特許ウォッチ

公開番号2025128753
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-03
出願番号2024025640
出願日2024-02-22
発明の名称基板搬送システム
出願人株式会社SUMCO
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250827BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】基板の搬送における異常の有無を撮影によって検知する際のデータ処理の負担を軽減できる基板搬送システムを提供する。
【解決手段】基板をA位置、B位置、C位置、前記B位置、前記A位置にこの順に到達するように搬送する搬送部と、前記A位置に到達した前記基板の存在を検出するAセンサと、前記B位置に到達した前記基板の存在を検出するBセンサと、前記Aセンサ及び前記Bセンサがこの順に前記基板の存在を検出した時に経過時間を計る計時部と、前記C位置に到達した前記基板の撮影を行い、且つ、前記計時部で計られる前記経過時間と前記撮影で得られる画像とに基づいて前記基板の搬送における異常の有無を検知する異常検知部とを有する、基板搬送システム。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基板をＡ位置、Ｂ位置、Ｃ位置、前記Ｂ位置、前記Ａ位置にこの順に到達するように搬送する搬送部と、
前記Ａ位置に到達した前記基板の存在を検出するＡセンサと、
前記Ｂ位置に到達した前記基板の存在を検出するＢセンサと、
前記Ａセンサ及び前記Ｂセンサがこの順に前記基板の存在を検出した時に経過時間を計る計時部と、
前記Ｃ位置に到達した前記基板の撮影を行い、且つ、前記計時部で計られる前記経過時間と前記撮影で得られる画像とに基づいて前記基板の搬送における異常の有無を検知する異常検知部とを有する、基板搬送システム。
続きを表示（約 560 文字）【請求項２】
前記異常検知部は、前記計時部で計られる前記経過時間に基づいて決定されるタイミングで前記撮影を行う、請求項１に記載の基板搬送システム。
【請求項３】
前記異常検知部によって前記基板の搬送における異常が有ることが検知されると報知を行う報知部を有する、請求項１に記載の基板搬送システム。
【請求項４】
第２基板を第２Ａ位置、第２Ｂ位置、第２Ｃ位置、前記第２Ｂ位置、前記第２Ａ位置にこの順に到達するように搬送する第２搬送部と、
前記第２Ａ位置に到達した前記第２基板の存在を検出する第２Ａセンサと、
前記第２Ｂ位置に到達した前記第２基板の存在を検出する第２Ｂセンサとを有し、
前記計時部は、前記第２Ａセンサ及び前記第２Ｂセンサがこの順に前記第２基板の存在を検出した時に第２経過時間を計り、
前記異常検知部は、前記第２Ｃ位置に到達した前記第２基板の第２撮影を行い、且つ、前記計時部で計られる前記第２経過時間と前記第２撮影で得られる画像とに基づいて前記第２基板の搬送における異常の有無を検知し、
前記報知部は、前記異常検知部によって前記第２基板の搬送における異常が有ることが検知されると報知を行う、請求項３に記載の基板搬送システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は基板搬送システムに関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
基板を搬送する基板搬送システムが知られている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１３－１１０２００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、基板の搬送における異常の有無を撮影によって検知する際のデータ処理の負担を軽減できる基板搬送システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様は以下のとおりである。
【０００６】
［１］
基板をＡ位置、Ｂ位置、Ｃ位置、前記Ｂ位置、前記Ａ位置にこの順に到達するように搬送する搬送部と、
前記Ａ位置に到達した前記基板の存在を検出するＡセンサと、
前記Ｂ位置に到達した前記基板の存在を検出するＢセンサと、
前記Ａセンサ及び前記Ｂセンサがこの順に前記基板の存在を検出した時に経過時間を計る計時部と、
前記Ｃ位置に到達した前記基板の撮影を行い、且つ、前記計時部で計られる前記経過時間と前記撮影で得られる画像とに基づいて前記基板の搬送における異常の有無を検知する異常検知部とを有する、基板搬送システム。
【０００７】
［２］
前記異常検知部は、前記計時部で計られる前記経過時間に基づいて決定されるタイミングで前記撮影を行う、［１］に記載の基板搬送システム。
【０００８】
［３］
前記異常検知部によって前記基板の搬送における異常が有ることが検知されると報知を行う報知部を有する、［１］又は［２］に記載の基板搬送システム。
【０００９】
［４］
第２基板を第２Ａ位置、第２Ｂ位置、第２Ｃ位置、前記第２Ｂ位置、前記第２Ａ位置にこの順に到達するように搬送する第２搬送部と、
前記第２Ａ位置に到達した前記第２基板の存在を検出する第２Ａセンサと、
前記第２Ｂ位置に到達した前記第２基板の存在を検出する第２Ｂセンサとを有し、
前記計時部は、前記第２Ａセンサ及び前記第２Ｂセンサがこの順に前記第２基板の存在を検出した時に第２経過時間を計り、
前記異常検知部は、前記第２Ｃ位置に到達した前記第２基板の第２撮影を行い、且つ、前記計時部で計られる前記第２経過時間と前記第２撮影で得られる画像とに基づいて前記第２基板の搬送における異常の有無を検知し、
前記報知部は、前記異常検知部によって前記第２基板の搬送における異常が有ることが検知されると報知を行う、［３］に記載の基板搬送システム。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、基板の搬送における異常の有無を撮影によって検知する際のデータ処理の負担を軽減できる基板搬送システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許