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公開番号2025135903
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-19
出願番号2024033973
出願日2024-03-06
発明の名称セラミック部材の製造方法
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人個人,個人
主分類B24B 37/00 20120101AFI20250911BHJP(研削;研磨)
要約【課題】セラミック部材の製造方法において、セラミック部材の研磨工程における、セラミック部材の研磨面の品質と研磨効率とを両立させる技術を提供する。
【解決手段】セラミック部材の製造方法は、セラミック部材と、セラミック部材とメカノケミカル反応する砥粒を液体中に分散させた分散液と、定盤と、を準備する準備工程と、セラミック部材と定盤との間に分散液が供給されている状態で、セラミック部材を定盤側に押し付けながら、セラミック部材を研磨する研磨工程と、を備え、分散液において、液体に対する砥粒の重量割合は、0%より大きく、40%以下である。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
セラミック部材の製造方法であって、
セラミック部材と、前記セラミック部材とメカノケミカル反応する砥粒を液体中に分散させた分散液と、定盤と、を準備する準備工程と、
前記セラミック部材と前記定盤との間に前記分散液が供給されている状態で、前記セラミック部材を前記定盤側に押し付けながら、前記セラミック部材を研磨する研磨工程と、を備え、
前記分散液において、前記液体に対する前記砥粒の重量割合は、０％より大きく、４０％以下であることを特徴とする、
セラミック部材の製造方法。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
請求項１に記載のセラミック部材の製造方法であって、
前記研磨工程では、前記セラミック部材が前記分散液に浸漬するように、前記セラミック部材と前記定盤との間に前記分散液を供給することを特徴とする、
セラミック部材の製造方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のセラミック部材の製造方法であって、
前記準備工程では、窒化珪素により形成されている前記セラミック部材と、酸化鉄により形成されている前記砥粒を含む前記分散液と、を準備することを特徴とする、
セラミック部材の製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載のセラミック部材の製造方法であって、
前記準備工程では、表面に酸化鉄を備える前記定盤を準備することを特徴とする、
セラミック部材の製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載のセラミック部材の製造方法であって、
前記準備工程では、焼き入れ処理がされていない前記定盤を準備することを特徴とする、
セラミック部材の製造方法。
【請求項６】
請求項１または請求項２に記載のセラミック部材の製造方法であって、
前記準備工程では、バフが設けられている前記定盤を準備し、
前記研磨工程では、前記セラミック部材と前記バフとの間に前記分散液が供給されている状態で、前記セラミック部材を前記バフ側に押し付けながら、前記セラミック部材を研磨することを特徴とする、
セラミック部材の製造方法。
【請求項７】
請求項１または請求項２に記載のセラミック部材の製造方法であって、
前記研磨工程では、前記セラミック部材と前記定盤とのうちの少なくとも一方を回転させて、前記セラミック部材を研磨することを特徴とする、
セラミック部材の製造方法。
【請求項８】
請求項１または請求項２に記載のセラミック部材の製造方法であって、
前記準備工程では、球形状を有する前記セラミック部材と、凹んだ形状の表面を有する一対の定盤と、を準備し、
前記研磨工程では、前記一対の定盤のそれぞれの表面によって前記セラミック部材を挟み込んだ状態で、前記一対の定盤が互いに異なる速度で移動することで、前記セラミック部材を研磨することを特徴とする、
セラミック部材の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、セラミック部材の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、セラミック部材と砥粒とのメカノケミカル反応を利用して、セラミック部材を研磨する研磨工程を含むセラミック部材の製造方法が知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００８―１１７８０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のような先行技術によっても、セラミック部材の製造方法において、セラミック部材の研磨工程における、セラミック部材の研磨面の品質と研磨効率とを両立させる技術については、なお、改善の余地があった。
【０００５】
本発明は、セラミック部材の製造方法において、セラミック部材の研磨工程における、セラミック部材の研磨面の品質と研磨効率とを両立させる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。
【０００７】
（１）本発明の一形態によれば、セラミック部材の製造方法が提供される。このセラミック部材の製造方法は、セラミック部材と、前記セラミック部材とメカノケミカル反応する砥粒を液体中に分散させた分散液と、定盤と、を準備する準備工程と、前記セラミック部材と前記定盤との間に前記分散液が供給されている状態で、前記セラミック部材を前記定盤側に押し付けながら、前記セラミック部材を研磨する研磨工程と、を備え、前記分散液において、前記液体に対する前記砥粒の重量割合は、０％より大きく、４０％以下である。
【０００８】
この構成によれば、研磨工程においてセラミック部材と定盤との間に供給される分散液は、液体に対する砥粒の重量割合が、０％より大きく、４０％以下である。研磨工程では、セラミック部材と定盤との間に分散液が供給されている状態で、セラミック部材を定盤側に押し付けながら、セラミック部材を研磨する。ここで、「分散液が供給されている状態」とは、分散液が供給され続けている状態だけでなく、分散液の供給が終わっていてもセラミック部材と定盤との間に分散液が存在している状態も含む。これにより、セラミック部材と定盤との間において砥粒が不足することが抑制されるため、セラミック部材と砥粒とのメカノケミカル反応を確実に進行させることができる。したがって、セラミック部材における研磨面の品質を維持しつつ、研磨に要する時間が短くすることができるため、研磨面の品質と研磨効率とを両立させることができる。
【０００９】
（２）上記形態のセラミック部材の製造方法において、前記研磨工程では、前記セラミック部材が前記分散液に浸漬するように、前記セラミック部材と前記定盤との間に前記分散液を供給してもよい。この構成によれば、研磨工程において、セラミック部材は、分散液に浸漬するため、セラミック部材の研磨面における砥粒切れを抑制することができる。ここで、「浸漬する」とは、セラミック部材の一部が分散液に浸っていることを含む。これにより、セラミック部材と砥粒とのメカノケミカル反応が確実に進行するため、研磨面の品質を維持しつつ、研磨効率をさらに向上させることができる。
【００１０】
（３）上記形態のセラミック部材の製造方法において、前記準備工程では、窒化珪素により形成されている前記セラミック部材と、酸化鉄により形成されている前記砥粒を含む前記分散液と、を準備してもよい。この構成によれば、準備工程において、窒化珪素により形成されているセラミック部材と、酸化鉄により形成されている砥粒を含む分散液と、を準備する。これにより、窒化珪素により形成されているセラミック部材における研磨面の品質と研磨効率とを両立させることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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