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公開番号2025127028
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-01
出願番号2024023494
出願日2024-02-20
発明の名称角速度センサー
出願人セイコーエプソン株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G01C 19/5656 20120101AFI20250825BHJP(測定;試験)
要約【課題】角速度を精度よく検出することのできる角速度センサーを提供する。
【解決手段】角速度センサーは、駆動信号が印加される駆動信号電極が配置されている駆動振動腕と、検出信号を出力する検出信号電極が配置されている検出振動腕と、を有する角速度検出素子と、前記角速度検出素子を支持している複数のリードと、前記複数のリードを支持している基板と、を有する支持基板と、を有する。また、前記複数のリードには、前記検出信号電極と電気的に接続された検出信号用リードが含まれ、前記支持基板の平面視で、前記検出信号用リードが前記駆動信号電極と重なり、前記検出信号用リードと前記駆動信号電極との間に定電位層が配置されている。
【選択図】図10
特許請求の範囲【請求項１】
駆動信号が印加される駆動信号電極が配置されている駆動振動腕と、検出信号を出力する検出信号電極が配置されている検出振動腕と、を有する角速度検出素子と、
前記角速度検出素子を支持している複数のリードと、前記複数のリードを支持している基板と、を有する支持基板と、を有し、
前記複数のリードには、前記検出信号電極と電気的に接続された検出信号用リードが含まれ、
前記支持基板の平面視で、前記検出信号用リードが前記駆動信号電極と重なり、
前記検出信号用リードと前記駆動信号電極との間に定電位層が配置されていることを特徴とする角速度センサー。
続きを表示（約 510 文字）【請求項２】
前記定電位層は、前記検出信号用リードの前記角速度検出素子側の面に、絶縁層を介して配置されている請求項１に記載の角速度センサー。
【請求項３】
前記複数のリードは、前記基板の前記角速度検出素子側の面に配置されている請求項２に記載の角速度センサー。
【請求項４】
前記複数のリードは、前記基板の前記角速度検出素子と反対側の面に配置されている請求項２に記載の角速度センサー。
【請求項５】
前記複数のリードは、前記基板の前記角速度検出素子と反対側の面に配置され、
前記定電位層は、前記基板の前記角速度検出素子側の面に配置されている請求項１に記載の角速度センサー。
【請求項６】
凹部を有し、前記支持基板を介して前記角速度検出素子を支持しているベースと、
前記凹部の開口を塞ぐようにして前記ベースに接合されているリッドと、を有する請求項１に記載の角速度センサー。
【請求項７】
前記リッドは、グランドに接続され、
前記定電位層は、前記リッドと電気的に接続されている請求項６に記載の角速度センサー。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、角速度センサーに関する。
続きを表示（約 2,600 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載された角速度センサーは、パッケージと、パッケージ内に配置された角速度検出素子、支持基板および回路素子と、を有する。
【０００３】
角速度検出素子は、その中央部に位置する基部と、基部からＹ軸方向両側に延出する一対の検出振動腕と、基部からＸ軸方向両側に延出する一対の接続腕と、一方の接続腕の先端部からＹ軸方向両側に延出した一対の第１駆動振動腕と、他方の接続腕の先端部からＹ軸方向両側に延出した一対の第２駆動振動腕と、を有する。また、角速度検出素子は、一方の検出振動腕の両主面に配置された第１検出信号電極および両側面に配置された第１検出接地電極と、他方の検出振動腕の両主面に配置された第２検出信号電極および両側面に配置された第２検出接地電極と、各第１駆動振動腕の両主面および各第２駆動振動腕の両側面に配置された駆動信号電極と、各第１駆動振動腕の両側面および各第２駆動振動腕の両主面に配置された駆動接地電極と、を有する。
【０００４】
