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公開番号2025159148
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-17
出願番号2025135947,2022163253
出願日2025-08-18,2022-10-11
発明の名称感放射線性組成物、硬化膜及びその製造方法、液晶表示装置並びに有機EL表示装置
出願人JSR株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G03F 7/027 20060101AFI20251009BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】現像密着性及び硬化密着性に優れた膜を形成することができる感放射線性組成物を提供すること。
【解決手段】(A-1)式(1)で表される基又は酸解離性基を有する構造単位を含む重合体と、(B-1)光酸発生剤と、(C-1)溶剤と、(E)アルコキシシリル基、オキセタニル基、メルカプト基、(メタ)アクリロイル基、ビニル基及びアミノ基よりなる群から選択される少なくとも1種の官能基(X)とカルド構造とを有する化合物と、を含有する感放射線性組成物とする。式(1)中、R¹、R²及びR³は、水素原子、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1～6のアルコキシ基、炭素数1～10のアルキル基又はフェニル基である。ただし、R¹、R²及びR³のうち少なくとも1つは炭素数1～6のアルコキシ基である。
<com:Image com:imageContentCategory="Drawing"> <com:ImageFormatCategory>TIFF</com:ImageFormatCategory> <com:FileName>2025159148000029.tif</com:FileName> <com:HeightMeasure com:measureUnitCode="Mm">20</com:HeightMeasure> <com:WidthMeasure com:measureUnitCode="Mm">169</com:WidthMeasure> </com:Image> 【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
（Ａ－１）下記式（１）で表される基又は酸解離性基を有する構造単位を含む重合体と、
（Ｂ－１）光酸発生剤と、
（Ｃ－１）溶剤と、
（Ｅ）アルコキシシリル基、オキセタニル基、メルカプト基、（メタ）アクリロイル基、ビニル基及びアミノ基よりなる群から選択される少なくとも１種の官能基（Ｘ）と、カルド構造とを有する化合物（ただし、下記式（１）で表される基を有する構造単位を含む重合体に該当する化合物を除く）と、
を含有する、感放射線性組成物。
TIFF
2025159148000025.tif
20
169
（式（１）中、Ｒ
１
、Ｒ
２
及びＲ
３
は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のアルコキシ基、炭素数１～１０のアルキル基、又はフェニル基である。ただし、Ｒ
１
、Ｒ
２
及びＲ
３
のうち少なくとも１つは、炭素数１～６のアルコキシ基である。「＊」は、結合手であることを表す。）
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
前記（Ａ－１）重合体が架橋性基を有する構造単位を更に含むか、又は、前記（Ａ－１）重合体とは異なる重合体であって、かつ架橋性基を有する構造単位を含む重合体を更に含む、請求項１に記載の感放射線性組成物。
【請求項３】
前記架橋性基は、オキシラニル基、オキセタニル基、「－ＮＨ－ＣＨ
２
－Ｏ－Ｒ
１０
」で表される基（ただし、Ｒ
１０
は水素原子又は炭素数１～２０の１価の飽和脂肪族炭化水素基）、及びエチレン性不飽和基よりなる群から選択される少なくとも１種である、請求項２に記載の感放射線性組成物。
【請求項４】
上記式（１）で表される基は、芳香環基又は鎖状炭化水素基に結合している、請求項１に記載の感放射線性組成物。
【請求項５】
上記式（１）で表される基を有する構造単位は、下記式（３－１）で表される基、下記式（３－２）で表される基及び下記式（３－３）で表される基よりなる群から選択される少なくとも１種を有する、請求項１に記載の感放射線性組成物。
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2025159148000026.tif
33
169
（式（３－１）、式（３－２）及び式（３－３）中、Ａ
１
及びＡ
２
は、それぞれ独立して、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のアルキル基又は炭素数１～６のアルコキシ基である。ｎ１は０～４の整数である。ｎ２は０～６の整数である。ただし、ｎ１が２以上の場合、複数のＡ
１
は、互いに同一の基又は異なる基である。ｎ２が２以上の場合、複数のＡ
２
は、互いに同一の基又は異なる基である。Ｒ
６
は、アルカンジイル基である。Ｒ
１
、Ｒ
２
及びＲ
３
は、上記式（１）と同義である。「＊」は、結合手であることを表す。）
【請求項６】
前記光酸発生剤は、オキシムスルホネート化合物及びスルホンイミド化合物よりなる群から選択される少なくとも１種を含む、請求項１に記載の感放射線性組成物。
