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公開番号2025141208
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-29
出願番号2024041045
出願日2024-03-15
発明の名称光電子増倍管
出願人浜松ホトニクス株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01J 43/12 20060101AFI20250919BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】アノードに起因する時間特性を向上させることができる光電子増倍管を提供する。
【解決手段】光電子増倍管1は、光電面3と、光電面3から放出された電子を増倍する10段のダイノード10と、ダイノード10により増倍された電子を収集するアノード7と、を備える。アノード7は、10段目のダイノード10jの2次電子放出面11jと対向し、且つ、当該2次電子放出面11jに沿って延びる電子収集面73を有する。アノード7は、9段目のダイノード10iから10段目のダイノード10jへ向かう電子経路上に電子通過孔部を有さない。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
光電面と、
前記光電面から放出された電子を増倍するＮ段（Ｎは２以上の整数）のダイノードと、
前記ダイノードにより増倍された電子を収集するアノードと、を備え、
前記アノードは、
Ｎ段目の前記ダイノードの２次電子放出面と対向し、且つ、少なくとも一部が当該２次電子放出面に沿って延びる電子収集面を有し、
Ｎ－１段目の前記ダイノードからＮ段目の前記ダイノードへ向かう電子経路上に電子通過孔部を有さない、光電子増倍管。
続きを表示（約 670 文字）【請求項２】
前記アノードは、Ｎ－１段目の前記ダイノードとＮ段目の前記ダイノードとの間に配置されている、請求項１に記載の光電子増倍管。
【請求項３】
Ｎ－１段目の前記ダイノードと前記アノードとの間に配置され、Ｎ－１段目の前記ダイノードから前記アノードへの電子の入射を阻止する壁部を備える、請求項１又は２に記載の光電子増倍管。
【請求項４】
前記壁部は、Ｎ－１段目の前記ダイノードの電位以上の電位が印加されている、請求項３に記載の光電子増倍管。
【請求項５】
前記壁部は、Ｎ段目の前記ダイノードと一体で構成されている、請求項３又は４に記載の光電子増倍管。
【請求項６】
前記壁部は、Ｎ－１段目の前記ダイノードとＮ段目の前記ダイノードとの間に配置されており、
Ｎ－１段目の前記ダイノードから放出された電子は、前記壁部とＮ段目の前記ダイノードとの間の空間を通って、Ｎ段目の前記ダイノードに入射する、請求項３又は４に記載の光電子増倍管。
【請求項７】
前記アノードとＮ段目の前記ダイノードとの間に配置され、Ｎ段目の前記ダイノードからの電子の引出しを促す引出電極を備える、請求項１又は２に記載の光電子増倍管。
【請求項８】
前記引出電極は、Ｎ段目の前記ダイノードの電位よりも高い電位が印加されている、請求項７に記載の光電子増倍管。
【請求項９】
前記引出電極は、メッシュ電極である、請求項７に記載の光電子増倍管。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、光電子増倍管に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
光電面と、光電面から放出された電子を増倍するＮ段（Ｎは２以上の整数）のダイノードと、ダイノードにより増倍された電子を収集するアノードと、を備えた光電子増倍管が知られている（例えば、特許文献１参照）。このような光電子増倍管において、アノードは、メッシュ構造を含み、メッシュ構造は、Ｎ－１段目のダイノードからＮ段目のダイノードへ向かう電子経路上に電子通過孔部を複数有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平７ー２４５０７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したような光電子増倍管では、アノードに電子が衝突しにくく、電子がアノードに衝突するまでに迷走してしまう場合がある。この場合、アノードから出力される信号波形のフォールタイム（出力パルス波高値がピーク値の９０％から１０％に戻るまでの時間）等の時間特性が悪化してしまうおそれがある。
【０００５】
本開示は、上記実情に鑑みてなされたものであり、アノードに起因する時間特性を向上させることができる光電子増倍管を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の光電子増倍管は、［１］「光電面と、前記光電面から放出された電子を増倍するＮ段（Ｎは２以上の整数）のダイノードと、前記ダイノードにより増倍された電子を収集するアノードと、を備え、前記アノードは、Ｎ段目の前記ダイノードの２次電子放出面と対向し、且つ、少なくとも一部が当該２次電子放出面に沿って延びる電子収集面を有し、Ｎ－１段目の前記ダイノードからＮ段目の前記ダイノードへ向かう電子経路上に電子通過孔部を有さない、光電子増倍管」である。
【０００７】
この光電子増倍管では、Ｎ段目のダイノードの２次電子放出面に対向するアノードの少なくとも一部が、当該２次電子放出面に沿って延びている。このアノードは、Ｎ－１段目のダイノードからＮ段目のダイノードへ向かう電子経路上に電子通過孔部を有さない。よって、アノードの電子通過孔部に起因する電子の迷走を防ぐとともに、Ｎ段目のダイノードからアノードへ電子を入射させやすくすることができる。その結果、アノードに起因する時間特性を向上させることが可能となる。
【０００８】
本開示の光電子増倍管は、［２］「前記アノードは、Ｎ－１段目の前記ダイノードとＮ段目の前記ダイノードとの間に配置されている、［１］に記載の光電子増倍管」であってもよい。この場合、アノードをＮ段目のダイノードに接近するよう配置しやすくなり、アノードとＮ段目のダイノードとの間の電界強度を高めるように構成することができる。
【０００９】
本開示の光電子増倍管は、［３］「Ｎ－１段目の前記ダイノードと前記アノードとの間に配置され、Ｎ－１段目の前記ダイノードから前記アノードへの電子の入射を阻止する壁部を備える、［１］又は［２］に記載の光電子増倍管」であってもよい。この場合、電子がＮ－１段目のダイノードからＮ段目のダイノードをスキップしてアノードへ入射してしまうことを防ぐことが可能となる。
【００１０】
本開示の光電子増倍管は、［４］「前記壁部は、Ｎ－１段目の前記ダイノードの電位以上の電位が印加されている、［３］に記載の光電子増倍管」であってもよい。この場合、壁部は、Ｎ－１段目のダイノードからアノードへの電子の入射を効果的に阻止することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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