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公開番号2025136419
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-19
出願番号2024034982
出願日2024-03-07
発明の名称保持部材
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250911BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】接着部材において、柔軟性を維持しつつ接着部材全体の熱伝導率を高めることができる技術を提供する。
【解決手段】保持部材であって、第1部材と、第2部材と、第1部材と第2部材とを接着する接着部材と、を備え、接着部材は、フィラーを含み、フィラーには、球形フィラーと無定形フィラーとが含まれ、球形フィラーの平均直径は、無定形フィラーの短径の最大値よりも小さいことを特徴とする。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
保持部材であって、
第１部材と、
第２部材と、
前記第１部材と前記第２部材とを接着する接着部材と、を備え、
前記接着部材は、フィラーを含み、
前記フィラーには、球形フィラーと無定形フィラーとが含まれ、
前記球形フィラーの平均直径は、前記無定形フィラーの短径の最大値よりも小さいことを特徴とする、保持部材。
続きを表示（約 440 文字）【請求項２】
請求項１に記載の保持部材であって、
前記球形フィラーの長径の最大値は、前記無定形フィラーの長径の最大値以上であることを特徴とする、保持部材。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の保持部材であって、
前記フィラーに含まれる前記球形フィラーの個数基準での割合は、前記フィラーに含まれる前記無定形フィラーの個数基準での割合よりも多いことを特徴とする、保持部材。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の保持部材であって、
前記接着部材の厚みは、１００μｍ以下であり、
前記球形フィラーの長径の最大値および前記無定形フィラーの長径の最大値は、前記接着部材の厚みよりも小さいことを特徴とする、保持部材。
【請求項５】
請求項１または請求項２に記載の保持部材であって、
前記フィラーの長径の最大値は、前記接着部材の厚みに１／２を乗じた値よりも大きいことを特徴とする、保持部材。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持部材に関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
対象物を保持する保持部材として、静電引力により対象物であるウエハを保持する静電チャックが知られている。例えば、特許文献１には、電極が表面に形成されたセラミック誘電体と、セラミック誘電体を支持するセラミック基板と、セラミック誘電体とセラミック基板とを接着する接着部材と、を備える静電チャックが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第５５５７１６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の静電チャックにおいて、接着部材に含まれる球形フィラーおよび無定形フィラーは、接着部材の柔軟性の維持と接着部材全体の熱伝導率の向上との両立を考慮した設計とはなっていなかった。このため、接着部材において、柔軟性を維持しつつ接着部材全体の熱伝導率を高めることができる技術が要望されていた。
【０００５】
本発明は、上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、接着部材において、柔軟性を維持しつつ接着部材全体の熱伝導率を高めることができる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現できる。
（１）本発明の一形態によれば、保持部材が提供される。この保持部材は、第１部材と、第２部材と、前記第１部材と前記第２部材とを接着する接着部材と、を備え、前記接着部材は、フィラーを含み、前記フィラーには、球形フィラーと無定形フィラーとが含まれ、前記球形フィラーの平均直径は、前記無定形フィラーの短径の最大値よりも小さいことを特徴とする。
【０００７】
無定形フィラーと球形フィラーとが同じ体積である場合、無定形フィラーの表面積は球形フィラーの表面積よりも大きい。したがって、接着部材に含まれる無定形フィラーは、接着部材に含まれる球形フィラーと比べて、接着部材のうちフィラーを内包している材料との接触面積が多くなるために当該材料への熱伝導が高いことから、接着部材全体の熱伝導率を高めることができる。一方、接着部材に含まれるフィラーが全て無定形フィラーである場合、フィラーを接着部材へ高密度で充填できないため、接着部材の高熱伝導率化には限界がある。上述の構成によれば、接着部材に球形フィラーと無定形フィラーとが含まれつつ、球形フィラーの平均直径は、無定形フィラーの短径の最大値よりも小さくなっている。このため、接着部材に含まれるフィラーが全て無定形フィラーである場合と比べて、フィラーを接着部材へ高密度で充填できることから、接着部材を高熱伝導率化することができる。さらに、上述の構成によれば、無定形フィラーの中に含まれた比較的体積の大きい無定形フィラーによってフィラーを内包している材料への熱伝導も高められているとともに、球形フィラーの含有によって柔軟性が担保されていることから、柔軟性を維持しつつ接着部材全体の熱伝導率を高めることができる。
【０００８】
（２）上記形態の保持部材において、前記球形フィラーの長径の最大値は、前記無定形フィラーの長径の最大値以上であってもよい。
接着部材に含まれる球形フィラーと無定形フィラーとのうち長径の最大値が大きい方のフィラーの物性が接着部材の物性に大きく反映される。無定形フィラーは、球形フィラーと比べて長径が長くなる傾向にあるため、無定形フィラーの長径の最大値が球形フィラーの長径の最大値以上である場合、接着部材の厚みのばらつきや接着部材表面からのフィラーの突出の頻発が懸念されることから、接着部材を薄く形成し難い。これに対し、上述の構成によれば、球形フィラーの長径の最大値が無定形フィラーの長径の最大値以上であるため、接着部材の厚みはばらつきにくく、且つ、接着部材表面からのフィラーの突出も生じにくいことから、接着部材を薄く形成することができる。また、無定形フィラーよりも球形フィラーの方が柔軟性への寄与が大きいため、この構成によれば、接着部材の柔軟性が高められていることから、接着部材を介して接着された第１部材と第２部材との間に生じる熱応力を緩和することができる。その結果、熱応力によって保持部材に生じる反り等の変形を抑制することができる。
【０００９】
（３）上記形態の保持部材において、前記フィラーに含まれる前記球形フィラーの個数基準での割合は、前記フィラーに含まれる前記無定形フィラーの個数基準での割合よりも多くてもよい。
この構成によれば、無定形フィラーの個数基準での割合よりも球形フィラーの個数基準での割合の方が多いことから、球形フィラーの物性が接着部材の物性に大きく反映される。すなわち、この構成によれば、接着部材において、柔軟性を維持しつつフィラーを高密度で充填できることから、接着部材全体の熱伝導率も高めることができる。
【００１０】
（４）上記形態の保持部材において、前記接着部材の厚みは、１００μｍ以下であり、
前記球形フィラーの長径の最大値および前記無定形フィラーの長径の最大値は、前記接着部材の厚みよりも小さくてもよい。
この構成によれば、接着部材の厚みが比較的薄くなっていることから、接着部材による熱抵抗を低減させることができる。また、接着部材表面からの球形フィラーの突出および無定形フィラーの突出をともに生じさせにくくすることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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