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公開番号2025103741
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-09
出願番号2023221349
出願日2023-12-27
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類H01L 21/68 20060101AFI20250702BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】多角形ワークをチャックテーブルの保持面で保持する前に、該ワークの形状や寸法を正確に測定すること。
【解決手段】加工装置1の仮置き機構60は、ウェーハ(ワーク)Wを仮置きする仮置きテーブル61と、該仮置きテーブル61を回転させる仮置きテーブル回転機構62と、仮置きテーブル61の回転角度を検出するエンコーダ63と、ウェーハWの辺を検知するフォトセンサ64を備え、制御部100は、フォトセンサ64がウェーハWの辺を検知した2つの点を結ぶ直線に対して仮置きテーブル61の中心から引いた垂線を求める垂線算出部101と、該垂線算出部101が算出した垂線の周方向に隣接する2つの内角を算出する内角算出部102と、該内角算出部102によって算出された内角と仮置きテーブル61の中心とウェーハWの辺との距離によってウェーハWの辺の長さを算出する辺長さ算出部103とを備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
多角形のワークを該ワークの形状と同じ形状の保持面によって保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたワークを加工する加工ユニットと、ワークを仮置きする仮置き機構と、該仮置き機構から前記チャックテーブルにワークを搬送する搬送機構と、制御部と、を備える加工装置であって、
前記仮置き機構は、
ワークを仮置きする仮置きテーブルと、
該仮置きテーブルを回転させる仮置きテーブル回転機構と、
前記仮置きテーブルの回転角度を検出するエンコーダと、
ワークの辺を検知するセンサと、
を備え、
前記制御部は、
前記センサがワークの辺を検知した２つの点を結ぶ直線に対して前記仮置きテーブルの中心から引いた垂線を求める垂線算出部と、
該垂線算出部が算出した垂線の周方向に隣接する２つの内角を算出する内角算出部と、
該内角算出部によって算出された内角と前記仮置きテーブルの中心とワークの辺との距離によってワークの辺の長さを算出する辺長さ算出部と、
を備えることを特徴とする加工装置。
続きを表示（約 470 文字）【請求項２】
前記チャックテーブルの回転角度を検出する保持面エンコーダと、前記チャックテーブルの保持面の辺を検知する保持面センサと、を備え、
前記制御部は、
前記保持面センサが前記保持面の辺を検知した２つの点を結ぶ直線に対して前記チャックテーブルの中心から引いた垂線を求める保持面垂線算出部と、
該保持面垂線算出部が算出した垂線の周方向に隣接する２つの内角を算出する保持面内角算出部と、
該保持面内角算出部によって算出された内角と前記チャックテーブルの中心と前記保持面の辺との距離によって前記保持面の辺の長さを算出する保持面辺長さ算出部と、
を備え、
前記内角算出部によって算出されたワークの垂線の内角と前記保持面内角算出部によって算出された前記保持面の垂線の内角とを一致させるとともに、前記辺長さ算出部によって算出されたワークの各辺の長さと前記保持面辺長さ算出部によって算出された前記保持面の各辺の長さとを一致させてワークを前記保持面に保持させることを特徴とする請求項１記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサによって検出されたデータに基づいて多角形のワークの各辺の長さなどを算出することができる加工装置に関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、各種電気製品に使用される半導体チップの製造工程においては、ウェーハの裏面（ＩＣやＬＳＩなどのデバイスが形成された面とは反対側の面）に対して研削や研磨などの加工が施されるが、ウェーハには、非円形の矩形や多角形のものもあり、例えば、特許文献１，２には、矩形のウェーハを均一な厚みに研削することができる研削装置が提案されている。
【０００３】
