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公開番号2025124400
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-26
出願番号2024020424
出願日2024-02-14
発明の名称電気的接続装置
出願人株式会社日本マイクロニクス
代理人個人,個人
主分類G01R 1/073 20060101AFI20250819BHJP(測定;試験)
要約【課題】基板の相互間の電気的な接続が安定する電気的接続装置を提供する。
【解決手段】電気的接続装置1は、プローブ10と、プローブ10と電気的に接続する第1電極21、内部配線200、および内部配線200を介して第1電極21と電気的に接続する第2電極22を含む配線基板20と、第1シート面311に配置された第1接続部31、第1シート面311の反対方向を向く第2シート面312に配置された第2接続部32、および第1接続部31と第2接続部32の少なくともいずれかと電気的に接続する内部回路を含み、可撓性を有する配線シート30を備える。第1接続部31と第2接続部32の少なくともいずれかに、配線シート30の厚さ方向に垂直な面に対して斜めに突出する導電性を有する爪部300が配置されている。爪部300を介して配線基板20の内部配線200と配線シート30の内部回路が電気的に接続されている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
検査対象物の検査に使用される電気的接続装置であって、
前記検査対象物と接触可能に配置された先端部および前記先端部に連結する基端部を有する検査用端子と、
前記検査用端子と電気的に接続する第１電極、内部配線、および前記内部配線を介して前記第１電極と電気的に接続する第２電極を含む配線基板と、
第１シート面に配置された第１接続部、前記第１シート面の反対方向を向く第２シート面に配置された第２接続部、および前記第１接続部と前記第２接続部の少なくともいずれかと電気的に接続する内部回路を含み、可撓性を有する配線シートと、
を備え、
前記第１接続部と前記第２接続部の少なくともいずれかに、前記配線シートの厚さ方向に垂直な面に対して斜めに突出する導電性を有する爪部が配置され、
前記爪部を介して前記配線基板の前記内部配線と前記配線シートの前記内部回路が電気的に接続する、
電気的接続装置。
続きを表示（約 970 文字）【請求項２】
配線パターンを含むプリント基板を更に備え、
前記配線シートが、前記配線基板と前記プリント基板の間に配置され、
前記爪部が前記第１接続部および前記第２接続部に配置され、
前記第１接続部が前記爪部を介して前記第２電極に接続し、
前記第２接続部が前記爪部を介して前記配線パターンに接続する、
請求項１に記載の電気的接続装置。
【請求項３】
前記検査用端子を保持するプローブヘッドを更に備え、
前記配線シートが、前記プローブヘッドと前記配線基板の間に配置され、
前記爪部が前記第２接続部にのみ配置され、
前記第２接続部が前記爪部を介して前記第１電極に接続し、
前記第１接続部が前記プローブヘッドから露出する前記検査用端子の前記基端部に前記爪部を介さずに接続する、
請求項１又は２に記載の電気的接続装置。
【請求項４】
前記爪部が前記厚さ方向に弾性変形が可能である、請求項１に記載の電気的接続装置。
【請求項５】
前記第１接続部と前記第２接続部の少なくともいずれかが、前記配線シートに固定された支持部を含み、
前記爪部が、前記支持部に接続する固定端、および前記配線シートから離隔された自由端を有する片持ち梁構造である、
請求項４に記載の電気的接続装置。
【請求項６】
１つの前記支持部に、突出方向が同じ２つの前記爪部が接続している、請求項５に記載の電気的接続装置。
【請求項７】
１つの前記支持部に、突出方向が異なる２つの前記爪部が接続している、請求項５に記載の電気的接続装置。
【請求項８】
前記厚さ方向の法線方向から見た平面視において、複数の前記爪部がマトリクス状に配置されている、請求項１に記載の電気的接続装置。
【請求項９】
突出する方向が相互に逆向きの前記爪部が隣接する、請求項８に記載の電気的接続装置。
【請求項１０】
前記配線シートが、絶縁材のカバーフィルムによって導電性フィルムと絶縁性フィルムの積層体を挟んだ構造を有する、請求項１に記載の電気的接続装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の電気的特性の検査に使用される電気的接続装置に関する。
続きを表示（約 2,600 文字）【背景技術】
【０００２】
集積回路などの検査対象物の電気的特性を測定するために、検査対象物に接触させる検査用端子を有する電気的接続装置が用いられている。電気的接続装置を用いる測定では、検査用端子を介して検査対象物をテスタなどの検査装置と電気的に接続させる。検査対象物について種々の特性を測定するために、電気的接続装置は、プリント基板およびスペーストランスフォーマなどの複数の基板が重ね合わされて構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１９－１７８９０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
