特許ウォッチ

公開番号2025111820
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-30
出願番号2025079191,2022177317
出願日2025-05-12,2021-03-18
発明の名称透明導電性フィルムおよび透明導電性フィルムの製造方法
出願人日東電工株式会社
代理人弁理士法人いくみ特許事務所
主分類H01B 5/14 20060101AFI20250723BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】加熱安定性に優れる透明導電性フィルム、および、その透明導電性フィルムの製造方法を提供すること。
【解決手段】透明導電性フィルム1は、基材層2と、光透過性導電層3とを順に備える。基材層2は、樹脂層を含む。光透過性導電層3は、クリプトン原子を含み、かつ、アルゴン原子を含まない。光透過性導電層3の厚みは、40nm以上である。光透過性導電層3は、走査型蛍光X線分析装置で測定したX線スペクトルにおいて、28.2°近傍にピークを有する。光透過性導電層3が、結晶質であり、かつ、200nm以上の粒径を有する結晶粒を含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基材層と、光透過性導電層とを順に備える透明導電性フィルムであって、
前記基材層は、樹脂層を含み、
前記光透過性導電層は、クリプトン原子を含み、かつ、アルゴン原子を含まず、
前記光透過性導電層の厚みは、４０ｎｍ以上であり、
前記光透過性導電層は、走査型蛍光Ｘ線分析装置で測定したＸ線スペクトルにおいて、２８．２°近傍にピークを有し、
前記光透過性導電層が、結晶質であり、かつ、２００ｎｍ以上の粒径を有する結晶粒を含むことを特徴とする、透明導電性フィルム。
続きを表示（約 340 文字）【請求項２】
前記光透過性導電層の厚みが、６０ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることを特徴とする、請求項１に記載の透明導電性フィルム。
【請求項３】
前記光透過性導電層が、インジウムスズ複合酸化物を含むことを特徴とする、請求項１または２に記載の透明導電性フィルム。
【請求項４】
前記光透過性導電層が、パターン形状を有することを特徴とする、請求項１～３のいずれか一項に記載の透明導電性フィルム。
【請求項５】
請求項１～４のいずれか一項に記載の透明導電性フィルムを備えることを特徴とする、光電交換素子。
【請求項６】
請求項１～４のいずれか一項に記載の透明導電性フィルムを備えることを特徴とする、調光素子。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明導電性フィルム、および、その透明導電性フィルムの製造方法に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、透明導電性フィルムなどの光学フィルムは、タッチパネルなどの光学用途に用いられることが知られている。
【０００３】
このような透明導電性フィルムとして、フィルム基材と、フィルム基材上に形成されたインジウムスズ酸化物の多結晶層とを有する透明導電性フィルムが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
また、このような透明導電性フィルムは、スパッタリングにより、アルゴンガス存在下で、フィルム基材の表面に、インジウムスズ酸化物の非晶質層を配置した後、この非晶質層を加熱し、インジウムスズ酸化物の非晶質層を結晶化させることにより得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１４－１０３０６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
一方、このような多結晶層（結晶質）を、再度加熱する場合がある。例えば、タッチセンサや光電変換素子などを作成するにあたり必要となる部材を、透明導電性フィルム上に形成する際、加熱工程が必要になる場合がある。より具体的な一例として、例えば、タッチセンサを作成する際、多結晶層上に金属含有ペーストを塗布、加熱してタッチセンサの引き回し配線を形成する工程などが挙げられる。このような場合には、加熱前後において、多結晶層の抵抗値の変化を抑制する（加熱安定性に優れる）ことが要求される。
【０００７】
加熱安定性に優れる多結晶層は、例えば、ガラス基材などの無機基材を適用し、インジウムスズ酸化物層（透明導電層）をスパッタリング形成する際の基材温度を高温（例えば、２３０℃以上）に設定することで実現することができる。しかし、フィルム基材（高分子フィルム）は、耐熱性に劣り、熱による寸法変形が大きいため、基材温度を高温に設定することはできない（基材温度は、通常、２００℃未満、好ましくは、１８０℃以下に設定される。）このため、特許文献１を含む従来技術では、加熱安定性に十分優れる透明導電性フィルムを実現できていなかった。
【０００８】
本発明は、加熱安定性に優れる透明導電性フィルム、および、その透明導電性フィルムの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明［１］は、基材層と、光透過性導電層とを順に備え、前記基材層は、樹脂層を含み、前記光透過性導電層は、クリプトン原子および／またはキセノン原子を含む、透明導電性フィルムである。
【００１０】
本発明［２］は、前記光透過性導電層の厚みが、６０ｎｍ以上１００ｎｍ以下である、上記［１］に記載の透明導電性フィルムを含んでいる。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許