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公開番号2025117307
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-12
出願番号2024012070
出願日2024-01-30
発明の名称計測方法及び計測装置
出願人株式会社Magnolia White
代理人弁理士法人スズエ国際特許事務所
主分類G01B 15/00 20060101AFI20250804BHJP(測定;試験)
要約【課題】表示装置の信頼性の低下を抑制することが可能な計測方法及び計測装置を提供する。
【解決手段】実施形態に係る計測方法は、基材上に配置された下部と、下部の側面から突出した上部とを有する隔壁を形成することと、基材に対して垂直な第1方向から傾斜した複数の第2方向から前記隔壁に向かって一次電子を含む電子ビームを照射することによって発生した二次電子を検出することによって生成された複数の画像を取得することと、取得された複数の画像を解析することと、解析結果に基づいて、下部の側面から上部の端部が突出している突出量と下部の第1方向の長さとの比を表すための第1角度を計測することとを具備する。
【選択図】図14
特許請求の範囲【請求項１】
基材上に配置された下部と、前記下部の側面から突出した上部とを有する隔壁を形成することと、
前記基材に対して垂直な第１方向から傾斜した複数の第２方向から前記隔壁に向かって一次電子を含む電子ビームを照射することによって発生した二次電子を検出することによって生成された複数の画像を取得することと、
前記取得された複数の画像を解析することと、
前記解析結果に基づいて、前記下部の側面から前記上部の端部が突出している突出量と前記下部の前記第１方向の長さとの比を表すための第１角度を計測することと
を具備する計測方法。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
前記複数の画像の各々は、前記上部の端部を含む請求項１記載の計測方法。
【請求項３】
前記取得することは、前記第１方向に対して第２角度をなす第２方向から前記隔壁に向かって前記電子ビームを照射することによって発生した二次電子を検出することによって生成された第１画像を取得することと、前記第１方向に対して前記第２角度よりも大きい第３角度をなす第２方向から前記隔壁に向かって前記電子ビームを照射することによって発生した二次電子を検出することによって生成された第２画像を取得することとを含み、
前記計測することは、前記第１画像が解析されることによって前記第１画像に前記下部の側面が含まれていないことが特定され、前記第２画像が解析されることによって前記第２画像に前記下部の側面が含まれていることが特定された場合、前記第２角度よりも大きく、前記第３角度よりも小さい角度を第１角度として計測することを含む
請求項２記載の計測方法。
【請求項４】
前記電子ビームは、前記第１方向に対する角度を順次変化させながら前記角度をなす第２方向から前記隔壁に向かって照射され、
前記計測することは、前記複数の画像の各々が解析されることによって、前記複数の画像のうち前記下部の側面が出現するタイミングの第１画像または前記下部の側面が消失するタイミングの第２画像が生成された際に前記電子ビームが照射された第２方向が前記第１方向に対してなす角度を前記第１角度として計測することを含む
請求項２記載の計測方法。
【請求項５】
前記下部は、前記基材上に配置された第１層及び前記第１層の上に配置された第２層を含み、
前記計測することは、前記解析結果に基づいて、前記第１層の側面から前記上部の端部が突出している突出量と前記第１及び第２層の前記第１方向の長さとの比、及び前記第２層の側面から前記上部の端部が突出している突出量と前記第２層の前記第１方向の長さとの比のうちの少なくとも一方を表すための第１角度を計測することを含む
請求項１記載の計測方法。
【請求項６】
前記第１及び第２層の各々は、異なる金属材料で形成される請求項５記載の計測方法。
【請求項７】
前記計測された第１角度に基づいて、前記隔壁が適切に形成されているかを判定することを更に具備する請求項１～６のいずれか一項に記載の計測方法。
【請求項８】
前記基材上に下電極を形成することと、
前記下電極の一部を覆い、前記下電極と重畳する開口を有するリブを形成することと
を更に具備し、
前記隔壁は、前記リブの上に形成される
請求項７記載の計測方法。
【請求項９】
前記隔壁が適切に形成されていると判定された場合、前記開口を通じて前記下電極と接触する有機層を形成することと、
前記有機層の上に上電極を形成することと
を更に具備する請求項８記載の計測方法。
【請求項１０】
下部と前記下部の側面から突出した上部とを有する隔壁が形成された基材に対して垂直な第１方向から傾斜した複数の第２方向から前記隔壁に向かって一次電子を含む電子ビームを照射することによって発生した二次電子を検出することによって生成された複数の画像を取得する取得部と、
前記取得された複数の画像を解析する解析部と、
