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公開番号2025107071
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-17
出願番号2024000817
出願日2024-01-05
発明の名称半導体製造装置の動作方法
出願人株式会社荏原製作所
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/02 20060101AFI20250710BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】オペレータが装置の異常の原因を容易に特定して、装置を迅速に異常から復帰できるようにする。
【解決手段】本方法は、半導体製造装置における1または複数の処理ユニットに関する1または複数のステータス情報を取得するステップと、1または複数のステータス情報に基づいて、半導体製造装置における所定の動作工程の実施可否を判定するステップと、所定の動作工程の実施が否と判定される場合、所定の動作工程が実施されないように制御するステップと、1または複数のステータス情報を異常状態に対応するものと正常状態に対応するものとに区別して表示するステップと、異常状態に対応するステータス情報を指定するユーザ入力を受け、1または複数の処理ユニットのうち指定されたステータス情報に対応する処理ユニットへの位置案内のためのARまたはMR画面を、携帯端末に表示させるステップと、を含む。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
半導体製造装置を異常状態から復帰させるための動作方法であって、
前記半導体製造装置における１または複数の処理ユニットに関する１または複数のステータス情報を取得するステップと、
前記１または複数のステータス情報に基づいて、前記半導体製造装置における所定の動作工程の実施可否を判定するステップであって、前記１または複数のステータス情報のうちの少なくとも１つが異常状態を示す場合に、前記所定の動作工程の実施が否と判定される、ステップと、
前記所定の動作工程の実施が否と判定される場合、
前記所定の動作工程が実施されないように制御するステップと、
前記１または複数のステータス情報を異常状態に対応するものと正常状態に対応するものとに区別して表示するステップと、
異常状態に対応するステータス情報を指定するユーザ入力を受け、前記１または複数の処理ユニットのうち前記指定されたステータス情報に対応する処理ユニットへの位置案内のためのＡＲまたはＭＲ画面を、携帯端末に表示させるステップと、
を含む方法。
続きを表示（約 920 文字）【請求項２】
前記携帯端末上の前記ＡＲまたはＭＲ画面に、前記所定の動作工程の実施を指示するための実行ボタンを表示させるステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記位置案内された処理ユニットの異常状態が解除されることを受けて、前記実行ボタンが表示される、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記位置案内された処理ユニットの異常状態が継続している間は前記実行ボタンが無効化されて表示され、前記位置案内された処理ユニットの異常状態が解除されることを受けて、前記実行ボタンが有効化されて表示される、請求項２に記載の方法。
【請求項５】
前記１または複数のステータス情報は、前記１または複数の処理ユニットに設けられたセンサから取得される、請求項２から４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
前記半導体製造装置における前記所定の動作工程の実施を指示するユーザ入力を、前記半導体製造装置の操作用端末において受け取るステップをさらに含み、
前記取得するステップにおいて、前記指示された動作工程に対応する処理ユニットの前記センサから、前記１または複数のステータス情報が取得される、
請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記１または複数のステータス情報の表示は、前記操作用端末において行われ、
異常状態に対応するステータス情報を指定する前記ユーザ入力は、前記操作用端末において受け取られる、
請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記操作用端末と前記携帯端末は通信可能に接続されている、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記携帯端末上に表示された前記実行ボタンが操作されたことの指示を、前記携帯端末から前記操作用端末へ送信するステップをさらに含む、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記実行ボタンが操作されたことの前記指示が前記操作用端末に受け取られたことを受けて、前記所定の動作工程が実施されるように制御するステップをさらに含む、請求項９に記載の方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置の動作方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置に適切な動作を行わせるために、インターロック制御が広く利用されている（例えば特許文献１参照）。インターロック制御は、装置にある動作を行わせようとする場合に、所定の条件が揃わなければその動作を実行させないように制御する手法である。インターロック制御の条件は、動作の種類ごとに様々であり、装置のオペレータは、インターロック制御によって動作が実行されなかった場合に、どの条件が不成立であったことにより目的の動作が実行されなかったのかを、表示画面等により確認する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１２－２２２０９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような場合に、オペレータが装置の異常の原因を容易に特定して、装置を迅速に異常から復帰できるようにすることが望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
［形態１］形態１によれば、半導体製造装置を異常状態から復帰させるための動作方法であって、前記半導体製造装置における１または複数の処理ユニットに関する１または複数のステータス情報を取得するステップと、前記１または複数のステータス情報に基づいて、前記半導体製造装置における所定の動作工程の実施可否を判定するステップであって、前記１または複数のステータス情報のうちの少なくとも１つが異常状態を示す場合に、前記所定の動作工程の実施が否と判定される、ステップと、前記所定の動作工程の実施が否と判定される場合、前記所定の動作工程が実施されないように制御するステップと、前記１または複数のステータス情報を異常状態に対応するものと正常状態に対応するものとに区別して表示するステップと、異常状態に対応するステータス情報を指定するユーザ入力を受け、前記１または複数の処理ユニットのうち前記指定されたステータス情報に対応する処理ユニットへの位置案内のためのＡＲまたはＭＲ画面を、携帯端末に表示させるステップと、を含む方法が提供される。
【０００６】
［形態２］形態２によれば、形態１の方法において、前記携帯端末上の前記ＡＲまたはＭＲ画面に、前記所定の動作工程の実施を指示するための実行ボタンを表示させるステップをさらに含む。
【０００７】
［形態３］形態３によれば、形態２の方法において、前記位置案内された処理ユニットの異常状態が解除されることを受けて、前記実行ボタンが表示される。
【０００８】
［形態４］形態４によれば、形態２の方法において、前記位置案内された処理ユニットの異常状態が継続している間は前記実行ボタンが無効化されて表示され、前記位置案内された処理ユニットの異常状態が解除されることを受けて、前記実行ボタンが有効化されて表示される。
【０００９】
［形態５］形態５によれば、形態２から４のいずれか１の方法において、前記１または
複数のステータス情報は、前記１または複数の処理ユニットに設けられたセンサから取得される。
【００１０】
［形態６］形態６によれば、形態５の方法において、前記半導体製造装置における前記所定の動作工程の実施を指示するユーザ入力を、前記半導体製造装置の操作用端末において受け取るステップをさらに含み、前記取得するステップにおいて、前記指示された動作工程に対応する処理ユニットの前記センサから、前記１または複数のステータス情報が取得される。
（【００１１】以降は省略されています）

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