特許ウォッチ

公開番号2025080942
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-27
出願番号2023194354
出願日2023-11-15
発明の名称ボロメータ及びボロメータアレイ
出願人日本電気株式会社
代理人個人,個人
主分類G01J 1/02 20060101AFI20250520BHJP(測定;試験)
要約【課題】電極間の電気抵抗を低減できるボロメータを提供する。
【解決手段】ボロメータは、第一電極と、第一電極に対し、ミアンダ状の電極間領域を挟んで設けられている第二電極と、電極間領域において、第一電極と第二電極とに電気的に接続されているカーボンナノチューブ膜を備えるセンサ部とを備える。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
第一電極と、
前記第一電極に対し、ミアンダ状の電極間領域を挟んで設けられている第二電極と、
前記電極間領域において、前記第一電極と前記第二電極とに電気的に接続されているカーボンナノチューブ膜を備えるセンサ部と、
を備える、
ボロメータ。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記第一電極が、第一方向に延びている第一基端と、前記第一基端から前記第一方向と交差する第二方向に突出している複数の第一延出部を有し、
前記第二電極が、前記第一方向に延びている第二基端と、前記第二基端から前記複数の第一延出部の間を前記第二方向に突出している複数の第二延出部と、を有し、
前記カーボンナノチューブ膜が、前記電極間領域のうち、少なくとも前記複数の第一延出部と前記複数の第二延出部との間に形成されている複数の隙間領域において、前記複数の第一延出部と前記複数の第二延出部とに電気的に接続されている、
請求項１に記載のボロメータ。
【請求項３】
前記センサ部が、
前記カーボンナノチューブ膜と前記第一電極と前記第二電極とを含む領域の一面側を覆う受光部と、
前記受光部から前記カーボンナノチューブ膜へ延びる接続部と、
をさらに備える、
請求項１又は２に記載のボロメータ。
【請求項４】
前記カーボンナノチューブ膜が、前記電極間領域に沿って延びながら、前記第一電極に接している第一膜側面と、前記電極間領域に沿って延びながら、前記第二電極に接している第二膜側面と、を有する、
請求項１又は２に記載のボロメータ。
【請求項５】
前記カーボンナノチューブ膜が、前記電極間領域をミアンダ状に延びている、
請求項１又は２に記載のボロメータ。
【請求項６】
前記カーボンナノチューブ膜が、カーボンナノチューブネットワーク膜を含む、
請求項１又は２に記載のボロメータ。
【請求項７】
前記電極間領域の幅が、５００ｎｍ以上３μｍ以下である、
請求項６に記載のボロメータ。
【請求項８】
配線部をさらに備え、
前記配線部が、前記第二電極側に設けられている第一コンタクト部と、前記第一電極と前記第一コンタクト部を繋ぐ第一配線と、前記第一電極側に設けられている第二コンタクト部と、前記第二電極と前記第二コンタクト部を繋ぐ第二配線と、を備える、
請求項１又は２に記載のボロメータ。
【請求項９】
前記配線部が、前記第一電極と、前記第二電極と、前記カーボンナノチューブ膜と、を支持している、
請求項８に記載のボロメータ。
【請求項１０】
請求項１又は２に記載のボロメータを複数備え、
前記複数のボロメータが並んで設けられている基板をさらに備える、
ボロメータアレイ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、ボロメータ及びボロメータアレイに関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
赤外線を検出するために、ボロメータが用いられることは広く知られている。
例えば、特許文献１には、一対の電極と、カーボンナノチューブ膜であるボロメータ膜とを備えるボロメータが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－２５０５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示されたボロメータでは、一対の電極にカーボンナノチューブ膜が接続されている。このため、電極間の電気抵抗が高くなることがある。
【０００５】
本開示の目的は、上述の課題を解決するボロメータ及びボロメータアレイを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一態様に係るボロメータは、第一電極と、前記第一電極に対し、ミアンダ状の電極間領域を挟んで設けられている第二電極と、前記電極間領域において、前記第一電極と前記第二電極とに電気的に接続されているカーボンナノチューブ膜を備えるセンサ部と、を備える。
【発明の効果】
【０００７】
上記一態様によれば、電極間の電気抵抗を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本開示に係るボロメータの斜視図である。
図１のＩＩ－ＩＩ線断面図である。
図１のボロメータの受光部と、接続部と、保護膜の上部とを透視した平面図である。
図３のＩＶ－ＩＶ線断面図である。
本開示に係るボロメータの製造方法のフローチャートである。
本開示に係るボロメータの製造方法のＳＴ０１における製造途中のボロメータの断面図である。
本開示に係るボロメータの製造方法のＳＴ０２における製造途中のボロメータの断面図である。
本開示に係るボロメータの製造方法のＳＴ０３における製造途中のボロメータの断面図である。
本開示に係るボロメータの製造方法のＳＴ０４における製造途中のボロメータの断面図である。
本開示に係るボロメータの製造方法のＳＴ０５における製造途中のボロメータの断面図である。
本開示に係るボロメータの製造方法のＳＴ０６における製造途中のボロメータの断面図である。
本開示に係るボロメータの製造方法のＳＴ０７における製造途中のボロメータの断面図である。
本開示に係るボロメータの製造方法のＳＴ０８における製造途中のボロメータの断面図である。
本開示に係るボロメータの製造方法のＳＴ０９における製造途中のボロメータの断面図である。
本開示に係るボロメータの製造方法のＳＴ１０における製造途中のボロメータの断面図である。
本開示に係るボロメータの製造方法のＳＴ１１における製造途中のボロメータの断面図である。
本開示に係るボロメータの製造方法のＳＴ１２における製造途中のボロメータの断面図である。
本開示に係るボロメータの製造方法のＳＴ１３における製造途中のボロメータの断面図である。
本開示に係るボロメータの製造方法のＳＴ１４における製造途中のボロメータの断面図である。
本開示に係るボロメータの製造方法の変形例のＳＴ１０１における製造途中のボロメータの断面図である。
本開示に係るボロメータの製造方法の変形例のＳＴ１０２における製造途中のボロメータの断面図である。
本開示に係るボロメータの製造方法の変形例のＳＴ１０３における製造途中のボロメータの断面図である。
本開示に係るボロメータの製造方法の変形例のＳＴ１０４における製造途中のボロメータの断面図である。
本開示に係るボロメータの製造方法の変形例のＳＴ１０５における製造途中のボロメータの断面図である。
本開示に係るボロメータの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本開示に係る各種実施形態について、図面を用いて説明する。
【００１０】
＜第一実施形態＞
以下、本開示に係るボロメータの一実施形態について説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許