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公開番号2025125459
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-27
出願番号2024021523
出願日2024-02-15
発明の名称ウエハの研削装置
出願人株式会社タカトリ
代理人個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250820BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】厚みを計測する際、研削粉や水などの付着による誤計測を防止できるようにしたウエハの厚み計測装置を提供する。
【解決手段】ウエハ9を収容するカセット2と、当該カセット2から取り出されたウエハ9を搬送させる第一搬送部31や第二搬送部35からなる搬送部3と、当該搬送部3によって搬送されたウエハ9を載置して研削する研削部4と、前記カセット2と研削部4との間に設けられ、当該研削部4で研削されたウエハ9を洗浄させる洗浄部5と、を備えてなるウエハ9の研削装置1において、洗浄部5と前記カセット2との間の搬送経路中にウエハ9の厚みを計測する厚み計測部6を設ける。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ウエハを収容するカセットと、
当該カセットから取り出されたウエハを搬送する搬送部と、
当該搬送部によって搬送されたウエハを載置して研削する研削部と、
前記カセットと研削部との間に設けられ、当該研削部で研削されたウエハを洗浄させる洗浄部と、
を備えてなるウエハの研削装置において、
前記洗浄部と前記カセットとの間の搬送経路中に、前記ウエハの厚みを計測する厚み計測部を設けるようにしたことを特徴とするウエハの研削装置。
続きを表示（約 430 文字）【請求項２】
前記搬送経路における前記洗浄部と前記厚み計測部との間に壁面を設けるようにした請求項１に記載のウエハの研削装置。
【請求項３】
前記搬送経路における前記洗浄部と前記厚み計測部との間に第一壁面部を設けるとともに、
当該第一壁面部の側方に、ウエハを通過させるスリットを備えた第二壁面部を設け、
当該第二壁面部のスリットを介して前記洗浄部から前記厚み計測部にウエハを搬送させるようにした請求項１に記載のウエハの研削装置。
【請求項４】
前記搬送部が、前記カセットからウエハを取り出す第一搬送部と、
当該第一搬送部で搬送されたウエハを受け取り、前記研削部まで搬送させ、かつ、研削されたウエハを洗浄位置を通過させる第二搬送部と、
を備えてなるものであり、
前記洗浄部で洗浄されたウエハを、前記第一搬送部を用いて前記厚み計測部まで搬送させるようにした請求項１に記載のウエハの研削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ラップ加工機で研削されたウエハの厚みを計測できるようにしたウエハの研削装置に関するものである。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、研削されたウエハの厚みを計測する機能を備えた研削装置として、下記の特許文献に記載されるような装置が存在する。
【０００３】
具体的には、この特許文献には、チャックテーブルに吸着されたウエハを研削する研削部と、その研削部で研削されたウエハを洗浄する洗浄部と、その洗浄部で洗浄されたウエハの厚みを計測する厚み計測部などを備えてなるものであって、研削されたウエハを洗浄した後、研削部内に設けられた厚み計測部で厚みを計測するようにした装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０００－１７６８０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献に記載された装置では、次のような問題がある。
【０００６】
すなわち、上記特許文献に記載された装置では、チャックテーブルに載置された状態でウエハの厚みを計測するなど、研削部内で厚みを計測するようにしているため、研削時に飛散した霧状の研削粉や水などがウエハに付着してしまい、特に、光学的に厚みを計測するような場合、計測に誤差を生じてしまう可能性がある。
【０００７】
また、このように厚み計測部を研削部内に設ける場合、研削部には、スピンドルや砥石など、多くの装置が設けられているため、大掛かりな厚み計測機器を設置することが難しくなる。
【０００８】
さらには、ウエハの厚み計測以外に、ドレス板などの厚みを計測する必要がある場合は、別途新たに、ドレス板用の厚み計測部を設けなければならず、構造が複雑化してしまう可能性がある。
【０００９】
そこで、本発明は、上記課題を解決するために、ウエハの厚みを計測する際、研削粉や水などの付着による誤計測を防止できるようにするとともに、また、ドレス板の厚み計測も行えるようにしたウエハの研削装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
すなわち、本発明は上記課題を解決するために、ウエハを収容するカセットと、当該カセットから取り出されたウエハを搬送する搬送部と、当該搬送部によって搬送されたウエハを載置して研削する研削部と、前記カセットと研削部との間に設けられ、当該研削部で研削されたウエハを洗浄させる洗浄部と、を備えてなるウエハの研削装置において、前記洗浄部と前記カセットとの間の搬送経路中に、前記ウエハの厚みを計測する厚み計測部を設けるようにしたものである。
（【００１１】以降は省略されています）

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