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公開番号2025132779
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-10
出願番号2024030568
出願日2024-02-29
発明の名称圧電デバイス
出願人日清紡マイクロデバイス株式会社,株式会社デンソー,株式会社ミライズテクノロジーズ,トヨタ自動車株式会社
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H10N 30/30 20230101AFI20250903BHJP()
要約【課題】音響圧力に対して圧電膜を適切に歪ませることができる圧電デバイスを提供する。
【解決手段】本発明の1つの側面にかかる圧電デバイスは、第1の主面と前記第1の主面の反対側の第2の主面とそれぞれが前記第1の主面から前記第2の主面まで貫通し2以上の環状列を形成する複数のスリットとを有する圧電膜と、前記圧電膜の外縁を保持する保持部と、前記第1の主面における前記複数のスリット間の領域を覆う第1の電極パターンと、前記第2の主面における前記複数のスリット間の領域を覆う第2の電極パターンとを有する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
第１の主面と前記第１の主面の反対側の第２の主面とそれぞれが前記第１の主面から前記第２の主面まで貫通し２以上の環状列を形成する複数のスリットとを有する圧電膜と、
前記圧電膜の外縁を保持する保持部と、
前記第１の主面における前記複数のスリット間の領域を覆う第１の電極パターンと、
前記第２の主面における前記複数のスリット間の領域を覆う第２の電極パターンと、
を備えた圧電デバイス。
続きを表示（約 750 文字）【請求項２】
前記複数のスリットは、千鳥状に配される
請求項１に記載の圧電デバイス。
【請求項３】
前記第１の電極パターンは、前記第１の主面の同一の環状列における複数のスリット間の領域を覆い、
前記第２の電極パターンは、前記第２の主面の同一の環状列における複数のスリット間の領域を覆う
請求項１に記載の圧電デバイス。
【請求項４】
前記第１の電極パターンは、前記第１の主面の同一の環状列における前記複数のスリット間の周辺の領域をさらに覆い、
前記第２の電極パターンは、前記第２の主面の同一の環状列における前記複数のスリット間の周辺の領域をさらに覆う
請求項３に記載の圧電デバイス。
【請求項５】
前記環状列の列数、列間隔、列内における各スリットの長さは、要求される性能に応じて決められる
請求項１に記載の圧電デバイス。
【請求項６】
前記保持部は、前記圧電膜の外縁を全周で保持する
請求項１に記載の圧電デバイス。
【請求項７】
前記保持部は、前記圧電膜の外縁を全周の一部で保持する
請求項１に記載の圧電デバイス。
【請求項８】
前記スリットの幅は、周方向について略一定である
請求項１に記載の圧電デバイス。
【請求項９】
前記スリットは、第１の周方向位置で第１の幅を有し、第２の周方向位置で第２の幅を有する
請求項１に記載の圧電デバイス。
【請求項１０】
前記スリットの曲率は、周方向について略一定である
請求項１に記載の圧電デバイス。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本明細書の実施形態は、圧電デバイスに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
圧電膜を有する圧電デバイスは、圧電膜が音響圧力を受けると、圧電膜が歪み、その歪み量に応じて圧電膜内に電圧が発生する。圧電デバイスでは、圧電膜の電圧変化を信号として取り出すことで、音響圧力に応じた信号を得ることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
国際公開第２０２１／０２４８６５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
圧電デバイスでは、圧電膜による音響圧力の検知特性を向上させるためには、音響圧力に対して圧電膜を適切に歪ませることが望まれる。
【０００５】
本発明の目的は、音響圧力に対して圧電膜を適切に歪ませることができる圧電デバイスを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の１つの側面にかかる圧電デバイスは、第１の主面と前記第１の主面の反対側の第２の主面とそれぞれが前記第１の主面から前記第２の主面まで貫通し２以上の環状列を形成する複数のスリットとを有する圧電膜と、前記圧電膜の外縁を保持する保持部と、前記第１の主面における前記複数のスリット間の領域を覆う第１の電極パターンと、前記第２の主面における前記複数のスリット間の領域を覆う第２の電極パターンとを有する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、音響圧力に対して圧電膜を適切に歪ませることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
実施形態に係る圧電デバイスの構成を示す斜視図。
実施形態に係る圧電デバイスの構成を示す平面図。
実施形態に係る圧電デバイスの構成を示す断面図。
実施形態に係る圧電デバイスの構成を示す断面図。
実施形態における電極パターン及び圧電膜の構成を示す平面方向の断面図。
実施形態の第１の変形例に係る圧電デバイスの構成を示す平面図。
実施形態の第２の変形例に係る圧電デバイスの構成を示す平面図。
実施形態の第３の変形例に係る圧電デバイスの構成を示す平面図。
実施形態の第４の変形例に係る圧電デバイスの構成を示す平面図。
実施形態の第５の変形例に係る圧電デバイスの構成を示す平面図。
実施形態の第６の変形例における電極パターン及び圧電膜の構成を示す平面方向の断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照しながら、圧電デバイスの実施形態について詳細に説明する。以下の実施形態では、同一の参照符号を付した部分は同様の動作を行うものとして、重複する説明は適宜省略する。
【００１０】
（実施形態）
実施形態に係る圧電デバイスは、圧電膜を有し、圧電膜が音響圧力を受けると、圧電膜が歪み、その歪み量に応じて圧電膜内に電圧が発生し、圧電膜の電圧変化を信号として出力するが、音響圧力に対して圧電膜を適切に歪ませるための工夫が施される。
（【００１１】以降は省略されています）

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