電気的接続装置を構成する複数の基板の平坦度が異なると、基板の間に隙間が生じ、基板の相互間の電気的な接続の安定性が低下する。本発明は、基板の相互間の電気的な接続が安定する電気的接続装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様に係る電気的接続装置は、検査用端子と、検査用端子と電気的に接続する第１電極、内部配線、第２電極を含む配線基板と、第１シート面に配置された第１接続部、第２シート面に配置された第２接続部、および第１接続部と第２接続部の少なくともいずれかと電気的に接続する内部回路を含み、可撓性を有する配線シートとを備える。第１接続部と第２接続部の少なくともいずれかに、配線シートの厚さ方向に垂直な面に対して斜めに突出する導電性を有する爪部が配置されている。爪部を介して配線基板の内部配線と配線シートの内部回路が電気的に接続する。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、基板の相互間の電気的な接続が安定する電気的接続装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１は、第１の実施形態に係る電気的接続装置の構成を示す模式図である。
図２Ａは、第１の実施形態に係る電気的接続装置の構成を示す模式的な平面図である。
図２Ｂは、第１の実施形態に係る電気的接続装置の構成を示す模式的な断面図である。
図３は、第１の実施形態に係る電気的接続装置の配線シートの構造の例を示す模式的な断面図である。
図４は、第１の実施形態に係る電気的接続装置の配線シートの爪部の構造の例を示す模式図である。
図５は、第１の実施形態に係る電気的接続装置の配線シートの爪部の配置の例を示す模式図である。
図６は、第１の実施形態に係る電気的接続装置の配線シートの爪部の延伸方向の例を示す模式図である。
図７は、第１の実施形態に係る電気的接続装置の配線シートの爪部の構造の他の例を示す模式図である。
図８は、第１の実施形態に係る電気的接続装置の配線シートの爪部の構造の更に他の例を示す模式図である。
図９は、実施形態に係る電気的接続装置の配線シートの内部回路の例を示す模式図である。
図１０は、実施形態に係る電気的接続装置の配線シートの内部回路の他の例を示す模式図である。
図１１は、実施形態に係る電気的接続装置の配線シートの内部回路の他の例を示す模式図である。
図１２は、図１１に示した配線シートを用いたループバック回路の例を示す模式図である。
図１３は、実施形態に係る電気的接続装置の配線シートの内部回路の他の例を示す模式図である。
図１４は、実施形態に係る電気的接続装置の配線シートの内部回路の他の例を示す模式図である。
図１５は、第２の実施形態に係る電気的接続装置の構成を示す模式図である。
図１６は、第３の実施形態に係る電気的接続装置の構成を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各部の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。以下に示す実施形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の実施形態は、構成部品の材質、形状、構造、配置などを下記のものに特定するものでない。
【０００９】
（第１の実施形態）
図１に示す第１の実施形態に係る電気的接続装置１は、検査対象物２の検査に使用される。電気的接続装置１は、検査時の検査対象物２と接触する複数のプローブ１０と、プローブ１０に接続された配線基板２０と、配線基板２０に積層された配線シート３０と、配線シート３０に積層されたプリント基板４０を備える。電気的接続装置１は、プリント基板４０に積層されたスティフナ５０を更に備える。以下の説明において、検査対象物２から見て電気的接続装置１が位置している方向を上方向、電気的接続装置１から見て検査対象物２が位置している方向を下方向とする。図１に示すように、下方から上方に向かう方向をＺ方向、Ｚ方向に垂直な平面をＸＹ平面とする。図１では、図面の左右方向がＸ方向であり、奥行方向がＹ方向である。また、電気的接続装置１の構成部品のそれぞれにおいて、上方向を向いた面を上面、下方向を向いた面を下面とも称する。
【００１０】
プローブ１０は、検査対象物２と検査装置を電気的に接続させる検査用端子として機能する。プローブ１０は、検査対象物２と接触可能に配置された先端部および先端部に連結する基端部を有する。プローブ１０は、図１に示すように、プローブ１０が貫通するプローブヘッド６０によって支持されてもよい。例えば、プローブ１０は、プローブヘッド６０に形成された貫通孔を通過した状態で保持される。プローブヘッド６０は、例えば配線基板２０に固定される。プローブ１０の基端部は、配線基板２０に接続されている。
（【００１１】以降は省略されています）

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