このような研削装置において矩形のウェーハをチャックテーブルの保持面に保持させる際には、保持面の中心とウェーハの中心とを一致させ、さらに保持面の寸法・形状とウェーハの寸法・形状とを一致させている。そして、特許文献３に開示されているように、矩形のウェーハを仮置きテーブル上で位置決めした後、搬送機構によってウェーハを保持して該ウェーハをチャックテーブルへと搬送している。そして、チャックテーブルへと搬送されたウェーハは、チャックテーブルの保持面が吸引されることによって該保持面上に吸引保持される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１５－２０５３５８号公報
特開２０１６－１５０４２１号公報
特開２０２１－１８６９３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、チャックテーブルの保持面の寸法・形状に一致しない形状の多角形のウェーハをチャックテーブルに搬送した場合、例えば、ウェーハのチャックテーブルへの吸引保持に際して、ウェーハとチャックテーブルの保持面との間からエアリークが発生し、ウェーハを保持面で確実に保持して加工することができないという不具合が発生する。
【０００６】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的は、多角形ワークをチャックテーブルの保持面で保持する前に、該ワークの形状や寸法を正確に測定することができる加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するための請求項１記載の発明は、多角形のワークを該ワークの形状と同じ形状の保持面によって保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたワークを加工する加工ユニットと、ワークを仮置きする仮置き機構と、該仮置き機構から前記チャックテーブルにワークを搬送する搬送機構と、制御部と、を備える加工装置であって、前記仮置き機構は、ワークを仮置きする仮置きテーブルと、該仮置きテーブルを回転させる仮置きテーブル回転機構と、前記仮置きテーブルの回転角度を検出するエンコーダと、ワークの辺を検知するセンサと、を備え、前記制御部は、前記センサがワークの辺を検知した２つの点を結ぶ直線に対して前記仮置きテーブルの中心から引いた垂線を求める垂線算出部と、該垂線算出部が算出した垂線の周方向に隣接する２つの内角を算出する内角算出部と、該内角算出部によって算出された内角と前記仮置きテーブルの中心とワークの辺との距離によってワークの辺の長さを算出する辺長さ算出部と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記チャックテーブルの回転角度を検出する保持面エンコーダと、前記チャックテーブルの保持面の辺を検知する保持面センサと、を備え、前記制御部は、前記保持面センサが前記保持面の辺を検知した２つの点を結ぶ直線に対して前記チャックテーブルの中心から引いた垂線を求める保持面垂線算出部と、該保持面垂線算出部が算出した垂線の周方向に隣接する２つの内角を算出する保持面内角算出部と、該保持面内角算出部によって算出された内角と前記チャックテーブルの中心と前記保持面の辺との距離によって前記保持面の辺の長さを算出する保持面辺長さ算出部と、を備え、前記内角算出部によって算出されたワークの垂線の内角と前記保持面内角算出部によって算出された前記保持面の垂線の内角とを一致させるとともに、前記辺長さ算出部によって算出されたワークの各辺の長さと前記保持面辺長さ算出部によって算出された前記保持面の各辺の長さとを一致させてワークを前記保持面に保持させることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１記載の発明によれば、多角形のワークをチャックテーブルの保持面で保持する前に、仮置きテーブルに仮置きされたワークを回転させながら該ワークの各辺をセンサによって検知するとともに、ワークの各辺を検知した際の該ワークの回転角度をエンコーダによって検出し、これらのデータに基づいて垂線算出部が算出した垂線の周方向に隣接する２つの内角を内角算出部によって算出し、この内角に基づいて辺長さ算出部がワークの各辺の長さを算出するようにしたため、ワークの形状や寸法を正確に測定することができ、チャックテーブルに保持されるワークが正規の形状及び寸法のものであるか否かを判断することができる。
【００１０】
また、請求項２記載の発明によれば、チャックテーブルの保持面の形状と寸法が保持面垂線算出部と保持面内角算出部及び保持面辺長さ算出部によって請求項１記載の発明と同様に測定されるため、ワークをチャックテーブルの保持面に正確に位置決めした状態で保持させることができ、保持面とワークとの間からエアリークが発生するなどの問題が発生することがない。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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