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公開番号2025122834
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-22
出願番号2024018517
出願日2024-02-09
発明の名称基板搬送ロボットおよび基板搬送ロボットの制御方法
出願人川崎重工業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250815BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】基板載置部におけるハンドの座標の教示を自動で精度よく行うことが可能な基板搬送ロボットおよび基板搬送ロボットの制御方法を提供する。
【解決手段】この基板搬送ロボット100は、基板Wを保持する基板保持ハンド10と、基板保持ハンド10に配置され、基板載置部110に載置された状態の基板Wを模した検出治具200を検出する検出部40と、検出部40による検出治具200の検出結果に基づいて、基板載置部110における基板保持ハンド10の座標の教示を行う制御部50と、を備える。
【選択図】図11
特許請求の範囲【請求項１】
基板を保持するハンドと、
前記ハンドに配置され、基板載置部に載置された状態の前記基板を模した教示用検出治具を検出する検出部と、
前記検出部による前記教示用検出治具の検出結果に基づいて、前記基板載置部における前記ハンドの座標の教示を行う制御部と、を備える、基板搬送ロボット。
続きを表示（約 1,800 文字）【請求項２】
前記制御部は、前記検出部による前記教示用検出治具の検出結果に基づいて、前記ハンドの上下方向の座標、前記ハンドの前後方向の座標、および、前記ハンドの左右方向の座標の少なくとも１つの教示を行う、請求項１に記載の基板搬送ロボット。
【請求項３】
前記教示用検出治具は、前記基板を模した薄板状の教示用検出治具本体を含み、
前記教示用検出治具本体は、前記ハンドの上下方向の座標の教示を行うための上下座標教示用被検出部を先端部に有し、
前記制御部は、前記検出部による前記上下座標教示用被検出部の検出結果に基づいて、前記ハンドの上下方向の座標の教示を行う、請求項２に記載の基板搬送ロボット。
【請求項４】
前記制御部は、前記検出部を前記上下座標教示用被検出部に対して前記上下方向に移動させながら、前記検出部により前記上下座標教示用被検出部を検出させることにより、前記上下座標教示用被検出部の高さを取得し、取得した前記上下座標教示用被検出部の高さに基づいて、前記ハンドの上下方向の座標の教示を行う、請求項３に記載の基板搬送ロボット。
【請求項５】
前記教示用検出治具は、前記基板を模した薄板状の教示用検出治具本体と、前記教示用検出治具本体に配置され、前記ハンドの前後方向および左右方向の座標の教示を行うための前後左右座標教示用被検出部とを含み、
前記制御部は、前記検出部による前記前後左右座標教示用被検出部の検出結果に基づいて、前記ハンドの前後方向および左右方向の座標の教示を行う、請求項２に記載の基板搬送ロボット。
【請求項６】
前記前後左右座標教示用被検出部は、ピン状であり、前記上下方向に延びており、
前記ハンドの傾きを直接または間接的に調整する傾き調整機構を備え、
前記制御部は、
前記ハンドを前記教示用検出治具に対して平行に配置した第１状態で、前記検出部を前記前後左右座標教示用被検出部に対して前記上下方向に移動させながら、前記検出部により前記前後左右座標教示用被検出部を検出させることにより、前記第１状態における前記前後左右座標教示用被検出部の高さを取得し、
前記ハンドを前記傾き調整機構により前記前後方向周りのロール方向に傾けて配置した第２状態で、前記検出部を前記左右方向に沿って移動させ、移動させた各位置において、前記検出部を前記前後左右座標教示用被検出部に対して前記上下方向に移動させながら、前記検出部により前記前後左右座標教示用被検出部を検出させることにより、前記第１状態における前記前後左右座標教示用被検出部の高さと、前記第２状態における前記前後左右座標教示用被検出部の高さとが同じになるような座標として、前記前後左右座標教示用被検出部の座標を取得し、
取得した前記前後左右座標教示用被検出部の座標に基づいて、前記ハンドの前後方向および左右方向の座標の教示を行う、請求項５に記載の基板搬送ロボット。
【請求項７】
前記傾き調整機構は、
下側部材と、
前記下側部材と前記上下方向に対向するように設けられる上側部材と、
前記下側部材と前記上側部材との間に設けられ、前記上下方向から見て互いに異なる箇所に配置される３つの球面滑り座標受けと、
３つの前記球面滑り座標受けのうちの２つにそれぞれ対応して設けられる２つの高さ位置調整機構と、を含み、
前記制御部は、前記高さ位置調整機構により前記下側部材に対する前記上側部材の傾きを調整することによって前記ハンドを前記ロール方向に傾ける、請求項６に記載の基板搬送ロボット。
