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公開番号2025102476
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-08
出願番号2023219940
出願日2023-12-26
発明の名称処理システム
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250701BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】第一被加工物及び第二被加工物のそれぞれのカセットが設置されるストッカーへのカセットの補充や改修の作業効率を向上できる処理システムを提供する事。
【解決手段】処理システム1は、ストッカー50と、処理装置と、搬送路10と、搬送車20と、を有する。ストッカー50は、フレームに固定されていない第一被加工物を収容する第一カセット54-2を設置する第一設置部54と、フレームに固定された第二被加工物を収容する第二カセット55-2を設置する第二設置部55と、搬送車20から昇降するトレイ23が通過する開口部52と、トレイ23が着地する着地部53と、第一カセット54-2と着地部53に着地したトレイ23との間で第一被加工物の搬送を実施するとともに、第二カセット55-2と着地部53に着地したトレイ23との間で第二被加工物の搬送を実施する搬送装置56と、を備える。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を処理する処理装置と、
処理装置の上方に設置された搬送路と、
該処理装置に供給される被加工物を収容するトレイを有し該搬送路を走行する搬送車と、
を有する処理システムであって、
該搬送車は、該処理装置に対して該トレイを昇降させる昇降機構を含み、
該処理システムは、
フレームに固定されていない第一被加工物を収容する第一カセットと、フレームに固定された第二被加工物を収容する第二カセットと、が設置されるストッカーを含み、
該ストッカーは、
該第一カセットを設置する第一設置部と、
該第二カセットを設置する第二設置部と、
該搬送車から昇降する該トレイが通過する開口部と、
該トレイが着地する着地部と、
該第一カセットと、該着地部に着地した該トレイと、の間で該第一被加工物の搬送を実施するとともに、該第二カセットと、該着地部に着地した該トレイと、の間で該第二被加工物の搬送を実施する搬送装置と、
を備える処理システム。
続きを表示（約 280 文字）【請求項２】
該搬送装置は、
該第一被加工物を搬送する第一搬送アームと、
該第二被加工物を搬送する第二搬送アームと、を含む
請求項１に記載の処理システム。
【請求項３】
該第一設置部と、該第二設置部と、は、
該搬送装置を挟んで該搬送装置の両側に配置される事を特徴とする
請求項１または２に記載の処理システム。
【請求項４】
該処理装置は、
該第一被加工物と、該第二被加工物と、の少なくともいずれかを加工する加工装置を含む
請求項１または２に記載の処理システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を処理する処理システムに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
複数の被加工物を処理する処理装置に、搬送車（自動搬送車）によって、被加工物や加工工具、加工に使用する消耗品などの物品を搬送して、被加工物を処理する処理システムが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－１６３９２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような処理システムでは、複数の処理装置を用いて被加工物を処理する一連のプロセスにおいて、被加工物は、フレームに固定されていない第一被加工物の状態と、フレームにテープを介して固定された第二被加工物の状態と、のそれぞれで処理されるタイミングがある。
【０００５】
ところで、第一被加工物と、第二被加工物と、はそれぞれ別の専用のカセットに収容される。被加工物を処理する一連のプロセスにおいて、第一被加工物と、第二被加工物と、は使用する処理装置が異なる。第一被加工物と、第二被加工物と、のそれぞれを収容するカセットが設置されるストッカーは、オペレータがそれぞれを収容するストッカーからそれぞれの処理に使用する処理装置にカセットを運ぶ距離を短くするため、それぞれの処理に使用する処理装置の近くに設置される。通常は、レイアウトの都合上、それぞれの処理に使用する処理装置が互いに離れて設置されるため、これに伴い、それぞれを収容するカセットが設置されるストッカーは、互いに離れて設置された。しかし、このようにそれぞれを収容するストッカーが離れて設置されていることにより、オペレータがそれぞれのストッカーへのそれぞれのカセットの補充や改修等を行う際の作業効率が低下するという問題があった。
【０００６】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、第一被加工物及び第二被加工物のそれぞれのカセットが設置されるストッカーへのカセットの補充や改修の作業効率を向上できる処理システムを提供する事である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の処理システムは、被加工物を処理する処理装置と、処理装置の上方に設置された搬送路と、該処理装置に供給される被加工物を収容するトレイを有し該搬送路を走行する搬送車と、を有する処理システムであって、該搬送車は、該処理装置に対して該トレイを昇降させる昇降機構を含み、該処理システムは、フレームに固定されていない第一被加工物を収容する第一カセットと、フレームに固定された第二被加工物を収容する第二カセットと、が設置されるストッカーを含み、該ストッカーは、該第一カセットを設置する第一設置部と、該第二カセットを設置する第二設置部と、該搬送車から昇降する該トレイが通過する開口部と、該トレイが着地する着地部と、該第一カセットと、該着地部に着地した該トレイと、の間で該第一被加工物の搬送を実施するとともに、該第二カセットと、該着地部に着地した該トレイと、の間で該第二被加工物の搬送を実施する搬送装置と、を備えるものである。
【０００８】
該搬送装置は、該第一被加工物を搬送する第一搬送アームと、該第二被加工物を搬送する第二搬送アームと、を含んでいてもよい。
【０００９】
該第一設置部と、該第二設置部と、は、該搬送装置を挟んで該搬送装置の両側に配置されていてもよい。
【００１０】
該処理装置は、該第一被加工物と、該第二被加工物と、の少なくともいずれかを加工する加工装置を含んでいてもよい。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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