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公開番号2025135400
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-18
出願番号2024033231
出願日2024-03-05
発明の名称半導体装置
出願人ローム株式会社
代理人弁理士法人太陽国際特許事務所
主分類H10D 1/20 20250101AFI20250910BHJP()
要約【課題】比較的小さい面積のノイズフィルタによって十分なノイズ抑制を効果得る。
【解決手段】半導体装置は、一端が第1のノードに接続され、他端が第2のノードに接続され、蛇行パターンを有する第1の配線と、一端が第1のノードに接続され、他端が第2のノードに接続され、蛇行パターンを有し、且つ第1の配線に隣接して設けられた第2の配線と、を有する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
一端が第１のノードに接続され、他端が第２のノードに接続され、蛇行パターンを有する第１の配線と、
一端が前記第１のノードに接続され、他端が前記第２のノードに接続され、蛇行パターンを有し、且つ前記第１の配線に隣接して設けられた第２の配線と、
を有する半導体装置。
続きを表示（約 340 文字）【請求項２】
前記第１の配線及び前記第２の配線は、周期及び位相が互いに同じである蛇行パターンを有する
請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記第１の配線及び前記第２の配線は、周期が互いに同じであり、位相が互いに逆である蛇行パターンを有する
請求項１に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記第１のノードには電源電圧が供給され、前記第２のノードには、前記電源電圧の供給を受けて動作する回路に接続されている
請求項１に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記第１の配線及び前記第２の配線を含んで構成されるノイズフィルタが、複数の配線層の各々に設けられている
請求項１に記載の半導体装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
開示の技術は、半導体装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
ミアンダ配線等の蛇行パターンを有する配線を備えた装置に関する技術として、以下の技術が知られている。例えば、特許文献１には、相互に隣接した少なくとも２本の配線（Ｌ１・Ｌ２）を有し、該配線（Ｌ１・Ｌ２）のそれぞれの末端にパッド（Ｐ１・Ｐ２）が設けられてなるテスト配線パターンが複数個設けられてなり、配線（Ｌ１・Ｌ２）が相互に隣接する距離は複数種類から選択されてなることを特徴とする半導体装置が記載されている。
【０００３】
特許文献２には、二本の配線からなる差動配線をミアンダ配線とした構成が記載されている。
【０００４】
特許文献３には、互いに積層された複数の絶縁層、および該複数の絶縁層同士の間の複数の層間を有する絶縁基板と、異なる層間にそれぞれ配置された複数のミアンダ状導体とを備え、該複数のミアンダ状導体は、平面透視において、積層方向に隣り合うもの同士が互いに直交し合うように配置されていることを特徴とする配線基板が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開平５－１４４９１７号公報
特開２０１９－４１３０号公報
特開２０１５－２０６７２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
集積回路を搭載した半導体装置においては、ＥＭＳ（Electromagnetic Susceptibility）が問題となる。ＥＭＳは、外部からの電磁波による妨害、干渉を受けても障害を起こさない能力又は耐性である。半導体装置における主なＥＭＳ対策は、グラウンディング、シールディング及びフィルタリングである。これらを実現する構造又は回路要素には、様々な形状及び構成が存在し、効果が背反しない限り併用も可能である。
【０００７】
フィルタリングは、例えば、電源ライン等にノイズフィルタを挿入することにより実現される。ノイズフィルタは、電源ライン等に混入するノイズを遮断又は抑制する。ノイズフィルタとして、例えば、ＲＣフィルタ又はミアンダインダクタが用いられる。しかしながら、ＲＣフィルタを電源ラインに挿入すると、ＲＣフィルタを構成する抵抗素子によって損失が発生し、電源の電流供給能力が低下するという問題がある。一方、ミアンダインダクタにおいて、十分なノイズ抑制効果を得るためには大面積を必要とする。
【０００８】
開示の技術は上記の点に鑑みてなされたものであり、比較的小さい面積のノイズフィルタによって十分なノイズ抑制効果を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
開示の技術に係る半導体装置は、一端が第１のノードに接続され、他端が第２のノードに接続され、蛇行パターンを有する第１の配線と、一端が前記第１のノードに接続され、他端が前記第２のノードに接続され、蛇行パターンを有し、且つ前記第１の配線に隣接して設けられた第２の配線と、を有する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、比較的小さい面積のノイズフィルタによって十分なノイズ抑制効果を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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