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公開番号2025145693
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-03
出願番号2024046010
出願日2024-03-22
発明の名称感光性樹脂組成物、硬化膜、および表示装置
出願人東レ株式会社
代理人
主分類G03F 7/023 20060101AFI20250926BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】基板密着性に優れ、デバイスの製造工程で使用するレジスト剥離液に浸漬後も高い基板密着性を維持する硬化膜を提供すること。加えて、良好な発光特性を示し、信頼性に優れる表示装置を提供すること。
【解決手段】(a)シロキサン樹脂、(b)感光剤、(c)硫黄原子を含有するシラン化合物、および(d)エポキシ基を含有する化合物、を含む感光性樹脂組成物であって、前記(c)硫黄原子を含有するシラン化合物が下記一般式(1)で表される構造の官能基を持つ、感光性樹脂組成物。
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(Xは水素、または炭素数1～18の有機基である。*は結合手を示す。)
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
（ａ）シロキサン樹脂、（ｂ）感光剤、（ｃ）硫黄原子を含有するシラン化合物、および（ｄ）エポキシ基を含有する化合物、を含む感光性樹脂組成物であって、前記（ｃ）硫黄原子を含有するシラン化合物が下記一般式（１）で表される構造の官能基を持つ化合物である、感光性樹脂組成物。
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（Ｘは水素、または炭素数１～１８の有機基である。＊は結合手を示す。）
続きを表示（約 930 文字）【請求項２】
前記（ａ）シロキサン樹脂が重合性の炭素－炭素二重結合を有する請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
前記重合性の炭素－炭素二重結合が、下記一般式（２）の構造で表される官能基である、請求項２に記載の感光性樹脂組成物。
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2025145693000017.tif
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（一般式（２）中、Ｒ
Ｉ
は単結合もしくは炭素数１～１０の炭化水素基。Ｒ
ＩＩ
、Ｒ
ＩＩＩ
、Ｒ
ＩＶ
は、それぞれ水素、もしくは炭素数１～１０の炭化水素基。なお、Ｒ
Ｉ
、Ｒ
ＩＩ
、Ｒ
ＩＩＩ
、Ｒ
ＩＶ
のうち２つ以上が結合し、環を形成していてもよい。＊はＳｉ原子との結合手を示す。）
【請求項４】
前記（ｂ）感光剤がナフトキノンジアジド化合物である、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
前記一般式（１）におけるＸが下記一般式（３）で表される基である、請求項１に記載の感光性樹脂組成物
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（Ｒ
Ｖ
、Ｒ
ＶＩ
、Ｒ
ＶＩＩ
はそれぞれ炭素数１～６のアルキル基またはアルコキシ基。＊は硫黄原子との結合手を示す。）
【請求項６】
さらに、（ｅ）メジアン径１００～４００ｎｍの粒子を含有する請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項７】
前記（ｅ）メジアン径１００～４００ｎｍの粒子が、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ジルコニウムから選ばれた１種以上を含有する請求項６に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項８】
請求項１～７いずれかに記載の感光性樹脂組成物を硬化させてなる硬化膜。
【請求項９】
請求項８に記載の硬化膜を有する表示装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の表示装置を有する情報端末。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物、硬化膜およびそれを具備する表示装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、ＴＶ、スマートフォン、スマートウォッチ、ＡＲ／ＶＲ端末などの薄型ディスプレイにおいて、有機エレクトロルミネッセンス（以下、「有機ＥＬ」）ディスプレイ、量子ドットディスプレイ、またはマイクロ発光ダイオード（以下、「ＬＥＤ」）ディスプレイに関する技術が盛んに研究されている。
【０００３】
例えば、有機ＥＬディスプレイの画素分割層、マイクロＬＥＤの隔壁層および平坦化層、各種ディスプレイの薄膜トランジスタ（以下「ＴＦＴ」）の平坦化層や、その他周辺部材の絶縁膜などは、フォトリソグラフィーによりパターニングされた感光性樹脂組成物の硬化膜により形成される。これらの硬化膜は、長時間の発光に晒されるため、優れた耐光性が求められている。高い耐光性を持つ硬化膜としてシロキサン樹脂を用いた樹脂組成物の硬化膜が知られている（例えば、特許文献１、２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００６／１７８４３６号
国際公開第２０２３／０５４２２６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１または２に記載のシロキサン樹脂を用いた樹脂組成物の硬化膜は、デバイスを作製する工程において、レジスト剥離液に浸漬された後の基板密着性が低下するという課題があった。具体的には、硬化膜をレジスト剥離液に浸漬させると、アルミナ基板などの特定の基板に対する密着性が低下してしまう。硬化膜と、隣接する配線、発光素子などの部材との間で剥がれが生じると、配線のクラックや素子の破損によるディスプレイの発光不良を引き起こす。
【０００６】
そこで本発明では基板密着性に優れ、デバイスの製造工程で使用するレジスト剥離液に浸漬後も高い基板密着性を維持する硬化膜を提供することを目的とする。また、良好な発光特性を示し、信頼性に優れた表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、以下の構成をとる。
［１］（ａ）シロキサン樹脂、（ｂ）感光剤、（ｃ）硫黄原子を含有するシラン化合物、および（ｄ）エポキシ基を含有する化合物、を含む感光性樹脂組成物であって、前記（ｃ）硫黄原子を含有するシラン化合物が下記一般式（１）で表される構造の官能基を持つ化合物である、感光性樹脂組成物。
【０００８】
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【０００９】
Ｘは水素、または炭素数１～１８の有機基である。＊は結合手を示す。
［２］前記（ａ）シロキサン樹脂が重合性の炭素－炭素二重結合を有する請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
［３］前記重合性の炭素－炭素二重結合が、下記一般式（２）の構造で表される官能基である、請求項２に記載の感光性樹脂組成物。
【００１０】
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（【００１１】以降は省略されています）

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