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公開番号2025132587
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-10
出願番号2024030253
出願日2024-02-29
発明の名称レーザ加工装置及びレーザ加工方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B23K 26/067 20060101AFI20250903BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】レーザビームの集光点の間隔を調整する機構の簡便化を図ることができること。
【解決手段】レーザ加工装置1は、被加工物200を保持する保持ユニット10と、レーザビーム21を生成する発振器22と、発振器22で生成されたレーザビーム21を第1レーザビーム28と第2レーザビーム29とに分岐する分岐素子25と、分岐素子25の中心を通るレーザビームの光軸251周りに分岐素子25を回転させる回転機構26と、分岐素子25で分岐された第1レーザビーム28を保持ユニット10で保持された被加工物200に集光するとともに、分岐素子25で分岐された第2レーザビーム29を保持ユニット10で保持された被加工物200に集光する集光レンズ271を有した集光ユニット27と、を備える。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
レーザ加工装置であって、
被加工物を保持する保持ユニットと、
レーザビームを生成する発振器と、
該発振器で生成された該レーザビームを第１レーザビームと第２レーザビームとに分岐する分岐素子と、
該分岐素子の中心を通る軸周りに該分岐素子を回転させる回転機構と、
該分岐素子で分岐された該第１レーザビームを該保持ユニットで保持された被加工物に集光するとともに該分岐素子で分岐された該第２レーザビームを該保持ユニットで保持された被加工物に集光する集光レンズを有した集光ユニットと、
を備えたレーザ加工装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
該分岐素子は回折光学素子からなる、請求項１に記載のレーザ加工装置。
【請求項３】
該分岐素子は偏光プリズムからなる、請求項１に記載のレーザ加工装置。
【請求項４】
少なくとも該回転機構を制御するコントローラを備え、
該コントローラは、該第１レーザビームの集光点位置と該第２レーザビームの集光点位置との間のインデックス値が登録されるインデックス値登録部と、
該インデックス値登録部に登録された該インデックス値に基づいて該分岐素子の回転角度を算出する角度算出部と、を備え、
該コントローラは、該角度算出部で算出された該回転角度に基づいて該回転機構を制御する、請求項１に記載のレーザ加工装置。
【請求項５】
被加工物には第１方向に伸長する複数の加工予定ラインが設定され、
該第１レーザビームの集光点は第１の加工予定ラインに位置付けられるとともに、該第２レーザビームの集光点は該第１の加工予定ラインとは異なる第２の加工予定ラインに位置付けられる、請求項４に記載のレーザ加工装置。
【請求項６】
該集光ユニットは、該第１レーザビームを被加工物に対して垂直に形成するとともに該第２レーザビームを被加工物に対して垂直に形成する、請求項１に記載のレーザ加工装置。
【請求項７】
第１方向に伸長する複数の加工予定ラインが設定された被加工物のレーザ加工方法であって、
被加工物を保持ユニットで保持する保持ステップと、
発振器で生成したレーザビームを分岐素子で第１レーザビームと第２レーザビームとに分岐し、集光ユニットで該第１レーザビームと該第２レーザビームとを該保持ユニットで保持された被加工物に集光しつつ該集光ユニットと該保持ユニットとを該第１方向に相対移動させて被加工物に該加工予定ラインに沿ったレーザ加工を施すレーザ加工ステップと、を備え、
該レーザ加工ステップでは該第１レーザビームの集光点が第１の加工予定ラインに位置付けられるとともに該第２レーザビームの集光点が該第１の加工予定ラインと異なる第２の加工予定ラインに位置付けられて該第１レーザビームが該第１の加工予定ラインに沿って照射されるとともに該第２レーザビームが該第２の加工予定ラインに沿って照射され、
少なくとも該レーザ加工ステップを実施する前に該第１レーザビームの集光点と該第２レーザビームの集光点との該第１方向に直交する第２方向における距離をもとに該分岐素子を回転させて該第１レーザビームの集光点と該第２レーザビームの集光点の間隔を調整する集光点間隔調整ステップと、を更に備えた、レーザ加工方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ加工装置及びレーザ加工方法に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
レーザ加工における生産性を向上させるため、被加工物の複数の加工予定ラインに対して同時にレーザビームを照射して複数の加工予定ラインを同時に加工できるレーザ加工装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００８－２９００８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の加工装置では、レーザビームを分岐させるための機構や分岐した各レーザビームの集光点の間隔の調整を行なうための機構の構成が複雑であり改善の余地があった。
【０００５】
本発明の目的は、レーザビームの集光点の間隔を調整する機構の簡便化を図ることができるレーザ加工装置及びレーザ加工方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のレーザ加工装置は、レーザ加工装置であって、被加工物を保持する保持ユニットと、レーザビームを生成する発振器と、該発振器で生成された該レーザビームを第１レーザビームと第２レーザビームとに分岐する分岐素子と、該分岐素子の中心を通る軸周りに該分岐素子を回転させる回転機構と、該分岐素子で分岐された該第１レーザビームを該保持ユニットで保持された被加工物に集光するとともに該分岐素子で分岐された該第２レーザビームを該保持ユニットで保持された被加工物に集光する集光レンズを有した集光ユニットと、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
前記レーザ加工装置において、該分岐素子は回折光学素子からなってもよい。
【０００８】
前記レーザ加工装置において、該分岐素子は偏光プリズムからなってもよい。
【０００９】
前記レーザ加工装置において、少なくとも該回転機構を制御するコントローラを備え、該コントローラは、該第１レーザビームの集光点位置と該第２レーザビームの集光点位置との間のインデックス値が登録されるインデックス値登録部と、該インデックス値登録部に登録された該インデックス値に基づいて該分岐素子の回転角度を算出する角度算出部と、を備え、該コントローラは、該角度算出部で算出された該回転角度に基づいて該回転機構を制御してもよい。
【００１０】
前記レーザ加工装置において、被加工物には第１方向に伸長する複数の加工予定ラインが設定され、該第１レーザビームの集光点は第１の加工予定ラインに位置付けられるとともに、該第２レーザビームの集光点は該第１の加工予定ラインとは異なる第２の加工予定ラインに位置付けられてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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