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公開番号2025115513
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-07
出願番号2024010001
出願日2024-01-26
発明の名称ひずみゲージ
出願人ミネベアミツミ株式会社
代理人個人,個人
主分類G01B 7/16 20060101AFI20250731BHJP(測定;試験)
要約【課題】経時的に使用した場合であっても電極のはんだ濡れ性に優れるひずみゲージを提供する。
【解決手段】本ひずみゲージは、基材と、前記基材上に形成された抵抗体と、前記基材上に形成され、前記抵抗体と電気的に接続される電極と、を有し、前記電極は金属層を有し、前記金属層の少なくとも上面は、導電性金属と前記導電性金属よりも耐食性の高い添加金属との合金を有し、前記電極は、その厚み方向について、前記合金における前記添加金属の含有率が異なる部分を含む。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
基材と、
前記基材上に形成された抵抗体と、
前記基材上に形成され、前記抵抗体と電気的に接続される電極と、を有し、
前記電極は金属層を有し、前記金属層の少なくとも上面は、導電性金属と前記導電性金属よりも耐食性の高い添加金属との合金を有し、
前記電極は、その厚み方向について、前記合金における前記添加金属の含有率が異なる部分を含むことを特徴とするひずみゲージ。
続きを表示（約 370 文字）【請求項２】
前記電極の前記合金を有する部分は、基材側から上面側に向かうほど、前記合金における前記添加金属の含有率が高い、請求項１に記載のひずみゲージ。
【請求項３】
前記合金を有する部分は、複数の層が積層された構造である、請求項１に記載のひずみゲージ。
【請求項４】
前記複数の層は、基材側の層から上面側の層に向かうほど、前記合金における前記添加金属の含有率が高い、請求項３に記載のひずみゲージ。
【請求項５】
前記添加金属がニッケル又は銀である、請求項１乃至４の何れか一項に記載のひずみゲージ。
【請求項６】
前記添加金属はニッケルであって、
前記合金における前記添加金属の含有率が、２０質量％以上４０質量％以下である、請求項５に記載のひずみゲージ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、ひずみゲージに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
測定対象物に貼り付けて、測定対象物のひずみを検出するひずみゲージが知られている。ひずみゲージは、基材と、基材上に形成された電極とを備える。基材としては、例えば、絶縁体または絶縁膜などが用いられている。また、電極として、基材側からチタン（Ｔｉ）、ニッケル（Ｎｉ）及び金（Ａｕ）が順次積層された電極なども開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平０６－３００６４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、経時的に使用した場合であっても電極のはんだ濡れ性に優れるひずみゲージを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本ひずみゲージは、基材と、前記基材上に形成された抵抗体と、前記基材上に形成され、前記抵抗体と電気的に接続される電極と、を有し、前記電極は金属層を有し、前記金属層の少なくとも上面は、導電性金属と前記導電性金属よりも耐食性の高い添加金属との合金を有し、
前記電極は、その厚み方向について、前記合金における前記添加金属の含有率が異なる部分を含む。
【発明の効果】
【０００６】
開示の技術によれば、経時的に使用した場合であっても電極のはんだ濡れ性に優れるひずみゲージを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
第１の実施の形態に係るひずみゲージを例示する平面図である。
第１の実施の形態に係るひずみゲージを例示する断面図である。
第１の実施の形態に係るひずみゲージの製造工程を例示する図（その１）である。
第１の実施の形態に係るひずみゲージの製造工程を例示する図（その２）である。
第１の実施の形態の変形例１に係るひずみゲージを例示する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。
【０００９】
〈第１の実施の形態〉
図１は、第１の実施の形態に係るひずみゲージを例示する平面図である。図２は、第１の実施の形態に係るひずみゲージを例示する断面図であり、図１のＡ－Ａ線に沿う断面を示している。図１及び図２を参照するに、ひずみゲージ１は、基材１０と、抵抗体３０と、電極４０Ａとを有している。
【００１０】
なお、本実施の形態では、便宜上、図２に示すひずみゲージ１の断面図に示す各部材において、基材１０から見て抵抗体３０が設けられている側と同じ方向にある側を上側、基材１０の抵抗体３０が設けられていない側と同じ方向にある側を下側と称することがある。又、各部位の上側の面を上面、下側の面を下面と称することがある。但し、ひずみゲージ１は天地逆の状態で用いることができ、又は任意の角度で配置することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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