支持基板は、先端部に角速度検出素子の基部が固定された６本のリードと、各リードの基端部を支持する基材と、を有する。また、６本のリードには、第１検出信号電極と電気的に接続された１本のリードと、第１検出接地電極と電気的に接続された１本のリードと、第２検出信号電極と電気的に接続された１本のリードと、第２検出接地電極と電気的に接続された１本のリードと、駆動信号電極と電気的に接続された１本のリードと、駆動接地電極と電気的に接続された１本のリードと、が含まれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１８－１６９４０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような特許文献１の角速度センサーでは、平面視で、第１、第２検出信号電極と電気的に接続されたリードが、角速度検出素子の近傍において駆動信号電極と交差している。そのため、リードと駆動信号電極とが静電結合し、リードを伝搬する検出信号に駆動信号電極からのノイズが乗り易くなる。したがって、角速度の検出精度が低下するおそれがある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の角速度センサーは、駆動信号が印加される駆動信号電極が配置されている駆動振動腕と、検出信号を出力する検出信号電極が配置されている検出振動腕と、を有する角速度検出素子と、
前記角速度検出素子を支持している複数のリードと、前記複数のリードを支持している基板と、を有する支持基板と、を有し、
前記複数のリードには、前記検出信号電極と電気的に接続された検出信号用リードが含まれ、
前記支持基板の平面視で、前記検出信号用リードが前記駆動信号電極と重なり、
前記検出信号用リードと前記駆動信号電極との間に定電位層が配置されている。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第１実施形態に係る角速度センサーの断面図である。
図１に示す角速度センサーのリッドを封止する前の状態を示す断面図である。
角速度検出素子を示す上面図である。
角速度検出素子の駆動振動モードを示す概略図である。
角速度検出素子の検出振動モードを示す概略図である。
支持基板の上面図である。
図６中のＡ－Ａ線断面図である。
図６中のＢ－Ｂ線断面図である。
支持基板の下面図である。
角速度センサーが支持基板に支持された状態を示す上面図である。
従来の問題点を説明するための断面図である。
図１に示す角速度センサーの効果を説明するための断面図である。
従来の問題点を説明するための断面図である。
図１に示す角速度センサーの効果を説明するための断面図である。
支持基板の変形例を示す上面図である。
第２実施形態に係る支持基板の断面図である。
第２実施形態に係る支持基板の断面図である。
第３実施形態に係る支持基板の上面図である。
図１８中のＣ－Ｃ線断面図である。
図１８に示す支持基板の効果を説明するための断面図である。
支持基板の変形例を示す断面図である。
支持基板の変形例を示す断面図である。
第４実施形態に係る支持基板の上面図である。
図２３中のＤ－Ｄ線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の角速度センサーを添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。なお、説明の便宜上、各図には、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸として図示している。そして、Ｘ軸に沿う方向を「Ｘ軸方向」とも言い、Ｙ軸に沿う方向を「Ｙ軸方向」とも言い、Ｚ軸に沿う方向を「Ｚ軸方向」とも言う。また、Ｚ軸が鉛直方向に沿っており、矢印側を「上」、反対側を「下」とも言う。また、以下では、支持基板４の平面視つまりＺ軸方向からの平面視を単に「平面視」とも言う。
【００１０】
＜第１実施形態＞
図１は、第１実施形態に係る角速度センサーの断面図である。図２は、図１に示す角速度センサーのリッドを封止する前の状態を示す断面図である。図３は、角速度検出素子を示す上面図である。図４は、角速度検出素子の駆動振動モードを示す概略図である。図５は、角速度検出素子の検出振動モードを示す概略図である。図６は、支持基板の上面図である。図７は、図６中のＡ－Ａ線断面図である。図８は、図６中のＢ－Ｂ線断面図である。図９は、支持基板の下面図である。図１０は、角速度センサーが支持基板に支持された状態を示す上面図である。図１１は、従来の問題点を説明するための断面図である。図１２は、図１に示す角速度センサーの効果を説明するための断面図である。図１３は、従来の問題点を説明するための断面図である。図１４は、図１に示す角速度センサーの効果を説明するための断面図である。図１５は、支持基板の変形例を示す上面図である。
（【００１１】以降は省略されています）

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