有し、前記結果情報は、前記被測定物の形状測定に不適切な像に関する情報を含み、前記出力ステップにおいて、操作者から、前記測定条件を変化させたと仮定した場合の前記不適切な像の評価を行う指示を受けることなく前記像解析ステップにおいて算出された、前記測定条件を変化させたと仮定した場合の前記不適切な像の評価結果の変化の傾向に基づく、前記不適切な像の評価結果の変化の傾向を示す変化情報を、前記不適切な像に関する情報として出力する。
【０００８】
本発明の第５の態様によれば、測定条件決定方法は、第４の態様による像解析方法と、前記出力ステップで出力された前記結果情報に基づき、前記測定条件を決定する、測定条件決定ステップと、を有する。
【０００９】
本発明の第６の態様によれば、形状測定方法は、第５の態様による測定条件決定方法と、前記測定条件ステップで決定した前記測定条件で、前記被測定物の形状測定を行う形状測定ステップと、を有する。
【００１０】
本発明の第６の態様によれば、プログラムは、第４の態様による像解析方法をコンピュータに実行させる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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