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公開番号2025148972
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-08
出願番号2024049377
出願日2024-03-26
発明の名称プローバ
出願人株式会社東京精密
代理人個人,個人,個人
主分類H01L 21/66 20060101AFI20251001BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ウェーハを効果的に除電できるプローバを提供する。
【解決手段】ウェーハを保持する保持面を有するチャックと、前記保持面に開口部を有する開口穴と、除電気体を前記開口穴に供給する除電装置と、を備える。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハを保持する保持面を有するチャックと、
前記保持面に開口部を有する開口穴と、
除電気体を前記開口穴に供給する除電装置と、
を備えるプローバ。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記開口穴は、前記保持面と交わる第１方向に延び、
前記除電装置は、前記チャックにおいて前記第１方向と交わる第２方向に延び前記開口穴に開口する供給口を有し、
前記第２方向は、前記第１方向における前記開口部に向かう方向の成分を有する、
請求項１に記載のプローバ。
【請求項３】
前記開口穴および前記供給口は、前記第１方向に延びる中心軸を中心とする周方向に間隔をあけて複数配置される、
請求項２に記載のプローバ。
【請求項４】
前記除電装置は、
前記除電気体を生成する生成部と、
前記生成部が生成した前記除電気体を複数に分岐させる分岐部と、
前記チャックの底部に設けられ前記供給口と連通する複数の第１継手部と、
前記分岐部と複数の前記第１継手部をそれぞれ個別に繋ぐ第１配管と、
を有する、
請求項３に記載のプローバ。
【請求項５】
前記除電装置は、
前記除電気体を生成する生成部と、
前記生成部に接続され、前記チャックの前記中心軸を中心とする径方向の外側に配置され前記周方向に延びる第２配管と、
前記チャックの側面に設けられ前記供給口と連通する複数の第２継手部と、
前記径方向に延び、前記第２配管と複数の前記第２継手部をそれぞれ個別に繋ぐ第３配管と、
を有する、
請求項３に記載のプローバ。
【請求項６】
前記第２配管は、前記周方向に亘る環状である、
請求項５に記載のプローバ。
【請求項７】
前記除電装置は、
前記除電気体を生成する生成部と、
前記チャックの底部に接合して設けられた分岐プレートと、
前記チャックの側面に設けられ前記生成部に接続された第３継手部と、
を有し、
前記分岐プレートは、前記チャックと対向する面に前記周方向に延びて環状に形成され複数の前記供給口とそれぞれ連通する溝部を有し、
前記第３継手部は、前記溝部と連通する、
請求項３に記載のプローバ。
【請求項８】
前記開口穴は、前記チャックを前記第１方向に貫通し、
前記開口穴に沿って前記保持面から突出した位置と、前記開口穴に没入した位置との間を移動可能に設けられたリフトピンを備える、
請求項２から７のいずれか一項に記載のプローバ。
【請求項９】
前記除電装置を制御して、前記リフトピンが前記保持面から突出する前に、前記除電気体を前記開口穴に供給させる制御部を備える、
請求項８に記載のプローバ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローバに関するものである。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハ上に形成された複数の半導体装置（チップまたはダイ）の電気的な検査等を行うためにプローバが用いられる。プローバにおいては、チャックに搬送され保持面に吸着保持されたウェーハが検査後にチャックからアンロードされる。ウェーハのアンロード時には、上下動によってチャックの保持面に対して出没可能なリフトピンがウェーハの裏面を支持した状態で保持面の上側に突出することでウェーハを保持面から剥離する。
【０００３】
ウェーハをチャックから剥離した際には、剥離帯電が生じる。近年ではＷＬＰ（ウェーハレベルパッケージ）やダイシングテープが裏面に貼られて絶縁されたウェーハを搬送する必要性があり、特に絶縁されたウェーハの剥離帯電は高いと１０数ｋＶになり、最悪スパークすることで、デバイスの破損、装置の誤動作が発生するという問題が生じる。
【０００４】
ウェーハを除電するために、例えば、ウェーハのアンロードを行うために導電性搬送アームを用いることが考えられるが、ウェーハは導電性搬送アームに受け渡される前に保持面から剥離した時点で帯電してしまう。そこで、特許文献１には、イオン化したエアを噴射するイオナイザをチャックの外部に取り付ける構成が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００３－１００８２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、チャックは水平方向および上下方向に移動可能であるため、イオナイザの取り付け位置は限定されてしまう。イオナイザの取り付け位置がチャックから遠い場合は、除電効果が低下するという問題が生じる。除電効果を高めるためにイオン化したエアの流量を大きくすると、ウェーハが飛散してしまい損傷する可能性がある。
【０００７】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、ウェーハを効果的に除電できるプローバを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は下記の態様を有する。
ウェーハを保持する保持面を有するチャックと、
前記保持面に開口部を有する開口穴と、
除電気体を前記開口穴に供給する除電装置と、
を備えるプローバ。
【発明の効果】
【０００９】
本発明では、ウェーハを効果的に除電できるプローバを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明の一実施形態に係るプローバの要部構成を示した図である。
チャックの平面図である。
図２におけるＡ－Ａ断面図である。
図２におけるＡ－Ａ断面図である。
除電装置の概略構成を示す斜視図である。
除電装置を構成する供給口の周辺の部分拡大図である。
除電気体の生成システムを示す概略構成図である。
ウェーハをアンロードする動作示すフローチャートである。
第２実施形態に係る除電装置の斜視図である。
第３実施形態に係る除電装置の斜視図である。
第４実施形態に係る除電装置の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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