【請求項７】
酸拡散制御剤を更に含有する、請求項１に記載の感放射線性組成物。
【請求項８】
（Ａ－２）酸基を有する構造単位を含む重合体と、
（Ｂ－２）キノンジアジド化合物と、
（Ｃ－２）溶剤と、
（Ｅ）アルコキシシリル基、オキセタニル基、メルカプト基、（メタ）アクリロイル基、ビニル基及びアミノ基よりなる群から選択される少なくとも１種の官能基（Ｘ）と、カルド構造とを有する化合物と、
を含有する、感放射線性組成物。
【請求項９】
前記（Ａ－２）重合体が架橋性基を有する構造単位を更に含むか、又は、前記（Ａ－２）重合体とは異なる重合体であって、かつ架橋性基を有する構造単位を含む重合体を更に含む、請求項８に記載の感放射線性組成物。
【請求項１０】
前記架橋性基は、オキシラニル基、オキセタニル基、「－ＮＨ－ＣＨ
２
－Ｏ－Ｒ
１０
」で表される基（ただし、Ｒ
１０
は水素原子又は炭素数１～２０の１価の飽和脂肪族炭化水素基）、及びエチレン性不飽和基よりなる群から選択される少なくとも１種である、請求項９に記載の感放射線性組成物。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、感放射線性組成物、硬化膜及びその製造方法、半導体素子並びに表示素子に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置等の表示装置が有する硬化膜（例えば、層間絶縁膜やスペーサー、保護膜等）は一般に、重合体成分と感放射線性化合物（例えば、光酸発生剤や光重合開始剤等）とを含む感放射線性組成物を用いて形成される（例えば、特許文献１～３参照）。例えば、パターン形成された硬化膜は、感放射線性組成物により形成された塗膜に対し放射線照射及び現像処理を施し、パターン形成を行った後、加熱処理を行い熱硬化させることにより形成することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１７－１０７０２４号公報
国際公開第２０１１／０６５２１５号
特開２００３－５３５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
放射線照射後の塗膜と基板との密着性が十分でない場合、現像処理の際に膜と基板との界面から現像液が浸入し、膜のパターン剥がれが生じることがある。特に近年、表示装置の更なる高品質化が求められており、表示装置の更なる高品質化の要求によるパターンの細線化に伴い、現像処理時での膜のパターン剥がれが生じやすい傾向がある。
【０００５】
また、熱硬化のための加熱処理の際には、加熱による膜収縮時の応力によって膜が基板から剥がれてしまうことがある。製造歩留まりの低下を抑制する観点から、感放射線性組成物としては、現像処理の際に膜と基板との剥がれが生じにくく（すなわち、現像密着性が良好であり）、かつ熱硬化時に膜が基板から剥がれにくい（すなわち、硬化密着性が良好である）ことが求められる。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、現像密着性及び硬化密着性に優れた膜を形成することができる感放射線性組成物を提供することを主たる目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、特定の化合物を感放射線性組成物に配合することにより、上記課題を解決できることを見出した。すなわち、本発明によれば、以下の感放射線性組成物、硬化膜及びその製造方法、半導体素子並びに表示素子が提供される。
【０００８】
［１］（Ａ－１）下記式（１）で表される基又は酸解離性基を有する構造単位を含む重合体と、
（Ｂ－１）光酸発生剤と、
（Ｃ－１）溶剤と、
（Ｅ）アルコキシシリル基、オキセタニル基、メルカプト基、（メタ）アクリロイル基、ビニル基及びアミノ基よりなる群から選択される少なくとも１種の官能基（Ｘ）と、カルド構造とを有する化合物（ただし、下記式（１）で表される基を有する構造単位を含む重合体に該当する化合物を除く）と、
を含有する、感放射線性組成物。
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20
168
（式（１）中、Ｒ
１
、Ｒ
２
及びＲ
３
は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のアルコキシ基、炭素数１～１０のアルキル基、又はフェニル基である。ただし、Ｒ
１
、Ｒ
２
及びＲ
３
のうち少なくとも１つは、炭素数１～６のアルコキシ基である。「＊」は、結合手であることを表す。）
【０００９】
［２］（Ａ－２）酸基を有する構造単位を含む重合体と、
（Ｂ－２）キノンジアジド化合物と、
（Ｃ－２）溶剤と、
（Ｅ）アルコキシシリル基、オキセタニル基、メルカプト基、（メタ）アクリロイル基、ビニル基及びアミノ基よりなる群から選択される少なくとも１種の官能基（Ｘ）と、カルド構造とを有する化合物と、
を含有する、感放射線性組成物。
【００１０】
［３］（Ａ－３－１）酸基を有する構造単位を含む重合体と、
（Ａ－３－２）重合性単量体と、
（Ｂ－３）光重合開始剤と、
（Ｃ－３）溶剤と、
（Ｅ）アルコキシシリル基、オキセタニル基、メルカプト基、（メタ）アクリロイル基、ビニル基及びアミノ基よりなる群から選択される少なくとも１種の官能基（Ｘ）と、カルド構造とを有する化合物と、
を含有する、感放射線性組成物。
（【００１１】以降は省略されています）

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