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公開番号2025117803
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-13
出願番号2024012720
出願日2024-01-31
発明の名称光学装置及びフォーカス合わせ制御方法
出願人レーザーテック株式会社
代理人個人
主分類G02B 7/28 20210101AFI20250805BHJP(光学)
要約【課題】フォーカス合わせを容易にすることができる光学装置及びフォーカス合わせ制御方法を提供する。
【解決手段】本開示に係る光学装置1は、試料SMPに対して前ピン位置に設けられ、試料SMPからの光L10を検出する第1検出手段41と、試料SMPに対して後ピン位置に設けられ、試料SMPからの光L10を検出する第2検出手段42と、第1検出手段41の出力結果及び第2検出手段42の出力結果に基づいて、フォーカス合わせ制御を行う制御手段30と、試料SMPからの光L10の光束における少なくとも中央領域を遮蔽する遮蔽手段50と、を備え、第1検出手段41及び第2検出手段42は、試料SMPからの光L10の光束における端部領域の少なくとも一部を受光する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
試料に対して前ピン位置に設けられ、前記試料からの光を検出する第１検出手段と、
前記試料に対して後ピン位置に設けられ、前記試料からの前記光を検出する第２検出手段と、
前記第１検出手段の出力結果及び前記第２検出手段の出力結果に基づいて、フォーカス合わせ制御を行う制御手段と、
前記試料からの前記光の光束における少なくとも中央領域を遮蔽する遮蔽手段と、
を備え、
前記第１検出手段及び前記第２検出手段は、前記試料からの前記光の前記光束における端部領域の少なくとも一部を受光する、
光学装置。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
前記試料からの前記光の一部を、第１光及び第２光に分離する分離手段をさらに備え、
前記第１検出手段は、前記第１光の前記光束における前記端部領域の少なくとも一部を受光し、
前記第２検出手段は、前記第２光の前記光束における前記端部領域の少なくとも一部を受光する、
請求項１に記載の光学装置。
【請求項３】
前記遮蔽手段は、
前記第１光の前記光束の少なくとも前記中央領域を遮蔽する第１遮蔽手段と、
前記第２光の前記光束の少なくとも前記中央領域を遮蔽する第２遮蔽手段と、
を含む、
請求項２に記載の光学装置。
【請求項４】
前記分離手段から前記第１遮蔽手段までの光学的距離と、前記分離手段から前記第２遮蔽手段までの光学的距離とが、異なる、
請求項３に記載の光学装置。
【請求項５】
前記第２遮蔽手段は、前記第２光の焦点位置と前記第２検出手段との間に設けられる、
請求項３または４のいずれかに記載の光学装置。
【請求項６】
前記分離手段は、
前記試料からの前記光の一部を第１光に分離する第１分離手段と、
前記試料からの前記光の一部を第２光に分離する第２分離手段と、を含み、
前記第１分離手段は、前記第２分離手段よりも、前記試料側に設けられる、
請求項３に記載の光学装置。
【請求項７】
前記第１分離手段と前記第１遮蔽手段との光学的距離は、前記第２分離手段と前記第２遮蔽手段との光学的距離に等しく、
前記第１遮蔽手段と前記第１検出手段との光学的距離は、前記第２遮蔽手段と前記第２検出手段との光学的距離に等しい
請求項６に記載の光学装置。
【請求項８】
光源から前記試料への光路内に配置されたスリットをさらに備え、
前記遮蔽手段の形状は、前記スリットの向き及び大きさの少なくともいずれかに基づいて設定される、
請求項１に記載の光学装置。
【請求項９】
試料からの光を検出する第１検出手段を、前記試料に対して前ピン位置に設け、前記試料からの前記光を検出する第２検出手段を、前記試料に対して後ピン位置に設けるステップと、
前記試料からの前記光の光束における少なくとも中央領域を遮蔽手段で遮蔽するステップと、
前記光束における端部領域の少なくとも一部を前記第１検出手段及び前記第２検出手段で受光するステップと、
前記第１検出手段の出力結果及び前記第２検出手段の出力結果に基づいて、フォーカス合わせ制御を行うステップと、
を備えたフォーカス合わせ制御方法。
【請求項１０】
前記試料からの前記光の一部を、第１光及び第２光に分離手段で分離するステップをさらに備え、
前記第１検出手段及び前記第２検出手段で受光するステップにおいて、
前記第１検出手段は、前記第１光の前記光束における前記端部領域の少なくとも一部を受光し、
前記第２検出手段は、前記第２光の前記光束における前記端部領域の少なくとも一部を受光する、
請求項９に記載のフォーカス合わせ制御方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、光学装置及びフォーカス合わせ制御方法に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、フォーカス合わせ制御方法として、例えば、前ピン及び後ピン方式が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第７１４５０３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
光学装置に求められる要件等から、前ピン及び後ピン方式でのフォーカス合わせ制御のために、様々なバリエーションがあることが好ましい。そのようなバリエーションの中でも、特に、フォーカス合わせを容易にすることができる光学装置及びフォーカス合わせ制御方法が所望されている。
【０００５】
本開示は、上記記載の問題を解決するためになされたものであり、フォーカス合わせを容易にすることができる光学装置及びフォーカス合わせ制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示にかかる光学装置は、試料に対して前ピン位置に設けられ、前記試料からの光を検出する第１検出手段と、前記試料に対して後ピン位置に設けられ、前記試料からの前記光を検出する第２検出手段と、前記第１検出手段の出力結果及び前記第２検出手段の出力結果に基づいて、フォーカス合わせ制御を行う制御手段と、前記試料からの前記光の光束における少なくとも中央領域を遮蔽する遮蔽手段と、を備え、前記第１検出手段及び前記第２検出手段は、前記試料からの前記光の前記光束における端部領域の少なくとも一部を受光する。
【０００７】
上記光学装置では、前記試料からの前記光の一部を、第１光及び第２光に分離する分離手段をさらに備え、前記第１検出手段は、前記第１光の前記光束における前記端部領域の少なくとも一部を受光し、前記第２検出手段は、前記第２光の前記光束における前記端部領域の少なくとも一部を受光してもよい。
【０００８】
上記光学装置では、前記遮蔽手段は、前記第１光の前記光束の少なくとも前記中央領域を遮蔽する第１遮蔽手段と、前記第２光の前記光束の少なくとも前記中央領域を遮蔽する第２遮蔽手段と、を含んでもよい。
【０００９】
上記光学装置では、前記分離手段から前記第１遮蔽手段までの光学的距離と、前記分離手段から前記第２遮蔽手段までの光学的距離とが、異なってもよい。
【００１０】
上記光学装置では、前記第２遮蔽手段は、前記第２光の焦点位置と前記第２検出手段との間に設けられてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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