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公開番号2025100095
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-03
出願番号2023217201
出願日2023-12-22
発明の名称揺動アクチュエータ及び光走査装置
出願人ミツミ電機株式会社
代理人弁理士法人鷲田国際特許事務所
主分類G02B 26/10 20060101AFI20250626BHJP(光学)
要約【課題】小型化が可能であり、ミラー等の可動対象物を2軸で安定して回転支持する。
【解決手段】第1コイルを有する固定部と、第1コイルとコイル軸方向で対向する第1磁石を有し、固定部に第1軸周りで往復回転自在に支持される第1可動部と、第1軸と直交する第2軸周りで往復回転自在に第1可動部に支持される第2可動部と、を有し、第1可動部は、第1軸の延在方向で互いに異なる磁極が間隙を空けて対向するように配置された複数の第2磁石を有し、第2可動部は、間隙に一辺部が配置される第2コイルを有し、第1コイル及び第2コイルの通電により第1磁石及び第2磁石と協働して、可動対象物を、互いに直交する第1軸と第2軸周りで揺動する。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
第１コイルを有する固定部と、
前記第１コイルとコイル軸方向で対向する第１磁石を有し、前記固定部に第１軸周りで往復回転自在に支持される第１可動部と、
可動対象物に接続され、前記第１軸と直交する第２軸周りで往復回転自在に前記第１可動部に支持される第２可動部と、
を有し、
前記第１可動部は、前記第１軸の延在方向で互いに異なる磁極が間隙を空けて対向するように配置された複数の第２磁石を有し、
前記第２可動部は、前記間隙に一辺部が配置される第２コイルを有し、前記第１コイル及び前記第２コイルの通電により前記第１磁石及び前記第２磁石と協働して、前記可動対象物を、互いに直交する前記第１軸と前記第２軸周りで揺動する、
揺動アクチュエータ。
続きを表示（約 510 文字）【請求項２】
前記固定部は、移動する前記第１可動部に当接して前記第１可動部の移動を減衰する減衰部材を有する、
請求項１記載の揺動アクチュエータ。
【請求項３】
前記第１コイルは、前記第１可動部の両側面の夫々に対向配置される一対のコイルであり、
前記第１磁石は、前記第１可動部の前記両側面に夫々設けられ、
複数の第２磁石は、前記第１軸方向に並ぶ３つの磁石であり、前記３つの第２磁石のうちの中央の磁石が一対の前記第１磁石で挟む位置に位置される、
請求項１記載の揺動アクチュエータ。
【請求項４】
前記第２可動部は前記第１可動部に板ばねにより前記第２軸周りに往復回転自在に支持されている、
請求項１記載の揺動アクチュエータ。
【請求項５】
前記第１可動部は、前記固定部に軸着により前記第１軸周りに往復回動自在に支持されている、
請求項４記載の揺動アクチュエータ。
【請求項６】
請求項１記載の揺動アクチュエータを具備し、
前記可動対象物は、走査光を反射するミラーである、
光走査装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、揺動アクチュエータ及び光走査装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、複合機、レーザービームプリンタ、レーザー加工機、レーザーマーカー等のスキャナ装置に用いられるアクチュエータとして、往復回転駆動式、つまり揺動式のアクチュエータ（以下、「揺動アクチュエータ」と称する）が知られている。なお、レーザー加工機は、プリント基板のレーザー穴明け加工等である。
【０００３】
揺動アクチュエータは、例えば、ミラーが取り付けられる回転軸と、コイルマグネットを有する駆動部とを備え、コイルに通電して、回転軸を往復回転駆動させることにより、ミラーによるレーザー光の反射角度を変更して、対象物に対する光走査を実現する。
【０００４】
特許文献１に示す揺動アクチュエータでは、水平に延びる回転軸にミラーとコイルが取り付けられ、互いのＳ極とＮ極とを間隙を開けて対向配置したマグネット対が固定部に設けられている。コイルにおいて回転軸方向と平行な両側部の夫々は、マグネット対のＳ極とＮ極との間隙に夫々位置するように構成され、計４つのマグネットが固定部に設けられコイルに通電することにより、ミラーは揺動する。
【０００５】
また、特許文献１のように、ミラーを１軸で回動させる構造の他に、ミラーを２軸で回転させる光走査装置が知られている。例えば、特許文献２の光走査装置では、ミラーは、第１軸の周りに揺動するように設けられていると共に、第１軸に直交する第２軸の周りで揺動するように設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２００３－４３４０５号公報
特開２０１７－２２７７５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、近年、ミラーを２軸で回転させる装置において、装置自体を、よりコンパクトに小型化しても安定して駆動させることが望まれている。
特許文献２では、２軸でミラーを回転駆動させる具体的な構成は開示されていない。
また、特許文献１においてベース自体を回転軸と直交する軸で回転する構造が考えられるものの、安定してミラーを２軸回転で支持する構造は、装置自体が大きくなる。
【０００８】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、小型化が可能であり、ミラー等の可動対象物を２軸で安定して回転支持できる揺動アクチュエータ及び走査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の揺動アクチュエータは、
第１コイルを有する固定部と、
前記第１コイルとコイル軸方向で対向する第１磁石を有し、前記固定部に第１軸周りで往復回転自在に支持される第１可動部と、
可動対象物に接続され、前記第１軸と直交する第２軸周りで往復回転自在に前記第１可動部に支持される第２可動部と、
を有し、
前記第１可動部は、前記第１軸の延在方向で互いに異なる磁極が間隙を空けて対向するように配置された複数の第２磁石を有し、
前記第２可動部は、前記間隙に一辺部が配置される第２コイルを有し、前記第１コイル及び前記第２コイルの通電により前記第１磁石及び前記第２磁石と協働して、前記可動対象物を、互いに直交する前記第１軸と前記第２軸周りで揺動する構成を採る。
【００１０】
本発明の光走査装置は、上記構成の揺動アクチュエータを具備し、
前記可動対象物は、走査光を反射するミラーである構成を採る。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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