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公開番号2025118141
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-13
出願番号2024013278
出願日2024-01-31
発明の名称研磨装置及び研磨方法
出願人AGC株式会社
代理人弁理士法人栄光事務所
主分類B24B 9/10 20060101AFI20250805BHJP(研削;研磨)
要約【課題】ガラス基板の端面を良好な表面性状に加工できる研磨装置及び研磨方法を提供する。
【解決手段】回転する円形状の研磨部材10の外周をガラス基板Gの端面Gaに接触させながら端面Gaに沿って相対的に移動させて端面Gaを研磨する研磨装置100であって、回転軸21を回転させる回転駆動部20と、回転駆動部20の回転軸21に設けられて研磨部材10が取り付けられるチャック30と、を備え、研磨部材10は、中心に把持穴11を有し、チャック30は、把持穴11の内周面に密着して研磨部材10を把持する把持部31を有する。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
回転する円形状の研磨部材の外周をガラス基板の端面に接触させながら前記端面に沿って相対的に移動させて前記端面を研磨する研磨装置であって、
回転軸を回転させる回転駆動部と、
前記回転駆動部の前記回転軸に設けられて前記研磨部材が取り付けられるチャックと、
を備え、
前記研磨部材は、中心に把持穴を有し、
前記チャックは、前記把持穴の内周面に密着して前記研磨部材を把持する把持部を有する、
研磨装置。
続きを表示（約 680 文字）【請求項２】
前記把持部における前記把持穴の内周面に密着するクランプ代Ｈと前記研磨部材の厚みＴとの比率Ｈ／Ｔが０．０２以上である、
請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
前記研磨部材の内径Ｄ２と前記研磨部材の外径Ｄ１との比率Ｄ２／Ｄ１が０．０１以上である、
請求項１に記載の研磨装置。
【請求項４】
前記把持穴の内周面と前記把持部の外周面とのクリアランスＬが０．００１ｍｍ以上０．２ｍｍ以下である、
請求項１に記載の研磨装置。
【請求項５】
前記把持部の先端部は、他の部分と同一径のストレート形状、他の部分よりも小径部分を有する段付き形状あるいは次第に窄まる先細り形状とされている、
請求項１に記載の研磨装置。
【請求項６】
前記チャックは、油圧によって前記把持部を径方向外方へ膨出させて前記研磨部材の前記把持穴の内周面に密着させる油圧式チャックまたは周方向に複数分割された円筒状のコレットからなる前記把持部の中心にドローバーを引き込んで拡径させて前記研磨部材の前記把持穴の内周面に密着させるコレットチャックである、
請求項１に記載の研磨装置。
【請求項７】
請求項１～６のいずれか一項に記載の研磨装置によって、前記ガラス基板の端面を研磨する、
研磨方法。
【請求項８】
前記ガラス基板の前記端面と前記研磨部材とを相対的に移動させる加工速度を、０．１ｍ／ｍｉｎ以上とする、
請求項７に記載の研磨方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨装置及び研磨方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
ガラス基板は、切断面である端面の傷等の欠陥から割れが生じることがある。このため、ガラス基板の端面に対して研磨加工が施される。
【０００３】
このガラス基板の端面に対して研磨加工を行う研磨装置としては、ガラス基板の端面に回転する砥石などの研磨部材を当接させながらガラス基板の端面に沿って相対移動させるものがある（例えば、特許文献１～５参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２３－１２６６６１号公報
特開２０００－１６７７５３号公報
実開平２－３１６５１号公報
国際公開第２０１１／１１３９８２号
特開２０１５－１８７０４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、研磨部材に芯ずれが生じていると、ガラス基板の端面を研磨した際に、図１２に示すように、ガラス基板Ｇの端面Ｇａに、微小な山部Ｐと谷部Ｖとが周期的に形成されるうねりが生じる。特に、生産性を高めるために、ガラス基板Ｇの端面Ｇａと研磨部材との加工時における相対移動速度である加工速度を速めると、図１３に示すように、ガラス基板Ｇの端面Ｇａにおけるうねりが大きくなる。
【０００６】
そして、ガラス基板Ｇの端面Ｇａに大きなうねりが生じると、仕上げ用の研磨部材による仕上げ加工後に良好な表面性状が得られないことがある。例えば、うねりの谷部Ｖでは、研磨部材との接触圧が低下して仕上げが不十分となり、うねりの山部Ｐでは研磨部材との接触圧が高くなり、高負荷による熱で剥離、焼け、微細な欠けが生じるおそれがある。
【０００７】
そこで本発明は、ガラス基板の端面を良好な表面性状に加工できる研磨装置及び研磨方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は下記構成からなる。
（１）回転する円形状の研磨部材の外周をガラス基板の端面に接触させながら前記端面に沿って相対的に移動させて前記端面を研磨する研磨装置であって、
回転軸を回転させる回転駆動部と、
前記回転駆動部の前記回転軸に設けられて前記研磨部材が取り付けられるチャックと、
を備え、
前記研磨部材は、中心に把持穴を有し、
前記チャックは、前記把持穴の内周面に密着して前記研磨部材を把持する把持部を有する、
研磨装置。
（２）上記の研磨装置によって、前記ガラス基板の端面を研磨する、
研磨方法。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、ガラス基板の端面を良好な表面性状に加工できる研磨装置及び研磨方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
図１は、本実施形態に係る研磨装置の側面図である。
図２は、研磨装置によるガラス基板の研磨について説明する模式図である。
図３は、本実施形態に係る研磨装置を説明する概略側面図である。
図４は、本実施形態に係る研磨装置の研磨部材及びチャックを説明する概略斜視図である。
図５Ａは、研磨したガラス基板の端面の模式図である。
図５Ｂは、研磨したガラス基板の端面の模式図である。
図５Ｃは、研磨したガラス基板の端面の模式図である。
図６は、研磨装置の各寸法を説明する概略構成図である。
図７は、参考例に係る研磨装置を説明する概略側面図である。
図８は、参考例に係る研磨装置におけるアーバーが取り付けられた研磨部材及びチャックを説明する概略斜視図である。
図９は、外周振れ寸法の繰り返し精度の結果を示す箱ひげ図である。
図１０は、例１の研磨装置で研磨したガラス基板の端面のうねりを示すグラフである。
図１１は、例２の研磨装置で研磨したガラス基板の端面のうねりを示すグラフである。
図１２は、研磨したガラス基板の端面に生じるうねりを示す模式図である。
図１３は、研磨したガラス基板の端面に生じるうねりを示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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