特許ウォッチ

公開番号2025144019
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-02
出願番号2024043572
出願日2024-03-19
発明の名称治具
出願人日本電子株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H01J 37/20 20060101AFI20250925BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】容易に試料を試料ホルダーに取り付けることができる治具を提供する。
【解決手段】治具100は、試料に遮蔽材を介してイオンビームを照射し、試料の遮蔽材から突き出た部分を加工する試料加工装置用の試料ホルダーに試料を取り付けるための治具であって、遮蔽材が取り付けられた試料ホルダーを支持する支持部20と、レール34、およびレール34に沿って移動可能であって試料を試料ホルダーに移動させるスライダー32を含むガイド30と、を含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
試料に遮蔽材を介してイオンビームを照射し、前記試料の前記遮蔽材から突き出た部分を加工する試料加工装置用の試料ホルダーに前記試料を取り付けるための治具であって、
前記遮蔽材が取り付けられた前記試料ホルダーを支持する支持部と、
レール、および前記レールに沿って移動可能であって前記試料を前記試料ホルダーに移動させる第１スライダーを含むガイドと、
を含む、治具。
続きを表示（約 770 文字）【請求項２】
請求項１において、
前記ガイドは、前記試料が前記遮蔽材から第１突き出し量だけ突き出るように前記第１スライダーを止めるストッパーを含む、治具。
【請求項３】
請求項２において、
前記遮蔽材を位置決めする基準面を含み、
前記第１スライダーは、前記試料を押す第１試料保持面を有し、
前記ストッパーで前記第１スライダーを止めたときに、前記基準面と前記第１試料保持面との間の距離が、前記第１突き出し量となる、治具。
【請求項４】
請求項３において、
前記ガイドは、前記レールに沿って移動可能であって前記試料を前記レールに沿って前記試料ホルダーに移動させる第２スライダーを有し、
前記ストッパーは、前記試料が前記遮蔽材から前記第１突き出し量とは異なる第２突き出し量だけ突き出るように前記第２スライダーを止める、治具。
【請求項５】
請求項４において、
前記第２スライダーは、前記試料を押す第２試料保持面を有し、
前記ストッパーで前記第２スライダーを止めたときに、前記基準面と前記第２試料保持面との間の距離が、前記第２突き出し量となる、治具。
【請求項６】
請求項１において、
材料が載置される材料台を含み、
前記材料台は、昇降可能であり、
前記材料台には、前記材料を打ち抜いて前記試料を形成する打ち抜き装置の台座に差し込み可能な切り欠きが設けられている、治具。
【請求項７】
請求項１ないし５のいずれか１項において、
前記第１スライダーの移動経路には、材料を打ち抜いて前記試料を形成する打ち抜き装置の台座に差し込み可能な切り欠きが設けられている、治具。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、治具に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
イオンビームを用いて試料を加工する試料加工装置として、試料の断面を加工するためのクロスセクションポリッシャ（登録商標）が知られている。クロスセクションポリッシャは、特許文献１に開示されているように、ブロードなイオンビームと遮蔽材を用いて試料を加工する試料加工装置である。クロスセクションポリッシャでは、遮蔽材から試料が２０μｍ～１００μｍ程度突き出るように試料をセットし、ブロードなイオンビームを試料に照射することによって、試料の遮蔽材から突き出た部分を加工する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２３－１０７３９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
クロスセクションポリッシャ用の試料ホルダーに試料を取り付ける際には、試料は一般的にピンセットで取り扱われるが、加工対象となる試料には壊れやすいものもあるため、ピンセットでの取り扱いが難しく、試料が破損することもある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係る治具の一態様は、
試料に遮蔽材を介してイオンビームを照射し、前記試料の前記遮蔽材から突き出た部分を加工する試料加工装置用の試料ホルダーに前記試料を取り付けるための治具であって、
前記遮蔽材が取り付けられた前記試料ホルダーを支持する支持部と、
レール、および前記レールに沿って移動可能であって前記試料を前記試料ホルダーに移動させる第１スライダーを含むガイドと、
を含む。
【０００６】
このような治具では、第１スライダーをレールに沿って移動させることによって、試料を遮蔽材が取り付けられた試料ホルダーに配置できる。したがって、このような治具では、例えば、ピンセットで試料を掴んで、試料を試料ホルダーに配置する場合と比べて、試料が壊れる可能性を低減でき、容易に試料を試料ホルダーに取り付けることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
本発明の一実施形態に係る治具を模式的に示す斜視図。
スライダーを模式的に示す斜視図。
ガイドを模式的に示す斜視図。
本発明の一実施形態に係る治具を模式的に示す断面図。
昇降機構を模式的に示す断面図。
試料ホルダーに試料を取り付ける方法の一例を示すフローチャート。
試料ホルダーに試料を取り付ける工程を説明するための図。
試料ホルダーに試料を取り付ける工程を説明するための図。
試料ホルダーに試料を取り付ける工程を説明するための図。
試料ホルダーに試料を取り付ける工程を説明するための図。
試料ホルダーに試料を取り付ける工程を説明するための図。
試料ホルダーに試料を取り付ける工程を説明するための図。
試料ホルダーに試料を取り付ける工程を説明するための図。
試料ホルダーに試料を取り付ける工程を説明するための図。
試料ホルダーに試料を取り付ける工程を説明するための図。
試料ホルダーに試料を取り付ける工程を説明するための図。
試料加工装置を用いた試料の加工方法を説明するための図
本発明の一実施形態に係る治具の変形例を説明するための図。
本発明の一実施形態に係る治具の変形例を説明するための図。
本発明の一実施形態に係る治具の変形例を説明するための図。
試料ホルダーの変形例を説明するための図。
第３変形例に係る治具を模式的に示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【０００９】
１．治具
１．１．治具の構成
まず、本発明の一実施形態に係る治具について図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る治具１００を模式的に示す斜視図である。
【００１０】
治具１００は、クロスセクションポリッシャ用の試料ホルダーに試料を取り付けるための治具である。クロスセクションポリッシャは、試料に遮蔽材を介してイオンビームを照射し、試料の遮蔽材から突き出た部分を加工する試料加工装置である。遮蔽材は、板状の部材である。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許