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公開番号2025099795
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-03
出願番号2023216729
出願日2023-12-22
発明の名称搬送装置
出願人株式会社ダイヘン
代理人個人,個人
主分類B25J 9/04 20060101AFI20250626BHJP(手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ)
要約【課題】直線移動機構によって移動させられるハンドを備えた搬送装置において、小型化を図るのに適した構造を提供する。
【解決手段】搬送装置A1は、固定ベース1と、固定ベース1に対して垂直状の旋回軸線Osの周りに旋回可能に支持されたガイド部材3と、ガイド部材3に支持された直線移動機構と、直線移動機構に支持され、直線移動機構の作動により第1方向xに延びる水平直線状の移動行程に沿って移動する第1ハンド5Aと、ガイド部材3に旋回駆動力を与えるモータM2(旋回用駆動源)と、第1入力軸61に入力されたモータM2による回転を減速して第1出力軸62から出力する旋回用減速機6と、を備える。旋回用減速機6およびモータM2は、ガイド部材3に固定されており、第1出力軸62は、固定ベース1に直接または間接に取り付けられている。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
固定ベースと、
前記固定ベースに対して垂直状の旋回軸線の周りに旋回可能に支持されたガイド部材と、
前記ガイド部材に支持された直線移動機構と、
前記直線移動機構に支持され、前記直線移動機構の作動により第１方向に延びる水平直線状の移動行程に沿って移動する第１ハンドと、
前記ガイド部材に旋回駆動力を与える旋回用駆動源と、
第１入力軸に入力された前記旋回用駆動源による回転を減速して第１出力軸から出力する旋回用減速機と、を備え、
前記旋回用減速機および前記旋回用駆動源は、前記ガイド部材に固定されており、
前記第１出力軸は、前記固定ベースに直接または間接に取り付けられている、搬送装置。
続きを表示（約 690 文字）【請求項２】
前記直線移動機構は、各々が前記第１方向に延び、且つ鉛直方向および前記第１方向の双方に直交する第２方向に離れて配置された一対の第１ガイドレールを含み、
前記一対の第１ガイドレールは、前記第１ハンドを移動可能に支持しており、
前記旋回用駆動源は、前記旋回用減速機に対して前記第１方向の一方側に位置し、且つ前記第２方向において前記一対の第１ガイドレールの間に位置する、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記第１入力軸は前記第１出力軸の上方に位置し、
前記旋回用駆動源の出力軸に取り付けられたプーリ、および前記第１入力軸に取り付けられたプーリにベルトが掛け回されている、請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記直線移動機構に支持され、前記直線移動機構の作動により前記第１方向に延びる前記移動行程に沿って移動する第２ハンドと、
前記第１ハンドに駆動力を与えるための第１駆動源と、
前記第２ハンドに駆動力を与えるための第２駆動源と、をさらに備え、
前記第１駆動源および前記第２駆動源は、前記旋回用減速機に対して前記第１方向の他方側に位置する、請求項２または３に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記固定ベースに対して昇降可能に支持され、且つ前記ガイド部材を支持する昇降ベースをさらに備え、
前記第１出力軸は、前記昇降ベースに固定されており、
前記旋回用減速機は、前記ガイド部材に固定されたフランジ部を有する、請求項１ないし３のいずれかに記載の搬送装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、搬送装置に関し、より詳細にはワークを直線状に搬送することができる搬送装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
搬送装置のうち、直線状の移動行程に沿ってハンドを移動させる機構（直線移動機構）を持つものがある。このような搬送装置は、たとえば、半導体製造装置の製造工程、あるいは、ＦＰＤ（ＦｌａｔＰａｎｅｌＤｉｓｐｌａｙ）の製造工程において、各処理室へのウエハ、あるいはガラス基板等の薄板状のワークの搬入あるいは搬出用として多用されている。
【０００３】
このような薄板状のワークを搬送するための搬送装置としては、たとえば下記の特許文献１に開示されたものがある。この搬送装置は、固定ベースと、固定ベースに旋回可能に支持された旋回ベースと、旋回ベースに支持された直線移動機構と、直線移動機構に各別に支持された一対のハンドと、を備えている。直線移動機構は、一対のハンドをそれぞれ駆動する一対の駆動機構（たとえばベルト駆動機構）を有し、駆動機構が駆動すると、ハンドが水平方向に直線移動させられる。これにより、一対のハンドに保持された薄板状ワークを水平直線状の移動行程に沿って各別に搬送することが可能である。
【０００４】
固定ベースないし旋回ベースの内部には、旋回ベースを旋回駆動させるためのモータ、および当該モータに対応する減速機が配置されている。上記の旋回駆動用のモータによる駆動力は、減速機を介して旋回ベースに伝達される。
【０００５】
近年では、たとえばＦＰＤに使用されるガラス基板等のサイズの大型化により、搬送装置において搬送するべきワークもまた、大型化するとともに相当の重量を有する。また、ワークを保持するハンドの移動距離についても長大化が求められる。そうすると、旋回ベースを駆動させるためのモータおよび減速機もそれぞれ大型化し、搬送装置全体の大型化を招く傾向にあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２００８－２７２８４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本開示は、このような事情のもとで考え出されたものであって、直線移動機構によって移動させられるハンドを備えた搬送装置において、小型化を図るのに適した構造を提供することを主たる課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するため、本開示では、次の技術的手段を採用した。
【０００９】
本開示によって提供される搬送装置は、固定ベースと、前記固定ベースに対して垂直状の旋回軸線の周りに旋回可能に支持されたガイド部材と、前記ガイド部材に支持された直線移動機構と、前記直線移動機構に支持され、前記直線移動機構の作動により第１方向に延びる水平直線状の移動行程に沿って移動する第１ハンドと、前記ガイド部材に旋回駆動力を与える旋回用駆動源と、第１入力軸に入力された前記旋回用駆動源による回転を減速して第１出力軸から出力する旋回用減速機と、を備え、前記旋回用減速機および前記旋回用駆動源は、前記ガイド部材に固定されており、前記第１出力軸は、前記固定ベースに直接または間接に取り付けられている。
【００１０】
好ましい実施の形態においては、前記直線移動機構は、各々が前記第１方向に延び、且つ鉛直方向および前記第１方向の双方に直交する第２方向に離れて配置された一対の第１ガイドレールを含み、前記一対の第１ガイドレールは、前記第１ハンドを移動可能に支持しており、前記旋回用駆動源は、前記旋回用減速機に対して前記第１方向の一方側に位置し、且つ前記第２方向において前記一対の第１ガイドレールの間に位置する。
（【００１１】以降は省略されています）

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