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公開番号2025119813
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-15
出願番号2024014846
出願日2024-02-02
発明の名称制御装置、バーンイン装置、及びプログラム
出願人エスペック株式会社
代理人弁理士法人三協国際特許事務所
主分類G01R 31/26 20200101AFI20250807BHJP(測定;試験)
要約【課題】バーンイン試験の試験時間を短縮することが可能な制御装置を得る。
【解決手段】制御装置は、バーンインボード上に配置された複数のソケットに接続される複数の半導体素子を試験対象として、バーンイン試験を実行する制御装置であって、各半導体素子の読み出し信号及び書き込み信号の少なくとも一方を示すパルス信号の周期を、前記バーンインボード上における各ソケットの配置位置に応じて設定する設定部と、前記設定部によって設定された前記周期に基づいて、前記複数の半導体素子にデータの読み出し動作及び書き込み動作の少なくとも一方を実行させる制御部と、を備える。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
バーンインボード上に配置された複数のソケットに接続される複数の半導体素子を試験対象として、バーンイン試験を実行する制御装置であって、
各半導体素子の読み出し信号及び書き込み信号の少なくとも一方を示すパルス信号の周期を、前記バーンインボード上における各ソケットの配置位置に応じて設定する設定部と、
前記設定部によって設定された前記周期に基づいて、前記複数の半導体素子にデータの読み出し動作及び書き込み動作の少なくとも一方を実行させる制御部と、
を備える、制御装置。
続きを表示（約 790 文字）【請求項２】
前記バーンイン試験で用いられる前記バーンインボードは、前記制御装置との間で信号の入出力を行うための複数の端子を有する接続端子を備えるものであり、
前記設定部は、
前記接続端子と各ソケットとを接続する配線の配線長に応じて、前記複数のソケットを複数のグループに分類し、
前記複数のグループのグループ別に前記周期を設定する、
請求項１に記載の制御装置。
【請求項３】
前記設定部は、前記配線長が短いグループほど前記周期を短く設定し、前記配線長が長いグループほど前記周期を長く設定する、
請求項２に記載の制御装置。
【請求項４】
前記設定部は、前記バーンイン試験の実行より前にキャリブレーションを実行することによって、各ソケットの配置位置に応じて前記周期を設定する、
請求項１に記載の制御装置。
【請求項５】
試験対象である複数の半導体素子が接続される複数のソケットが配置されたバーンインボードを収容可能な試験槽と、
請求項１～４のいずれか一つに記載の制御装置と、
を備える、バーンイン装置。
【請求項６】
バーンインボード上に配置された複数のソケットに接続される複数の半導体素子を試験対象としてバーンイン試験を実行する制御装置に搭載される情報処理装置に、処理を実行させるためのプログラムであって、
前記処理は、
各半導体素子の読み出し信号及び書き込み信号の少なくとも一方を示すパルス信号の周期を、前記バーンインボード上における各ソケットの配置位置に応じて設定し、
設定された前記周期に基づいて、前記複数の半導体素子にデータの読み出し動作及び書き込み動作の少なくとも一方を実行させる、
プログラム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、制御装置、バーンイン装置、及びプログラムに関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
電子デバイスの出荷前試験の一つとして、バーンイン試験が知られている。バーンイン試験は、バーンインボード上の複数のソケットに接続された複数の電子デバイスを試験対象として、高温環境下で電気的ストレスを印加することによって、初期不良の電子デバイスのスクリーニングを行う。
【０００３】
特許文献１には、加熱槽と、バーンインボードと、中継ボードと、制御装置としてのドライバーボードとを備えるバーンイン装置が開示されている。バーンインボードは、試験対象である複数の電子デバイスが複数のソケットに装着された状態で、加熱槽内に収容される。中継ボードは、加熱槽の側壁を貫通して配置されている。中継ボードの槽側の接続端子は、バーンインボードのボード側の接続端子に接続される。ドライバーボードは、加熱槽に隣接する背面室内に配置されており、バーンインボードと反対側で中継ボードに接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２２－１３８６０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
バーンインボードのコネクタとソケットとを接続する配線の配線長は、コネクタに近いソケットとコネクタから遠いソケットとで大きく異なる。特に、大型化されたバーンインボードでは、この配線長の差異は顕著となる。
【０００６】
バーンイン試験の試験対象がフラッシュメモリ等の半導体素子である場合、バーンイン装置は、半導体素子へのデータの書き込みと、半導体素子からのデータの読み出しとを、繰り返し実行する。データの読み出し動作において、制御装置は、読み出し信号を、中継ボードを介して半導体素子に入力する。半導体素子は、入力された読み出し信号に応答して、読み出し信号に対応するデータを読み出し、その読み出したデータを、中継ボードを介して制御装置に入力する。例えばデータ格納単位が８ビットである半導体素子からデータを読み出す場合、制御装置は、半導体素子の選択信号と読み出し信号とを示すパルス信号を、半導体素子に入力する。半導体素子は、入力されたパルス信号に応じて、二値論理の「０」又は「１」を示す８個のデータを読み出す。なお、データの書き込み動作の場合は、書き込み信号が使用される。
【０００７】
データの読み出し動作及び書き込み動作における半導体素子の応答速度は、上記配線長が短いソケットに接続された半導体素子ほど速くなり、上記配線長が長いソケットに接続された半導体素子ほど遅くなる。
【０００８】
背景技術に係るバーンイン装置では、読み出し動作及び書き込み動作におけるデータの誤りを防止すべく、上記パルス信号の周期は、最も遅い応答速度に対応して設定される。そして、その設定された周期は、バーンインボード上の全ての半導体素子に対して共通に適用される。従って、上記配線長が短いソケットに接続された半導体素子にとっては、パルス信号の周期が過剰に長く設定されることとなり、全体としてバーンイン試験の試験時間が長期化する。
【０００９】
本発明は、バーンイン試験の試験時間を短縮することが可能な、制御装置、バーンイン装置、及びプログラムを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の第１態様に係る制御装置は、バーンインボード上に配置された複数のソケットに接続される複数の半導体素子を試験対象として、バーンイン試験を実行する制御装置であって、各半導体素子の読み出し信号及び書き込み信号の少なくとも一方を示すパルス信号の周期を、前記バーンインボード上における各ソケットの配置位置に応じて設定する設定部と、前記設定部によって設定された前記周期に基づいて、前記複数の半導体素子にデータの読み出し動作及び書き込み動作の少なくとも一方を実行させる制御部と、を備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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