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公開番号2025139462
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-26
出願番号2024038414
出願日2024-03-12
発明の名称発光装置、ウェアラブルデバイス、表示装置、光電変換装置、および電子機器
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類H10K 59/124 20230101AFI20250918BHJP()
要約【課題】発光装置における画素内の耐圧維持と画素サイズの縮小との両立に有利な技術を提供する。
【解決手段】基板に配された複数の画素を有する発光装置は、前記複数の画素の各々は、互いに異なる導電型で隣り合う2つの領域同士を分離するトレンチ型の第1分離部と、互いに同じ導電型で隣り合う2つの領域同士を分離するトレンチ型の第2分離部とを有し、前記第2分離部の深さは前記第1分離部の深さよりも大きい。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
基板に配された複数の画素を有する発光装置であって、
前記複数の画素の各々は、互いに異なる導電型で隣り合う２つの領域同士を分離するトレンチ型の第１分離部と、互いに同じ導電型で隣り合う２つの領域同士を分離するトレンチ型の第２分離部とを有し、
前記第２分離部の深さは前記第１分離部の深さよりも大きい、ことを特徴とする発光装置。
続きを表示（約 920 文字）【請求項２】
前記第２分離部の深さは、前記第１分離部の深さよりも０．３μｍ以上大きい、ことを特徴とする請求項１に記載の発光装置。
【請求項３】
前記基板の表面と平行な方向において、前記第１分離部の開口幅は前記第２分離部の開口幅よりも狭い、ことを特徴とする請求項１に記載の発光装置。
【請求項４】
前記第１分離部と前記第２分離部とは、前記基板の表面からの高さが互いに異なる、ことを特徴とする請求項１に記載の発光装置。
【請求項５】
前記第２分離部は、互いに積層された上層部分および下層部分を含み、
前記下層部分は、前記上層部分の底面の一部に接続されている、ことを特徴とする請求項１に記載の発光装置。
【請求項６】
前記下層部分の深さは、前記上層部分の深さよりも大きい、ことを特徴とする請求項５に記載の発光装置。
【請求項７】
前記下層部分の最大幅は、前記上層部分の前記底面の幅よりも小さい、ことを特徴とする請求項５に記載の発光装置。
【請求項８】
前記複数の画素の各々は、第１半導体領域と、前記第１半導体領域と導電型が同じである第２半導体領域と、前記第１半導体領域と導電型が異なる第３半導体領域とを有し、
互いに隣り合って配された前記第１半導体領域と前記第３半導体領域との間に前記第１分離部を有し、互いに隣り合って配された前記第１半導体領域と前記第２半導体領域との間に前記第２分離部を有する、ことを特徴とする請求項１に記載の発光装置。
【請求項９】
前記複数の画素の各々は、発光素子と、前記発光素子を駆動する画素回路とを有し、
前記画素回路は、画素へのデータの入力を制御する選択トランジスタと、入力されたデータに応じて前記発光素子を駆動する駆動トランジスタとを備える、ことを特徴とする請求項８に記載の発光装置。
【請求項１０】
互いに隣り合って配された２つの前記駆動トランジスタの間に前記第２分離部を有する、ことを特徴とする請求項９に記載の発光装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、発光装置、ウェアラブルデバイス、表示装置、光電変換装置、および電子機器に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ素子は、消費電力が小さく応答速度が速い事から液晶に代わる発光装置（表示装置）の主役となりつつあり、更なる高性能化が求められている。有機ＥＬ素子は、有機層を発光させる画素アレイを有する。画素アレイには、様々な輝度信号の電圧に応じた電流を流すための複数のトランジスタが設けられており、複数のトランジスタ間を電気的に分離するために溝構造のＳＴＩ（Shallow Trench Isolation）を使用することが知られている。特許文献１には、画素内において一定の深さでＳＴＩを構成することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－７１３２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示された構成では、今後の高精細化により画素密度を増加させる場合、画素サイズを縮小させるために、画素アレイのトランジスタ間の分離幅の縮小が要求されうる。この要求に応えるために単純にトランジスタ間の分離幅を縮小しただけでは、画素内の耐圧の維持が困難となり、画素間のリーク電流による表示コントラストの低下などの画質劣化（即ち、表示品位の低下）が生じる虞がある。
【０００５】
そこで、本発明は、発光装置における画素内の耐圧維持と画素サイズの縮小との両立に有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての発光装置は、基板に配された複数の画素を有する発光装置であって、前記複数の画素の各々は、互いに異なる導電型で隣り合う２つの領域同士を分離するトレンチ型の第１分離部と、互いに同じ導電型で隣り合う２つの領域同士を分離するトレンチ型の第２分離部とを有し、前記第２分離部の深さは前記第１分離部の深さよりも大きい、ことを特徴とする。
【０００７】
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされるであろう。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、例えば、発光装置における画素内の耐圧維持と画素サイズの縮小との両立に有利な技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
第１実施形態の発光装置の構成例を示すブロック図
第１実施形態の発光装置における１つの画素を拡大して示した平面図
第１実施形態の発光装置における各画素の断面図
第１素子分離部および第２素子分離部を半導体基板に形成する方法を説明するための図
第２実施形態の発光装置における各画素の断面図
各実施形態の発光装置の画素の構成例を示す断面図
各実施形態の発光装置を用いた表示装置の一例を示す図
各実施形態の発光装置を用いた光電変換装置の一例を示す図
各実施形態の発光装置を用いた電子機器の一例を示す図
各実施形態の発光装置を用いた表示装置の一例を示す図
各実施形態の発光装置を用いたウェアラブルデバイスの一例を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
（【００１１】以降は省略されています）

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