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公開番号2025095277
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-26
出願番号2023211185
出願日2023-12-14
発明の名称シート製造装置および製造方法
出願人日本電気硝子株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250619BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】
搬送中の超薄型シートにエアナイフからガスを吹き付ける形態を取るシートの製造において、シートの支持を補助する補助支持部材をエアナイフに併設する場合に、同部材とエアナイフとの位置関係の調整を容易にする。
【解決手段】
平置き姿勢で搬送されるガラスシート2の下面3にガス4を吹き付けるエアナイフユニット5と、エアナイフユニット5の上流側および下流側にそれぞれ隣接して配置された上流側搬送装置8および下流側搬送装置9と、を備えたシート製造装置1について、エアナイフユニット5が、ガス4の吹付口11が形成されたエアナイフ本体12と、エアナイフ本体12と上流側搬送装置8との間、及び、エアナイフ本体12と下流側搬送装置9との間にそれぞれ配置され、ガラスシート2を下方から支持する第一および第二補助支持部材13,15と、を有し、エアナイフ本体12と両補助支持部材13,15とが連結されるようにした。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
シートが平置き姿勢で搬送される搬送経路上に配置され、搬送中の前記シートの下面に対してガスを吹き付けるエアナイフユニットと、
前記搬送経路上で前記エアナイフユニットの上流側および下流側にそれぞれ隣接して配置され、前記シートを下方から支持しながら搬送する上流側搬送装置および下流側搬送装置と、
を備えたシート製造装置であって、
前記エアナイフユニットが、
前記ガスの吹付口が形成されたエアナイフ本体と、
前記エアナイフ本体と前記上流側搬送装置との間、及び、前記エアナイフ本体と前記下流側搬送装置との間、の少なくとも一方に配置され、前記シートを下方から支持する補助支持部材と、
を有し、
前記エアナイフ本体と前記補助支持部材とが連結されていることを特徴とするシート製造装置。
続きを表示（約 970 文字）【請求項２】
前記エアナイフ本体は、前記シートの下面に対する前記ガスの吹付角度を変更可能である請求項１に記載のシート製造装置。
【請求項３】
前記エアナイフ本体は、前記吹付口が前記搬送経路の上流側を指向するように前記吹付角度を変更可能である請求項２に記載のシート製造装置。
【請求項４】
前記補助支持部材が、
前記シートに接触する接触部と、
前記接触部を保持する保持部と、
前記保持部の上下方向における位置を変更することで、前記接触部の高さ位置を調整する位置調整機構と、
を備える請求項２又は３に記載のシート製造装置。
【請求項５】
前記位置調整機構は、前記接触部の頂部が、前記上流側搬送装置および前記下流側搬送装置の搬送面と同一高さに位置するように調整可能である請求項４に記載のシート製造装置。
【請求項６】
平面視で前記シートの搬送方向と直交する方向を幅方向としたとき、前記補助支持部材が、幅方向に沿って並べられた複数の部材片に分割され、
前記複数の部材片の各々が、前記接触部および前記保持部を備える請求項４に記載のシート製造装置。
【請求項７】
前記位置調整機構が、前記複数の部材片に対応する複数の前記保持部を連結する連結部材を有し、
前記連結部材の上下方向における位置を変更することで、前記複数の部材片に対応する複数の前記接触部の高さ位置を一括して調整可能である請求項６に記載のシート製造装置。
【請求項８】
前記接触部が補助ローラーである請求項４に記載のシート製造装置。
【請求項９】
前記上流側搬送装置における下流端および前記下流側搬送装置における上流端が、搬送ローラーで構成され、
前記補助ローラーの直径が、前記搬送ローラーの直径よりも小さい請求項８に記載のシート製造装置。
【請求項１０】
前記エアナイフユニットが、前記エアナイフ本体と前記上流側搬送装置との間、及び、前記エアナイフ本体と前記下流側搬送装置との間、の両方に前記補助支持部材を有する請求項１～３のいずれかに記載のシート製造装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、搬送中の超薄型シートにエアナイフからガスを吹き付ける形態を取るシート製造装置および製造方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
ガラスシートの製造工程として、ガラスシートを洗浄液により洗浄する洗浄工程、洗浄後のガラスシートから洗浄液を除去する液切工程、液切後のガラスシートを乾燥させる乾燥工程等がある。これらの工程のうち、液切工程は、一例として下記のような設備を用いて実施される。
【０００３】
同設備は、ガラスシートが平置き姿勢で搬送される搬送経路上に、ガラスシートにガスを吹き付けるためのエアナイフを備える。エアナイフは、搬送中のガラスシートの上面および下面の双方にガスを吹き付けるべく、搬送経路を挟んで上下で対となるように配置される。上下で対となるエアナイフのうち、下側のエアナイフの上流側および下流側には、それぞれ上流側コンベアおよび下流側コンベアが隣接して配置される。
【０００４】
上記の設備を用いた液切工程では、上流側コンベアから下流側コンベアにガラスシートを移乗させつつ、両コンベアの相互間に配置した下側のエアナイフと、同エアナイフと対になる上側のエアナイフとから、ガラスシートにガスを吹き付けて洗浄液を除去する。
【０００５】
近年ガラスシートの薄型化が推進されており、厚みが１００μｍ以下であるような超薄型のガラスシートが製造されている。このようなガラスシートに対して上記の設備により液切工程を実施すると、ガラスシートが撓みやすいことに起因して、下側のエアナイフと上流側コンベアとの隙間や、下側のエアナイフと下流側コンベアとの隙間に、ガラスシートが落ち込みやすい不具合がある。
【０００６】
上述の不具合を解消するため、ガラスシートの支持を補助する部材（以下、補助支持部材と表記）を下側のエアナイフに併設する場合がある。具体的には、下側のエアナイフと上流側コンベアとの間や、下側のエアナイフと下流側コンベアとの間に、補助支持部材を設置する。補助支持部材を設置すれば、ガラスシートが上流側コンベアから下流側コンベアへと移乗する際に、同部材によりガラスシートが下方から支持されるため、上記の隙間へのガラスシートの落ち込みを防止しやすくなる。
【０００７】
特許文献１には、補助支持部材として利用できる部材の一例が開示されている。同文献に開示された部材は、基板Ｗの搬送方向と直交する方向に並べられた複数の補助ローラー２１を含んだ補助ローラーユニット２０である（同文献の図１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
特開２０２３－５０３２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
エアナイフに補助支持部材を併設する場合、両者の位置関係を適切に調整することが要求される。これは、エアナイフと補助支持部材との位置関係が不適切であると、エアナイフからのガスの圧力でバタついたガラスシートが、エアナイフと接触してしまう事態が発生するためである。従って、ガラスシートへのガスの吹き付けの条件を変更したい等の理由から、エアナイフの配置や姿勢を変化させる必要が生じた場合には、変化に合わせてエアナイフと補助支持部材との位置関係を再調整することが求められる。しかしながら、位置関係の調整には手間が掛かるという問題があった。
【００１０】
なお、上述のような問題は、超薄型のガラスシートをガスの吹き付けの対象とする場合にのみ発生するものではない。樹脂シートをはじめ、ガラスシート以外の超薄型シートをガスの吹き付けの対象とする場合にも同様に発生する問題である。
（【００１１】以降は省略されています）

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