【請求項８】
前記検出部は、前記基板を検出する検出部を兼ねる、請求項１に記載の基板搬送ロボット。
【請求項９】
前記検出部は、検出光を照射することによって、前記教示用検出治具を検出する、請求項１に記載の基板搬送ロボット。
【請求項１０】
前記ハンドは、先端部が２つに分かれた二股形状のブレード部材を含み、
前記検出部は、前記検出光を照射する照射部と、前記照射部により照射された前記検出光を検出する受光部とを含み、
前記照射部および前記受光部は、前記ブレード部材の２つに分かれた先端部の各々にそれぞれ配置されている、請求項９に記載の基板搬送ロボット。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
この開示は、基板搬送ロボットおよび基板搬送ロボットの制御方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、基板搬送ロボットが知られている。たとえば、特許文献１には、基板搬送ロボットが記載されている。この基板搬送ロボットは、基板載置部に載置された基板を保持して搬送する基板搬送ハンドを備えている。基板載置部は、同一円周状に配置された複数の支柱を有しており、回転軸を中心として回転する。この基板搬送ロボットは、基板搬送ハンドに設けられた物体検出センサにより、基板載置部の複数の支柱を検出して、基板載置部の回転軸の方向の教示を自動で行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第６９６６９１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１に記載された基板搬送ロボットでは、基板載置部の回転軸の方向の教示を自動で行うことができるだけで、基板載置部における基板保持ハンドの座標の教示を自動で行うことができない。このため、基板載置部における基板保持ハンドの座標の教示を自動で精度よく行うことが望まれている。
【０００５】
この開示は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この開示の１つの目的は、基板載置部におけるハンドの座標の教示を自動で精度よく行うことが可能な基板搬送ロボットおよび基板搬送ロボットの制御方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この開示の第１の局面による基板搬送ロボットは、基板を保持するハンドと、ハンドに配置され、基板載置部に載置された状態の基板を模した教示用検出治具を検出する検出部と、検出部による教示用検出治具の検出結果に基づいて、基板載置部におけるハンドの座標の教示を行う制御部と、を備える。
【０００７】
この開示の第１の局面による基板搬送ロボットは、上記のように、検出部による教示用検出治具の検出結果に基づいて、基板載置部におけるハンドの座標の教示を行う制御部を備える。これにより、基板載置部におけるハンドの座標の教示を制御部により自動で行うことができる。また、実際の基板の授受位置に配置された教示用検出治具の検出結果から、基板載置部におけるハンドの座標の教示を行うことができるので、基板の授受位置から離れた位置において取得された基板載置部の検出結果からハンドの座標の教示を行う場合に比べて、基板載置部におけるハンドの座標の教示を精度よく行うことができる。これらの結果、基板載置部におけるハンドの座標の教示を自動で精度よく行うことができる。
【０００８】
この開示の第２の局面による基板搬送ロボットの制御方法は、基板を保持するハンドを備える基板搬送ロボットの制御方法であって、基板載置部に載置された状態の基板を模した教示用検出治具を検出することと、教示用検出治具の検出結果に基づいて、基板載置部におけるハンドの座標の教示を行うことと、を備える。
【０００９】
この開示の第２の局面による基板搬送ロボットの制御方法は、上記のように、教示用検出治具の検出結果に基づいて、基板載置部におけるハンドの教示を行うことを備える。これにより、基板載置部におけるハンドの座標の教示を制御部により自動で行うことができる。また、実際の基板の授受位置に配置された教示用検出治具の検出結果から、基板載置部におけるハンドの座標の教示を行うことができるので、基板の授受位置から離れた位置において取得された基板載置部の検出結果からハンドの座標の教示を行う場合に比べて、基板載置部におけるハンドの座標の教示を精度よく行うことができる。これらの結果、基板載置部におけるハンドの座標の教示を自動で精度よく行うことが可能な基板搬送ロボットの制御方法を提供することができる。
【発明の効果】
【００１０】
本開示によれば、基板載置部におけるハンドの座標の教示を自動で精度よく行うことができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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