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公開番号2025123996
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-25
出願番号2024019824
出願日2024-02-13
発明の名称真空ポンプ
出願人株式会社島津製作所
代理人個人,個人
主分類F04D 19/04 20060101AFI20250818BHJP(液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ)
要約【課題】ロータの凹みに固形物が堆積することを防止しつつ、固形物が真空ポンプ外に跳ね返されることを防止する。
【解決手段】真空ポンプ1は、吸気口13を有するハウジング2と、ハウジング2に収納され、回転駆動されることで吸気口13から気体を吸引排気するロータ4と、ロータ4の凹み41に蓋をする蓋部材43と、を備える。蓋部材43は、吸気口13に近い側に頂点Tを有し、ロータ4に近い側に底面Bを有する錐体形状を有している。この錐体形状の母線は、当該母線の接線と気体の流れ方向D1との為す角度が頂点の近傍から底面の近傍にかけて大きくなる曲線を有する第1曲線部分43Aを含む。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
吸気口を有するハウジングと、
前記ハウジングに収納され、回転駆動されることで前記吸気口から気体を吸引排気する部材であって、前記吸気口に面する部分に凹みを有するロータと、
前記ロータの前記凹みに蓋をする蓋部材と、
を備え、
前記蓋部材は、前記吸気口に近い側に頂点を有し前記ロータに近い側に底面を有する錐体形状を有しており、
前記錐体形状の母線は、当該母線の接線と前記気体の流れ方向との為す角度が前記頂点の近傍から前記底面の近傍にかけて大きくなる曲線を有する第１曲線部分を含む、真空ポンプ。
続きを表示（約 280 文字）【請求項２】
前記錐体形状の母線は、前記第１曲線部分と、前記第１曲線部分よりも前記頂点に近い側の第２曲線部分と、により構成される、請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項３】
前記第２曲線部分の前記頂点に対応する部分は半球形状を有する、請求項２に記載の真空ポンプ。
【請求項４】
前記第１曲線部分は、前記頂点からの距離についての二次以上の単調増加の多項式又は指数関数で表される、請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項５】
前記頂点は、前記ロータの前記吸気口に対向する面から突出している、請求項１に記載の真空ポンプ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプに関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
真空ポンプには、ロータ翼を有するロータを回転させて排気対象装置の内部を吸引し、吸引した気体を外部に排出するものがある。この真空ポンプのロータには、気体を吸引するための吸気口側に凹みを有するものがある。上記の排気対象装置には所定の固形物（例えば、排気対象装置で生成された生成物）を発生させるものがあり、この固形物が真空ポンプに流入しロータの凹みに堆積することがある。ロータの凹みに固形物が堆積することを防止するために、凹み部分に蓋をする蓋部材が設けられる（例えば、特許文献１、特許文献２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
米国特許第９５１２８５３号明細書
国際公開第２０２２／１８１４６４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の蓋部材には、平面形状、略半球形状を有するものがある。このような形状の蓋部材は、真空ポンプによる気体の流れ方向に対して垂直な大きな面を有する。気体の流れ方向に対して垂直な大きな面は、真空ポンプに流入した固形物の多くを気体の流れとは逆方向に跳ね返してしまう。つまり、平面形状、略半球形状を有する蓋部材は、真空ポンプに流入した固形物の多くを排気対象装置等に跳ね返してしまう。また、従来の蓋部材には、直線状の傾斜面を有するものもあるが、傾斜面の傾斜が十分でないために、このような蓋部材も、真空ポンプに流入した固形物の多くを排気対象装置に跳ね返してしまう。
【０００５】
従って、本発明の目的は、ロータの凹みに固形物が堆積することを防止しつつ、当該固形物が真空ポンプ外に跳ね返されることを防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係る真空ポンプは、ハウジングと、ロータと、蓋部材と、を備える。ハウジングは、吸気口を有する。ロータは、ハウジングに収納され、回転駆動されることで吸気口から気体を吸引排気する。また、ロータは、吸気口に面する部分に凹みを有する。蓋部材は、ロータの凹みに蓋をする。上記の真空ポンプにおいて、蓋部材は、吸気口に近い側に頂点を有しロータに近い側に底面を有する錐体形状を有している。この錐体形状の母線は、当該母線の接線と気体の流れ方向との為す角度が頂点の近傍から底面の近傍にかけて大きくなる曲線を有する第１曲線部分を含む。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の一態様に係る真空ポンプの蓋部材は、吸気口に近い側に頂点を有しロータに近い側に底面を有する錐体形状を有している。そして、この錐体形状の母線が、当該母線の接線と気体の流れ方向との為す角度が頂点の近傍から底面の近傍にかけて大きくなる曲線を有する第１曲線部分を含んでいる。このような形状の蓋部材は、吸気口に近い側においては、気体の流れ方向に近い角度の表面を有している。このため、蓋部材の吸気口に近い側の表面では、固形物は、吸気口の方向には跳ね返されず真空ポンプ外に出ることはない。一方、蓋部材の底面に近い側の表面は、気体の流れ方向に対して垂直な角度に近づくが、蓋部材の中心から離れた位置に配置される。このため、蓋部材の底面に近い側の表面には、ロータの回転により大きな遠心力が働く。この遠心力により、蓋部材の底面に近い側の固形物は、気体の流れとは垂直に近い方向に飛ばされる。このため、蓋部材の底面に近い側の表面においても、固形物は、吸気口の方向に跳ね返されず真空ポンプ外に出ることはない。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
真空ポンプの断面図である。
蓋部材の詳細構成を示す図である。
第１曲線部分が、頂点からの距離についての単調増加関数で表されることを模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、真空ポンプに用いられるロータ翼、当該ロータ翼の製造方法を説明する。まず、図１を用いて、ロータ翼を備える真空ポンプを説明する。図１は、真空ポンプ１の断面図である。真空ポンプ１は、ハウジング２と、ベース３と、ロータ４と、ステータ５と、を含む。
【００１０】
ハウジング２は、第１端部１１と、第２端部１２と、第１内部空間Ｓ１とを含む。第１端部１１には吸気口１３が設けられている。吸気口１３は、排気対象装置（図示せず）の内部と気体流通可能に接続される。第１内部空間Ｓ１は、吸気口１３に連通している。第２端部１２は、ロータ４の軸線方向（以下、単に「軸線方向Ａ１」と呼ぶ）において、第１端部１１の反対に位置している。第２端部１２は、ベース３に接続される。ベース３は、ベース端部１４を含む。ベース端部１４は、ハウジング２の第２端部１２に接続される。ベース３は、例えば、アルミニウム製の部材である。
（【００１１】以降は省略されています）

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