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公開番号2025103100
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-09
出願番号2023220202
出願日2023-12-27
発明の名称ウェーハの製造方法
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類B24B 7/04 20060101AFI20250702BHJP(研削;研磨)
要約【課題】保護部材を剥離した際にスライスウェーハの一方の面に樹脂残りが発生することを抑制すること。
【解決手段】本発明は、インゴットからスライスされたうねりおよび反りを有するスライスウェーハ(W)の両面を研削することによってウェーハを製造する製造方法の発明である。スライスウェーハの下面(W2)全面にコーティング剤(R)を塗布した後、スライスウェーハよりも外にはみ出したシート(S)に液状樹脂(M)を供給し、スライスウェーハの下面で押し広げて硬化させることによって保護部材(H)を形成する。その後、チャックテーブル(32)に保護部材を介してスライスウェーハを保持させ、スライスウェーハの上面(W1)を研削砥石(35)で研削してから、シートの外周縁を把持してスライスウェーハの下面から保護部材を剥離し、スライスウェーハの上面をチャックテーブルに保持させ、スライスウェーハの上面を研削砥石で研削する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
インゴットからスライスされたうねりおよび反りを有するスライスウェーハの両面を研削することによってウェーハを製造するウェーハの製造方法であって、
該スライスウェーハの一方の面全面にコーティング剤を塗布するコーティング剤塗布工程と、
該スライスウェーハよりも外にはみ出したシートに液状樹脂を供給し該スライスウェーハの一方の面で押し広げて硬化させることによって保護部材を形成する保護部材形成工程と、
研削装置のチャックテーブルに該保護部材を介して該スライスウェーハを保持させ、該スライスウェーハの他方の面を研削砥石で研削する第１研削工程と、
該シートの外周縁を把持し該スライスウェーハの一方の面から該保護部材を剥離する剥離工程と、
該スライスウェーハの他方の面を該チャックテーブルに保持させ、該スライスウェーハの一方の面を該研削砥石で研削する第２研削工程と、
からなる、ウェーハの製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハの製造方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、インゴットをスライスしたスライスウェーハの一方の面に液状樹脂を押し広げて硬化させ、樹脂とシートとからなる保護部材を形成する保護部材形成装置を開示している。かかる保護部材の形成では、スライスウェーハの一方の面全面に液状樹脂を押し広げ、スライスウェーハの外周縁を覆うように樹脂をいきわたらせてから硬化している。かかる液状樹脂は、硬化した後のスライスウェーハの他方の面の研削中に、一方の面から剥がれないように接着力を高めている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２３－１５８２８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述のように液状樹脂の接着力を高めると、研削後にスライスウェーハから保護部材を剥離した際に、スライスウェーハの一方の面に樹脂が残ることがある。このため、次のスライスウェーハの一方の面を研削する際、その残った樹脂によって研削砥石を目詰まりさせることがある。よって、研削砥石の下面をドレッシングする等の作業や調整が必要となり、研削時間が長くなるという問題がある。
【０００５】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、保護部材を剥離した際にスライスウェーハの一方の面に樹脂残りが発生することを抑制できるウェーハの製造方法を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様のウェーハの製造方法は、インゴットからスライスされたうねりおよび反りを有するスライスウェーハの両面を研削することによってウェーハを製造するウェーハの製造方法であって、該スライスウェーハの一方の面全面にコーティング剤を塗布するコーティング剤塗布工程と、該スライスウェーハよりも外にはみ出したシートに液状樹脂を供給し該スライスウェーハの一方の面で押し広げて硬化させることによって保護部材を形成する保護部材形成工程と、研削装置のチャックテーブルに該保護部材を介して該スライスウェーハを保持させ、該スライスウェーハの他方の面を研削砥石で研削する第１研削工程と、該シートの外周縁を把持し該スライスウェーハの一方の面から該保護部材を剥離する剥離工程と、該スライスウェーハの他方の面を該チャックテーブルに保持させ、該スライスウェーハの一方の面を該研削砥石で研削する第２研削工程と、からなる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、上述したコーティング剤塗布工程を実施することで、液状樹脂を硬化させた保護部材を形成する前に、スライスウェーハの一方の面全面にコーティング剤の層を形成することができる。これにより、スライスウェーハから保護部材を剥離した際にスライスウェーハの一方の面に樹脂残りが発生することを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１Ａはウェーハ保持工程の説明図、図１Ｂはコーティング剤塗布工程の説明図である。
保護部材形成工程の各工程を示し、図２Ａはシート供給工程の説明図、図２Ｂは液状樹脂供給工程の説明図、図２Ｃは拡張工程の説明図、図２Ｄは硬化工程の説明図である。
図３Ａは第１研削工程の説明図、図３Ｂは剥離工程の説明図、図３Ｃは第２研削工程の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して、本実施の形態のウェーハの製造方法について説明する。図１Ａはウェーハ保持工程、図１Ｂはコーティング剤塗布工程の説明図をそれぞれ示している。なお、本実施の形態にて各図に示すステップは、あくまでも一例に過ぎず、この構成に限定されるものではない。
【００１０】
図１に示すように、先ず、保護部材形成装置（不図示）の保持テーブル１０にスライスウェーハＷを保持するウェーハ保持工程を実施する。保持テーブル１０は、下面が保持面１１として形成され、保持面１１は所定の吸引源（不図示）に接続される。保持テーブル１０は、昇降機構１２を介して上下方向に移動可能に設けられている。
（【００１１】以降は省略されています）

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