前記解析結果に基づいて、前記下部の側面から前記上部の端部が突出している突出量と前記下部の前記第１方向の長さとの比を表すための第１角度を計測する計測部と
を具備する計測装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、計測方法及び計測装置に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、表示素子として有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）を適用した表示装置が実用化されている。
【０００３】
ところで、上記した表示装置は、複数の表示パネルを形成したマザー基板を用意し、当該マザー基板からカットされた表示パネルの各々を用いて製造される。
【０００４】
このような表示装置を製造する過程において、当該表示装置の信頼性の低下を抑制する技術が必要とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０００－１９５６７７号公報
特開２００４－２０７２１７号公報
特開２００８－１３５３２５号公報
特開２００９－３２６７３号公報
特開２０１０－１１８１９１号公報
国際公開第２０１８／１７９３０８号
米国特許出願公開第２０２２／００７７２５１号明細書
特開２０１３－２１３７３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、表示装置の信頼性の低下を抑制することが可能な計測方法及び計測装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
実施形態に係る計測方法は、基材上に配置された下部と、前記下部の側面から突出した上部とを有する隔壁を形成することと、前記基材に対して垂直な第１方向から傾斜した複数の第２方向から前記隔壁に向かって一次電子を含む電子ビームを照射することによって発生した二次電子を検出することによって生成された複数の画像を取得することと、前記取得された複数の画像を解析することと、前記解析結果に基づいて、前記下部の側面から前記上部の端部が突出している突出量と前記下部の前記第１方向の長さとの比を表すための第１角度を計測することとを具備する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、実施形態における表示装置の構成例を示す図である。
図２は、副画素のレイアウトの一例を示す図である。
図３は、図２中のIII－III線に沿う表示装置の概略的な断面図である。
図４は、隔壁の概略的な断面図である。
図５は、隔壁を利用して形成される表示素子について説明するための概略的な断面図である。
図６は、隔壁を利用して形成される表示素子について説明するための概略的な断面図である。
図７は、隔壁を利用して形成される表示素子について説明するための概略的な断面図である。
図８は、隔壁の突出量と下部の高さとの関係性について説明するための図である。
図９は、表示装置の製造工程において用いられるマザー基板検査装置について説明するための図である。
図１０は、ＳＥＭの構成について説明するための図である。
図１１は、本実施形態において計測すべき対象角度の一例について説明するための図である。
図１２は、計測装置のハードウェア構成の一例を示す図である。
図１３は、計測装置の機能構成の一例を示す図である。
図１４は、計測装置の処理手順の一例を示すフローチャートである。
図１５は、対象角度を計測する処理の一例について説明するための図である。
図１６は、対象角度を計測する処理の一例について説明するための図である。
図１７は、対象角度を計測する処理の他の例について説明するための図である。
図１８は、対象角度を計測する処理の他の例について説明するための図である。
図１９は、本実施形態において計測される対象角度の他の例について説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
一実施形態について図面を参照しながら説明する。
開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は、より説明を明確にするため、実際の態様に比べて、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同一または類似した機能を発揮する構成要素には同一の参照符号を付し、重複する詳細な説明を適宜省略することがある。
【００１０】
なお、図面には、必要に応じて理解を容易にするために、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸を記載する。Ｘ軸に沿った方向を方向Ｘと称し、Ｙ軸に沿った方向を方向Ｙと称し、Ｚ軸に沿った方向を方向Ｚと称する。また、方向Ｚと平行に各種要素を見ることを平面視という。
（【００１１】以降は省略されています）

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