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公開番号2025110884
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-29
出願番号2024232406
出願日2024-12-27
発明の名称静電チャック
出願人TOTO株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250722BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】誘電体基板の内部電極とベースプレートとの間を導電性部材によって電気的に接続する構成としながらも、容易に製造することのできる静電チャック、を提供する。
【解決手段】静電チャック10は、誘電体基板100と、誘電体基板100の内部に設けられたRF電極140と、金属により形成され、誘電体基板100に接合されたベースプレート200と、RF電極140とベースプレート200との間を電気的に接続する導電性部材400と、を備える。誘電体基板100のうちベースプレート200側の面120には、導電性部材400の一部を収容する第1凹部160が形成されている。ベースプレート200のうち誘電体基板100側の面210には、導電性部材400の一部を収容する第2凹部260が形成されている。上面視において、第1凹部160及び第2凹部260のうちの一方が他方よりも大きい。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、
前記誘電体基板の内部に設けられた内部電極と、
金属により形成され、前記誘電体基板に接合されたベースプレートと、
前記内部電極と前記ベースプレートとの間を電気的に接続する導電性部材と、を備え、
前記誘電体基板のうち前記ベースプレート側の面には、前記導電性部材の一部を収容する第１凹部が形成されており、
前記ベースプレートのうち前記誘電体基板側の面には、前記導電性部材の一部を収容する第２凹部が形成されており、
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、前記第１凹部及び前記第２凹部のうちの一方が他方よりも大きいことを特徴とする静電チャック。
続きを表示（約 640 文字）【請求項２】
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、前記第１凹部が前記第２凹部よりも大きいことを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項３】
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記第１凹部の内周面は、全周に亘り、前記第２凹部の内周面よりも外側にあることを特徴とする、請求項２に記載の静電チャック。
【請求項４】
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記導電性部材のうち前記第１凹部に収容されている部分の直径は、前記導電性部材のうち前記第２凹部に収容されている部分の直径と等しいことを特徴とする、請求項３に記載の静電チャック。
【請求項５】
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、前記第２凹部が前記第１凹部よりも大きいことを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項６】
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記第２凹部の内周面は、全周に亘り、前記第１凹部の内周面よりも外側にあることを特徴とする、請求項５に記載の静電チャック。
【請求項７】
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記導電性部材のうち前記第１凹部に収容されている部分の直径は、前記導電性部材のうち前記第２凹部に収容されている部分の直径と等しいことを特徴とする、請求項６に記載の静電チャック。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は静電チャックに関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
例えばエッチング装置等の半導体製造装置には、処理の対象となるシリコンウェハ等の基板を吸着し保持するための装置として、静電チャックが設けられる。静電チャックは、吸着電極が設けられた誘電体基板と、誘電体基板を支持するベースプレートと、を備え、これらが互いに接合された構成を有する。吸着電極に電圧が印加されると静電力が生じ、誘電体基板上に載置された基板が吸着され保持される。
【０００３】
下記特許文献１に記載されているように、誘電体基板には、半導体製造装置においてプラズマを発生させるための一対の対向電極のうちの１つ、であるＲＦ電極が内蔵されることもある。この場合、ＲＦ電極とベースプレートとの間は、導電性部材を介して電気的に接続される。これにより、基板の処理中におけるＲＦ電極の電位は、ベースプレートの電位（例えば接地電位）に保たれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
国際公開第２０２２／２５５１１８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
導電性部材とＲＦ電極との間を電気的に接続するためには、例えば、誘電体基板のうちベースプレート側の面に凹部を形成し、その底面においてＲＦ電極を露出させた上で、凹部の内側に導電性部材を収容すればよい。同様に、導電性部材とベースプレートとの間を電気的に接続するためには、例えば、ベースプレートのうち誘電体基板側の面に凹部を形成し、当該凹部の内側に導電性部材を収容すればよい。この場合、導電性部材は、その一部が誘電体基板の凹部に収容され、他の一部がベースプレートの凹部に収容されることとなる。
【０００６】
このような構成の静電チャックを製造する際においては、例えば、ベースプレートのうち凹部が形成された面を上方側に向けた状態で、それぞれの凹部に導電性部材の一部を挿入し、ベースプレートの上面から導電性部材を垂直に突出させた状態としておく。その後、ベースプレートのうち凹部が形成された面（上面）に対し、誘電体基板のうち凹部が形成された面（下面）を近づけていきながら両者の間を接合すれば、それぞれの凹部の内側に導電性部材を収容することができる。
【０００７】
このとき、誘電体基板の凹部と導電性部材との間の隙間が小さすぎる場合には、上記のような接合を行う際における位置合わせが難しくなってしまう。また、ベースプレートの凹部と導電性部材との間の隙間が大きすぎる場合には、ベースプレートの上面から導電性部材を垂直に突出させた状態、としてくこと自体が難しくなってしまう。また、当該状態における導電性部材の位置が定まらないので、やはり接合を行う際における位置合わせが難しくなってしまう。接合を行う際に、静電チャックを下方側に配置し、これに対しベースプレートを上方側から近づけていく場合にも、上記と同様の問題が生じ得る。
【０００８】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、誘電体基板の内部電極とベースプレートとの間を導電性部材によって電気的に接続する構成としながらも、容易に製造することのできる静電チャック、を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明に係る静電チャックは、被吸着物が載置される載置面を有する誘電体基板と、誘電体基板の内部に設けられた内部電極と、金属により形成され、誘電体基板に接合されたベースプレートと、内部電極とベースプレートとの間を電気的に接続する導電性部材と、を備える。誘電体基板のうちベースプレート側の面には、導電性部材の一部を収容する第１凹部が形成されており、ベースプレートのうち誘電体基板側の面には、導電性部材の一部を収容する第２凹部が形成されている。載置面に対し垂直な方向から見た場合において、第１凹部及び第２凹部のうちの一方が他方よりも大きい。
【００１０】
誘電体基板とベースプレートとの間を接合する際には、第１凹部及び第２凹部のうち小さい方が形成されている方の部材を下方側に配置し、当該凹部に対し導電性部材の一部を挿入した後に、第１凹部及び第２凹部のうち大きい方が形成されている方の部材を上方側から近づけていくこととすればよい。下方側の部材では、比較的小さな凹部に導電性部材の一部が挿入されるので、導電性部材の倒れや位置ずれを防止することができる。上方側の部材には比較的大きな凹部が形成されているので、当該部材を下方側の部材へと近づけていく際において、その凹部に対し導電性部材の一部を容易に収容することができる。このように、上記構成の静電チャックでは、上面視における第１凹部及び第２凹部の大きさを互いに異ならせることにより、製造時における接合作業を従来よりも容易に行うことができる。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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